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[实用新型]一种可测量厚度的收卷装置-CN201921642100.9有效
发明人：金杰;董苏强 -专利权人：杭州美孚塑胶制品有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： B65H18/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种可测量厚度的收卷装置，包括机架、安装座、定辊、浮动辊、传动辊、电机、减速器、控制器、气缸、辊支架、安装架、浮动座、测厚仪和转动座，聚四氟乙烯薄膜从后侧定辊绕到浮动辊，从浮动辊进入两个滚轮之间，经过前侧定辊缠绕在传动辊上，电机通过减速器带动传动齿轮旋转，传动齿轮通过齿轮带动传动辊旋转，从而将聚四氟乙烯薄膜收卷；聚四氟乙烯薄膜位于两个滚轮之间，使测厚仪可测量聚四氟乙烯薄膜的厚度，并在百分表上显示测量数值，滚轮随聚四氟乙烯薄膜收卷而不停旋转，从而时实检测聚四氟乙烯薄膜厚度。
一种可测量厚度装置

[发明专利]按键模组及电子设备-CN202110632073.2在审
发明人：贺逸凡 -专利权人：维沃移动通信有限公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： H03K17/96 文献下载
摘要：本申请公开了一种按键模组和电子设备，按键模组，包括金属薄膜及基板，金属薄膜设有若干压感模组，每一压感模组包括第一电阻、第二电阻、第三电阻及第四电阻，第一电阻、第二电阻、第三电阻和第四电阻电连接以形成惠斯通电桥；金属薄膜贴合安装于基板的一侧，基板设有若干通孔作为检测通道，每一压感模组对应于一个通孔。本申请通过第一电阻、第二电阻、第三电阻和第四电阻形成惠斯通电桥，通孔作为检测通道承受触摸后金属薄膜的变形，按键模组的厚度相比于传统模组不会增加，每一惠斯通电桥搭配两条的电压输出线和一条参考电压线即可将金属薄膜的变形通过电压信号输出；借助金属中框作为固定极板进行压容检测，不增加模组厚度且能简化布线。
按键模组电子设备

[发明专利]基于涡街与压电薄膜的氢气传感器及其制备方法-CN201310237999.7有效
发明人：刘伟庭;陈然;傅新 -专利权人：浙江大学
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于涡街与压电薄膜的氢气传感器及其制备方法。通过旋转涂覆方法，实现微米级压电薄膜的制备；之后，通过磁控溅射手段在微纳纤维上修饰气敏层与对照电极层；最后对复合压电膜极化封装组装部件实现基于涡街与压电薄膜的氢传感单元制备。本发明采用旋转涂覆与磁控溅射方法，实现气敏压电薄膜的制备；通过机械加工加工涡街。整个制备过程耗时短，耗能少，效率高；在材料方面仅用到少量的金属、聚合物溶液与靶材，材料成本低；通过对溶剂参数和操作参数的调整，可以更为精确的控制压电薄膜的厚度；通过调节溅射参数，可以实现气敏层厚度的调节该传感器兼具流量检测与浓度检测的功能，可以同时检测管道的流量与氢气浓度，具有良好的动态特性与较高的灵敏度。
基于压电薄膜氢气传感器及其制备方法

[发明专利]一种触摸按钮开关、触控设备-CN201910950186.X有效
发明人：陈良明;彭为亚;石林荣;范良照;唐先红 -专利权人：上海科世达-华阳汽车电器有限公司;科世达（上海）机电有限公司
申请日： 2019-10-08 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H03K17/975 文献下载
摘要：本申请公开了一种触摸按钮开关，包括：面板；与面板贴合的导电层；设置在导电层远离面板一侧的电容薄膜导电层，其中，导电层与电容薄膜导电层之间设置有预设厚度的空隔区域；设置在电容薄膜导电层远离导电层一侧的印刷基材；与电容薄膜导电层连接的用于检测电容信号的检测电路，当导电物按压面板以挤压空隔区域，使电容薄膜导电层与导电层接触，检测电路检测到电容信号。本申请在面板与电容薄膜导电层之间增加导电层和空隔区域，当导电物按压面板以挤压空隔区域，使电容薄膜导电层与导电层接触时，检测电路检测到电容信号，实现开关控制，制备工艺简单、价格低廉。
一种触摸按钮开关设备

[发明专利]一种真空镀膜中薄膜厚度实时测量装置和方法-CN202310026287.4在审
发明人：孙旭 -专利权人：北京实创精仪科技有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明公开一种真空镀膜中薄膜厚度实时测量装置和方法。该装置包括传感器设于真空镀膜设备上，探测真空镀膜设备的薄膜厚度特征信号，并将薄膜厚度特征信号传递至外置薄膜厚度参数获取装置；外置薄膜厚度参数获取装置按照设定采样周期采样薄膜厚度特征信号，并对薄膜厚度特征信号进行处理，整合为数据帧上传至计算机；还用于接收并解析计算机计算的控制参数，将解析后的控制参数输送至真空镀膜设备，以控制真空镀膜设备；计算机根据数据帧实时计算当前薄膜厚度以及当前薄膜沉积速率，并根据当前薄膜厚度以及所述当前薄膜沉积速率计算控制参数本发明能够降低厚度测量仪器成本，解决数据存储容量限制，提高计算结果的可靠性以及设备维护更加便利。
一种真空镀膜薄膜厚度实时测量装置方法

[实用新型]薄膜厚度测厚装置-CN201220257325.4有效
发明人：陈大魁;黄旭生 -专利权人：浙江众成包装材料股份有限公司
申请日： 2012-05-18 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： G01B15/02 文献下载
摘要：本实用新型是薄膜厚度测厚装置。旨在提供一种工作可靠，检测准确的薄膜厚度测厚装置。它包括有固定在管状薄膜外围的圆形定位环，其特征是所述的定位环为一外齿圈，在定位环的内壁安装有导向环，在导向环上通过支架安装有γ射线的测厚仪，在支架上还安装有减速器，在减速器的输出轴端安装有与外齿圈啮合的齿轮该实用新型在使用时，导向环的旋转依靠齿轮与外齿圈的刚性啮合驱动，具有驱动力强、传动可靠、使用寿命长，能保证检测顺利进行。
薄膜厚度装置

[实用新型]一种具有金属膜透光率检测装置的薄膜电容卷绕机-CN201920454166.9有效
发明人：余晟武 -专利权人：常州晟威机电有限公司
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G01N21/59 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有金属膜透光率检测装置的薄膜电容卷绕机，包括薄膜电容卷绕机本体，薄膜电容卷绕机本体内设有用以检测金属膜镀层厚度的金属膜透光率检测装置，金属膜透光率检测装置包括固定支架和激光线性传感器，固定支架包括上下相对设置的悬臂板和连接两块悬臂板的连接板，连接板与薄膜电容卷绕机本体中的垂直基本固连，激光线性传感器包括检测头和控制器，检测头包括发光器和接光器，发光器固设在位于上方的悬臂板端部，接光器固设在位于下方的悬臂板端部本实用新型根据透光率了解到金属膜上镀层厚度情况，进而判断是否需要停止卷绕工作，能保证卷绕出的电容器质量情况。
金属膜薄膜电容卷绕机发光器悬臂板透光率检测装置本实用新型固定支架激光线性控制器检测头连接板传感器镀层卷绕电容器上下相对相对设置透光率固连垂直体内检测保证

[发明专利]一种考虑非线性的荧光染色薄膜厚度测量标定方法-CN202110431140.4有效
发明人：王文中;陈虹百;梁鹤;赵自强 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2021-04-21 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种考虑非线性的荧光染色薄膜厚度测量标定方法，能够有效提高荧光染色薄膜厚度的测量精度以及量程。本发明考虑激发诱导荧光成像系统中荧光强度与荧光染色薄膜厚度之间的非线性。通过使用不同标准厚度薄膜的荧光照片，基于多项式建立每个像素单元的薄膜厚度与荧光强度之间的关系式，然后构建标定系数方程组并求解，得到标定系数表。拍摄待测薄膜的荧光照片，基于标定系数表以及薄膜厚度与荧光强度之间的关系式，计算得到每一像素单元对应的薄膜厚度。可显著减小由荧光强度与荧光染色薄膜厚度之间的非线性所带来的测量误差，能有效提高荧光染色薄膜厚度的测量精度以及量程。
一种考虑非线性荧光染色薄膜厚度测量标定方法

[发明专利]一种薄膜电晶体电特性优化方法-CN202110563881.8在审
发明人：林立腾 -专利权人：陕西宇腾电子科技有限公司
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜电晶体电特性优化方法，先进行基板清洗和洁净度检测，然后采用高低DR结构进行SiNx薄膜沉积并完成薄膜电晶体样本制作，然后薄膜电晶体样本的电特性量测，最后根据电特性筛选最优样本参数组合，即最优的加工沉积速率与薄膜厚度值组合；本发明在不影响产能的基础上，通过将薄膜沉积设定为High Depo Rate与Low Depo Rate组合的方式，在Low Depo Rate的情况下减小SiNx的厚度以增加开态电流且不会同时增加关态电流，调整优化SiNx薄膜中高沉积速率沉积膜厚与低沉积速率沉积膜厚容载比，实现获取最优加工参数组合，提升薄膜电晶体电气性能的效果。
一种薄膜电晶体特性优化方法

[发明专利]一种基于损耗材料薄膜的增透系统-CN201510013322.4有效
发明人：杜凯凯;李强;仇旻 -专利权人：浙江大学
申请日： 2015-01-09 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： G02B1/113 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于损耗材料薄膜的增透系统。在光电子领域，经常需要在器件表面涂镀一层金属薄膜来添加电极或者加强表面的导电性能，而金属材料本身对光波存在较强的吸收和反射而阻止入射光入射到器件上，对于器件的性能以及光学检测造成了非常不利的影响。本发明利用损耗材料的物理特性，将损耗材料薄膜镀于金属薄膜上表面，通过改变损耗材料薄膜的厚度，调整原有金属薄膜的透过率，以纳米级薄膜厚度，实现对于光束的数倍的增透作用，极大地提高了系统的波长选择透过性和相应的透过率，对于光电子技术和薄膜光学的发展具有极大的促进作用。
一种基于损耗材料薄膜系统

[发明专利]一种高温热流传感器-CN202310737237.7在审
发明人：邓惠丹;段青松;杨玉;冯科;漆锐;谭庆;张建波;陈南菲;李坤;谭鑫 -专利权人：中冶赛迪技术研究中心有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01K17/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种热流传感器，特别是涉及一种高温热流传感器，包括热沉体、热流检测元件以及导热盖，所述热流检测元件嵌入设置在位于所述热沉体顶部的凹槽内，并通过布置所述凹槽中且位于所述热流检测元件顶部的导热盖压紧；所述热流检测元件包括基底、薄膜电极以及热阻层，所述基底位于底层，所述薄膜电极布置在基底的顶部，所述热阻层布置在薄膜电极的顶部，所述热阻层具有位于中部的第二热阻层和环绕在第二热阻层外侧的第一热阻层，所述第一热阻层的厚度大于第二热阻层的厚度以形成热阻层台阶，且所述第一热阻层中的外缘压在所述基底上，以使得所述薄膜电极的外缘与第一热阻层相接。
一种高温热流传感器

[实用新型]一种光学薄膜用厚度检测装置-CN202021809006.0有效
发明人：罗娟 -专利权人：上海邃铸科技有限公司
申请日： 2020-08-26 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学薄膜用厚度检测装置，包括底板，所述底板上对称固定连接有四个支撑杆，四个所述支撑杆远离底板的一端上均固定连接有顶板，所述顶板靠近底板的一侧壁上设有测厚仪，四个所述支撑杆上均滑动连接有检测工作台本实用新型中，工作人员仅需控制步进电机的关启以及更换待测厚的光学薄膜，至于光学薄膜的定位固定可随着检测工作台的上移和下移而自动进行和取消，所以使用起来非常的方便，省时省力，能够显著的提升光学薄膜厚度检测的工作效率
一种光学薄膜厚度检测装置

[发明专利]一种汽车大灯灯罩电加热系统-CN201710807480.6在审
发明人：郑云;黄琮余 -专利权人：南京钧乔行汽车灯具有限公司
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： H05B3/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种汽车大灯灯罩电加热系统，大灯灯罩为双层结构，在两层结构之间设有电加热层，电加热层为金属氧化物薄膜，金属氧化物薄膜通过高温预压及高温高压工艺融入双层结构中，金属氧化物薄膜的边沿设有线状电极灯罩表面侧面设有用于检测灯罩表面积雪厚度的光电传感器，电极连接电源电路，光电传感器连接微处理器的信号输入端，微处理器的信号输出端连接所述电源电路。当遇到大雪天气时，灯罩表面侧面光电传感器检测灯罩表面积雪厚度，当厚度达到预设值后，经微处理器判断，微处理器将控制电源电路开始工作，为金属氧化物薄膜供电，即可实现汽车大灯灯罩上积雪的持续清除，并且避免了清楚后的雪水结冰的问题
金属氧化物薄膜灯罩表面微处理器灯罩汽车大灯电加热系统光电传感器电加热层双层结构积雪光电传感器检测电极连接电源高温高压工艺控制电源电路微处理器判断信号输出端信号输入端大灯灯罩电源电路两层结构线状电极侧面结冰预设预压电路供电检测融入天气

[发明专利]检测晶圆表面粗糙度的方法-CN201110300237.8有效
发明人：李儒兴;石强;李志国 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2011-09-28 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：一种检测晶圆表面粗糙度的方法，包括：提供同一批次的多个晶圆；挑选连续n片作为待测晶圆，n是晶圆所分别进入的前一道工艺机台的腔室个数的自然数倍；利用在线厚度测量设备，在每个所述待测晶圆表面上选择h个测试位置，得到实际反射光谱；根据实际反射光谱和预设的薄膜堆叠模型计算出每个所述待测晶圆在每个所述测试位置上的薄膜厚度，并根据薄膜厚度和薄膜堆叠模型得到理论反射光谱；计算实际反射光谱与理论反射光谱的拟合度；设定最小拟合度通过本发明实施例提供的方法检测晶圆表面粗糙度，能及时发现表面粗糙度不合格的晶圆，灵敏度高，漏检率低，节省成本。
检测表面粗糙方法

[实用新型]一种可在线检测涂胶厚度的涂布机-CN202122611692.1有效
发明人：曾祥年;陈达飞;冼伟明 -专利权人：佛山市梦成光学科技有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可在线检测涂胶厚度的涂布机，包括涂布机基体、用于烘干的烘箱和固定安装于所述涂布机基体一侧外壁的储胶池，所述储胶池相对两侧壁之间通过轴承转动连接有涂覆辊，所述涂覆辊的外壁设置有薄膜基体，还包括暗盒，所述暗盒相对的两侧外壁均开设有用于通过所述薄膜基体的条形口，所述暗盒的内壁顶部固定安装有发光器，所述暗盒的内壁底部固定安装有采光器，所述采光器和所述发光器位于所述薄膜基体的两侧。本实用新型公开的一种可在线检测涂胶厚度的涂布机，通过暗盒中的采光器对经过薄膜基体和胶质吸收后的光线进行捕捉并分析计算出涂覆的厚度分布状况，具有精确在线监测的技术效果，减少材料的浪费。
一种在线检测涂胶厚度涂布机