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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]SiC材料外延生长设备-CN202022618985.8有效
发明人：张森;费磊 -专利权人：宁波沁圆科技有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： C23C16/32 文献下载
摘要：本实用新型提供一种SiC材料外延生长设备，所述设备包括至少两个反应腔，各反应腔用于进行SiC材料的外延生长；托盘装卸腔，用于放置托盘，其内设有托盘支架；晶圆装卸腔，其内设有用于存放未外延生长的SiC衬底或外延生长之后的SiC晶圆的框架盒；传送腔与托盘装卸腔、晶圆装卸腔以及各反应腔之间均具有第一隔离阀，传送腔内设有传送组件，传送组件用于在托盘装卸腔与各反应腔之间传送托盘，及将未外延生长的SiC衬底从晶圆装卸腔传送至反应腔，及用于将外延生长之后的SiC晶圆从反应腔传送至晶圆装卸腔。该SiC材料外延生长设备的至少两个反应腔通过共用传送腔、托盘装卸腔、晶圆装卸腔和传送组件，降低了SiC外延生长的成本，从而提高了SiC器件的制备效率。
sic 材料外延生长设备

[发明专利]用于分批向内装载和向外卸载基底的真空处理设备及方法-CN201710359308.9有效
发明人：克里斯托夫·霍伊斯勒;拉尔夫·西伯特 -专利权人：冯·阿登纳资产股份有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：根据不同的实施方式提供一种真空处理设备(100)，其具有装卸腔室装置(102)、转运腔室装置(112)和处理腔室装置(122)，其中，转运腔室装置(112)具有转运腔室，该转运腔室具有用于在转运腔室中容纳基底的长度，且其中，装卸腔室装置(102)具有三个彼此邻接的装卸腔室(102a、102b、102c)，所述装卸腔室这样地被设置，即其可分别单独借助于阀装置(104)分开，其中，装卸腔室中的每个装卸腔室具有比转运腔室更小的长度
用于分批向内装载向外卸载基底真空处理设备方法

[发明专利]一种F1赛车高速换胎设备-CN201910372746.8有效
发明人：杨明华 -专利权人：合肥龙图腾信息技术有限公司
申请日： 2019-05-06 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： B60B29/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种F1赛车高速换胎设备，包括基座，所述基座内设有传动腔，所述传动腔内可左右滑动的滑板，所述滑板内设有装卸块，所述装卸块内设有转换腔，所述转换腔左右两侧内壁内设有对称的固定腔，所述固定腔远离所述所述装卸块一侧内壁内设有装卸腔，所述装卸腔内周向阵列的设有六组用于装卸螺栓的装卸装置100；本发明结构简单，操作方便，维护便利，该设备可自动快速的更换赛车轮胎，消耗时间较少，换胎效率较高，并且，减少换胎人员的劳动强度，因此该设备具有较高的使用和推广价值
一种 f1 赛车高速设备

[发明专利]纺丝箱体喷丝组件及装卸工具-CN94110008.1无效
发明人：张儒庆 -专利权人：张儒庆
申请日： 1994-01-06 - 公布日： 1998-06-10 - 主分类号： D01D4/00 文献下载
摘要：纺丝箱体喷丝组件装置及装卸工具是纺丝箱体、装在纺丝箱体组件腔的喷丝组件及装喷丝组件的装卸工具，纺丝箱体及组件腔侧面开有装卸口，喷丝组件从侧面装卸口插入组件腔，并可用螺栓穿入喷丝组件的通孔，拧入组件腔壁的螺孔，使纺丝箱体组件腔与喷丝组一件侧面熔体接口相对接，形成侧装式，能有效保持温度的均匀，特别适合细旦涤纶纺制，装卸工具为装卸夹钳、装卸抬板、装卸拉杆。
纺丝箱体组件装卸工具

[实用新型]输送系统及载板装卸装置-CN202222852092.9有效
发明人：许修伟;王中南;张成虎 -专利权人：通威太阳能（安徽）有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B65G41/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种输送系统及载板装卸装置。所述载板装卸装置包括：安装本体，所述安装本体设有用于载板进出的装卸腔；输送组件，所述输送组件可移动地装设在所述装卸腔中；所述输送组件用于输送所述载板；装卸驱动件，所述装卸驱动件与所述输送组件传动配合，且所述装卸驱动件带动所述输送组件沿所述装卸腔的进出口方向往复移动上述载板装卸装置利用装卸驱动件与输送组件的传动配合代替了人工装卸载板，从而大大提高载板的装卸效率。
输送系统装卸装置

[发明专利]一种便于安装和拆卸螺丝的棘轮扳手-CN202111023409.1有效
发明人：张国火 -专利权人：凯钲五金制品（南通）有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： B25B13/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种便于安装和拆卸螺丝的棘轮扳手，包括外壳，所述外壳顶面上开设有上杆腔，所述上杆腔后壁上转动设有上杆轴，所述上杆腔内转动设有向上延伸的上杆，所述外壳底面上开设有下杆腔，所述下杆腔后壁上转动设有下杆轴，所述下杆腔内转动设有向下延伸的下杆，所述外壳内开设有装卸腔，所述装卸腔内转动设有向前延伸的装卸轴，所述装卸腔后壁上开设有限制腔，所述限制腔内转动设有限制板，所述限制板前侧面与所述装卸轴后侧面固定，所述装卸腔右壁上开设有控制腔，使本发明能够适用于不同大小的螺帽，扩大了棘轮扳手的适用范围，且本发明安装有两个控制齿轮分别控制装卸轴不同的转向，从而起到安装和拆卸螺丝的作用。
一种便于安装拆卸螺丝棘轮扳手

[发明专利]自动装卸箱、垃圾桶转运车及垃圾桶装卸控制方法-CN202110751840.1有效
发明人：李亮;张斌;蒋志达;邱声;文亚龙 -专利权人：广东盈峰智能环卫科技有限公司;长沙中联重科环境产业有限公司
申请日： 2021-07-02 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B65F3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种自动装卸箱、垃圾桶转运车及垃圾桶装卸控制方法。自动装卸箱包括箱体及装卸扶正装置。箱体设有容置腔，装卸扶正装置可移动地安装于容置腔内，装卸扶正装置用于装卸垃圾桶以及扶正容置腔内倾斜的垃圾桶。在容置腔内设置可移动的装卸扶正装置。在垃圾桶转运的过程中，若容置腔内的垃圾桶出现倾斜，则装卸扶正装置运动至倾斜的垃圾桶所在位置，并扶正倾斜的垃圾桶，便于垃圾桶的转运，提高垃圾桶的转运效率。此外，装卸扶正装置不仅能够扶正倾斜的垃圾桶，也能够实现垃圾桶的装卸，有利于降低环卫工人的劳动强度。
自动装卸垃圾桶转运控制方法

[发明专利]一种半导体工艺炉及其装卸载腔室的控氧控压方法-CN202210685712.6在审
发明人：郑旺军;王凯;李胜辉 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种半导体工艺炉及其装卸载腔室的控氧控压方法，在对装卸载腔室开始控氧时，控制阀门以预设第一角度开启，并控制气体流量调节器以预设第一气体流量向装卸载腔室内输送控氧气体；获取检测装置检测到的装卸载腔室内的氧含量及其内的压力值可见，本申请可控制装卸载腔室内的氧含量，以使氧含量达到工艺要求；同时，可控制装卸载腔室内的压力值，以使装卸载腔室保持微正压，微正压可以有效阻止外界空气进入装卸载腔室，从而保证氧含量控制效果，提升加工质量
一种半导体工艺及其装卸载腔室控氧控压方法

[发明专利]一种离子束刻蚀设备及其刻蚀方法-CN202110063766.4在审
发明人：范江华;胡凡;龚俊;刘宇;黄也;程文进 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2021-01-18 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子束刻蚀设备及其刻蚀方法，该离子束刻蚀设备包括装卸片腔室、用传送基片的传送腔室和至少一个用于刻蚀腔室，装卸片腔室和刻蚀腔室分别连接在传送腔室上，装卸片腔室、刻蚀腔室与传送腔室之间设有隔离阀，传送腔室内设有转运机构。本发明离子束刻设备，包括：装卸片腔室，用于存放不同类型的基片，一次装卸即可放入多种不同类型的基片，传送腔室，实现基片在装卸片腔室和刻蚀腔室之间的传送，至少一个的刻蚀腔室，可实现对多个基片进行同时刻蚀，该设备能够满足基片
一种离子束刻蚀设备及其方法

[发明专利]翻转装置及装卸腔室-CN201910144980.5有效
发明人：赵磊;赵梦欣;李冬冬;李萌 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-02-27 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种翻转装置及装卸腔室，包括固定件、升降驱动机构、连杆机构和翻转基座，其中，翻转基座与固定件连接，且能够在由固定件承载的第一位置和与第一位置呈预设夹角的第二位置之间翻转；升降驱动机构用于提供垂直动力本发明提供的翻转装置及装卸腔室能够降低翻转装置的加工难度，降低翻转装置无法翻转至工作位置的情况的发生，并能够提高翻转装置的使用寿命。
翻转装置装卸

[发明专利]集成电路设备和半导体器件的制备方法-CN202211533952.0在审
发明人：李俊杰;刘恩序;周娜;高建峰;李俊峰;李永亮;罗军;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种集成电路设备和半导体器件的制备方法，集成电路设备包括：机体、第一真空泵、第一机械手、第一隔离门和多个加工机构；机体包括机壳、装卸腔室、传输腔室和多个真空腔室，多个真空腔室内均设置有加工机构，加工机构与机壳连接，装卸腔室和真空腔室分别与传输腔室连通，装卸腔室与机壳的外表面连通，第一真空泵与机壳连接，第一隔离门位于装卸腔室内并与机壳活动连接；第一机械手位于传输腔室内，用于将待处理半导体器件在装卸腔室、传输腔室和多个真空腔室间移动；第一真空泵用于在第一隔离门阻断传输腔室通过装卸腔室与外界连通时，使真空腔室和传输腔室处于真空状态。
集成电路设备半导体器件制备方法

[发明专利]半导体热处理设备的清扫方法-CN202010177200.X有效
发明人：孙妍 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体热处理设备的清扫方法，包括：将承载有晶圆挡片的晶舟移入半导体热处理设备的反应腔室内；将半导体热处理设备的装卸载腔室调节至常压的大气环境；向反应腔室通入吹扫气体以进行清扫；清扫完毕后，将反应腔室的温度调节至预设温度，并将反应腔室的压力调节至常压；将晶舟移入装卸载腔室中，向装卸载腔室通入空气以进行清扫。将晶舟托载晶圆挡片进入反应腔室进行清扫，减少清扫时的腔室体积，增加反应腔室侧壁的气流流速，提高其侧壁颗粒物的去除效果，将承载有晶圆挡片的晶舟移至装卸载腔室内，利用晶圆挡片从反应腔室的热量和含氧的大气环境，使装卸载腔室内的有机物颗粒燃烧去除，有效清除反应腔室和装卸载腔室内的颗粒。
半导体热处理设备清扫方法

[实用新型]一种高效节能型预热炉-CN201921740980.3有效
发明人：胡全林;胡竹林 -专利权人：盐城市盛丰机械有限公司
申请日： 2019-10-17 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： F27D13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效节能型预热炉，包括炉体，所述炉体内腔且沿其长度方向均匀设有一组隔板，所述隔板将所述炉体内腔分割为中部工作腔和两侧装卸腔，所述炉体内底部设有移动工装机构，所述移动工装机构包括第一丝杆、第一电机、移动工作台及放置筐，所述炉体宽度方向一侧且对应所述装卸腔位置分别设有装卸箱体，所述炉体宽度方向两侧且对应所述工作腔位置分别设有进气箱体和出气箱体，所述工作腔、装卸腔、装卸箱体内侧端壁上均分别设有温度传感器及气压传感器
一种高效节能型预热

[发明专利]一种用于运输货物并装卸的运输箱-CN202010803579.0在审
发明人：华怀隐 -专利权人：福州市长乐区密斯特电子科技有限公司
申请日： 2020-08-11 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： B65D25/38 文献下载
摘要：本发明公开的一种用于运输货物并装卸的运输箱，包括箱体，所述箱体内设有运动腔，所述运动腔内设有运输装置，所述运输装置用于输送货物以及安放货物，所述箱体左侧端壁固定连接有输送腔，所述输送腔右侧端面固定连接有运输箱，所述运输箱内设有用于协助装卸货物的装卸装置，所述输送腔下侧端面固定连接传动箱，所述传动箱内设有传动腔，所述传动腔内设有用于对运输箱进行降温的冷却装置，所述输送腔上侧端面固定连接有固定板，所述固定板内设有对运输箱着火进行安全措施的灭火装置，本发明的一种用于运输货物并装卸的运输箱，能够实现自动装卸货物以及使用安全措施，使用效率较高。
一种用于运输货物装卸

[实用新型]一种化工用装卸料装置-CN202121383434.6有效
发明人：汪世峰;王彬 -专利权人：宁夏建龙龙祥钢铁有限公司
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B65G69/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化工用装卸料装置，包括装卸料箱本体，装卸料箱本体顶部安装有进料体，进料体与装卸料箱本体转动连接，进料体与装卸料箱本体连接处安装有导料腔；进料体顶部设置有进料口，进料体内可拆卸安装有多层虑筛；进料体顶部安装有漏斗形防侧流围挡，防侧流围挡边沿活动连接有有若干箱体固定环，箱体固定环上连接有箱体固定绳索；装卸料箱本体外套有卡耳，装卸料箱本体底部设置有漏斗形出料腔，出料腔远离装卸料箱本体的一端设置有出料嘴，出料嘴上设置有阀门和卡嘴；防止外面的杂质掉入装卸料箱本体内或导料腔内造成堵塞；方便地清洗，使用非常安全和方便；且结构简单、设计合理，加工成本低，生产效率高、劳动强度低。
一种化工装卸装置

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