[实用新型]一种多功能真空镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种多功能真空镀膜设备，包括真空镀膜室、下降取料，上升贴合密闭真空镀膜室的哑铃型升降底盘，所述真空镀膜室内设有蒸发镀膜系统、溅射镀膜系统，其通过抽真空系统提供低压的镀膜环境，所述哑铃型升降底盘上设有卷绕基材的卷绕系统，卷绕系统通过全自动控制卷绕张力系统实时控制其张力稳定，还包括与卷绕系统相连的静电辅助吸附镀膜系统。本实用新型一种多功能真空镀膜设备，能够同时进行蒸发镀膜系统和溅射射镀膜系统的卷对卷多功能真空镀膜机，并且该真空镀膜机具有全自动控制卷绕张力系统和静电辅助吸附镀膜系统，能够有效的避免径向力分布不均造成的薄膜褶皱问题和靶材浪费的问题，适合工业生产应用。