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- [发明专利]改善薄膜表面平坦度的方法-CN202211614670.3在审
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刘雄
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杭州富芯半导体有限公司
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2022-12-13
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2023-03-21
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C23C16/52
- 本申请提供一种改善薄膜表面平坦度的方法，包括步骤：提供待进行薄膜沉积的衬底，获取所述衬底的表面平坦度数据；基于所述衬底的表面平坦度数据对基准薄膜沉积参数进行调节而得到预设沉积参数，所述预设沉积参数使得沉积出的薄膜表面平坦度数据和衬底的表面平坦度数据互补；依所述预设沉积参数进行薄膜沉积，以于衬底表面得到表面平坦度均匀的膜层。本申请通过基于薄膜沉积前的衬底形貌，针对具有不同的表面平坦度的区域分别制定薄膜沉积参数，可以沉积出与衬底形貌互补的膜层，可以有效改善薄膜的表面平坦度，且有助于改善薄膜和衬底之间的应力分布，有助于提高后续工艺良率
- 改善薄膜表面平坦方法
- [发明专利]性能改进的氮化锌系复合薄膜的制备方法-CN201810888517.7有效
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康丽纳
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泉州市康馨化工科技有限公司
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2018-08-07
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2020-06-12
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C23C14/35
- 本发明提供了一种性能改进的氮化锌系复合薄膜的制备方法，包括如下步骤：准备表面清洁的单晶硅基片；在单晶硅基片表面沉积第一ZnO层；在第一ZnO层表面沉积金属Zn层；在金属Zn层表面沉积第二ZnO层；在第二ZnO层表面沉积第一AZO层；在第一AZO层表面沉积第二AZO层；在第二AZO层表面第一Zn3N2层；在第一Zn3N2层表面沉积第二Zn3N2层；以及对复合薄膜进行退火处理本发明的氮化锌系复合薄膜的制备方法制得的复合薄膜由于具有特殊的膜结构，使得其比现有技术的薄膜具有更高的迁移率以及载流子浓度，如果由本发明的膜层制作器件，则器件的功耗将降低20％以上，使用频率至少提高10
- 性能改进氮化复合薄膜制备方法
- [实用新型]一种带式输送机用可调式刮擦器-CN202122901358.X有效
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汪振;陈美;吴鹏
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桐城市永辉机械有限公司
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2021-11-24
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2022-07-05
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B65G45/12
- 本实用新型公开了一种带式输送机用可调式刮擦器，涉及带式输送机技术领域，为解决现有技术中的现有的带式输送机上的输送带在使用过程中表面可能会附着大量的物料残渣，这些残渣的积留会导致输送带表面凹凸不平，同时还会增加传动机构的负载的问题所述沉积刮料箱的内部设置有沉积料腔，且沉积料腔内部的中段设置有金属刮板，所述沉积料腔的一端设置有横置连管，且横置连管与沉积刮料箱焊接连接，所述沉积料腔的另一端设置有水平盖板，且水平盖板与沉积料腔通过卡槽连接，所述沉积刮料箱的两侧均设置有输送机支架，且输送机支架与沉积刮料箱通过螺钉连接，所述输送机支架的上方设置有输送机挂架，且输送机挂架与输送机支架固定连接。
- 一种输送机用可调式刮擦器
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