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[发明专利]一种NiFe或FeMn薄膜表面氧化层厚度的分析方法-CN201910231149.3有效
发明人：孙科;钟秋雨;邬传健;余忠;蒋晓娜;兰中文;郭荣迪 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： G01B15/02 文献下载
摘要：一种NiFe或FeMn薄膜表面氧化层厚度的分析方法，属于薄膜厚度分析检测技术领域。首先，对待测薄膜进行ARXPS测试；然后，采用单值分解法和调整法相结合，对Ni、Fe、Mn单质及其氧化物的参数进行拟合，如峰位、半峰宽等；根据角分辨XPS与表面层状结构分析的基本原理和测试方法，在一定误差范围内，得出约化厚度d/λ；最后，确定其非弹性散射平均自由程λ，进而得到氧化层厚度d。本发明方法简单，对设备要求不高，能非破坏性地测量极薄氧化层的厚度，并结合磁性能研究确定薄膜的钉扎临界厚度；同时，与现有方法相比，本发明方法的拟合标准偏差明显下降，标准偏差从现有技术10.25～22.76
一种 nife femn 薄膜表面氧化厚度分析方法

[实用新型]一种BOPP薄膜厚度检测装置-CN202220076928.8有效
发明人：张玉杰;沈爱芳 -专利权人：天津信华电子材料有限责任公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： G01B15/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种BOPP薄膜厚度检测装置，属于检测装置技术领域。该BOPP薄膜厚度检测装置，包括底板、固定机构和移动机构，所述底板的顶部固定安装有检测机构，所述固定机构包括矩形框，所述矩形框的一端侧壁上固定安装有第一支撑板，所述矩形框的另一端侧壁上螺纹贯穿有第一螺杆通过设置第一支撑板，拉动第一支撑板上的压紧机构，将薄膜的一端放置在第一支撑板上，通过压紧机构压紧薄膜的一端，通过拉动第二支撑板上的压紧机构，将薄膜的另一端放置在第二支撑板上，压紧机构压住薄膜的另一端，旋转第一螺杆，使第二支撑板移动，从而即可实现拉直薄膜，同时便于安装和更换薄膜。
一种 bopp 薄膜厚度检测装置

[实用新型]一种扩晶机-CN201920141966.5有效
发明人：王富东;蓝汉潮 -专利权人：深圳市铭上光电有限公司
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：扩展驱动丝杠的两端设置有旋转方向相反的螺纹；第一扩展臂、第二扩展臂分别安装在扩展驱动丝杠的两端；且位于固定平台的相对的两个侧面横向扩展机构包括设置在固定平台两侧的第一横向扩展滚轮、第二横向扩展滚轮；本实用新型的横向扩展机构的步进电机根据薄膜厚度检测传感器检测到的薄膜厚度信息来工作，当薄膜厚度检测传感器测到的薄膜过薄时，横向扩展机构停止工作，以防止晶膜被拉伸过度。
横向扩展固定平台驱动丝杠扩展臂薄膜厚度检测本实用新型纵向扩展滚轮晶机薄膜旋转方向相反传感器检测步进电机厚度信息两端设置驱动电机水平设置传感器拉伸螺纹侧面

[发明专利]一种防伪检测装置及防伪层-CN201910148980.2在审
发明人：王建华;王斑;王超 -专利权人：南京前海有芯信息技术有限公司
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种防伪检测装置，包括检测盒、紫外灯及检测镜片；检测盒一侧敞口，另一侧设有观测窗口，且检测镜片设于观测窗口处；检测镜片涂覆荧光层；紫外灯内置于检测盒内，由电源模块供电。防伪层包括镀覆于基材表面的反射紫外光的透明薄膜，该薄膜包括若干层堆叠的反射层；反射层包括叠合的氧化钽薄膜和氧化硅薄膜；且氧化钽薄膜和氧化硅薄膜的厚度为纳米级。通过使用特殊透明的紫外线高反射率薄膜对产品进行隐蔽的标记，然后利用紫外光源和相应的荧光材料对产品表面进行检测，通过检测结果，检测者可以判断被检测物表面是否存在该薄膜，进而判断被检测物的真假。检测步骤简单、易操作，检测及防伪成本低，具有很强的实用性和广泛的适用性。
检测检测盒镜片防伪检测装置氧化硅薄膜氧化钽薄膜被检测物观测窗口反射层防伪层紫外灯薄膜高反射率薄膜产品表面电源模块防伪成本基材表面检测结果透明薄膜荧光材料紫外光源紫外光层堆叠纳米级透明的荧光层紫外线敞口叠合镀覆涂覆反射隐蔽供电

[发明专利]轧制过程中测量并调整轧辊表面不平度缺陷的方法-CN200710144336.5无效
发明人：张曙;李玉梅 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2007-09-20 - 公布日： 2008-02-13 - 主分类号： B21B38/00 文献下载
摘要：将一个上面设置有检测轧辊探测头的机架固定在运动薄膜的上方并与运动薄膜之间间隔一定距离，探测头的运动方向垂直于薄膜运动方向，并在薄膜边缘处改变方向；调整支架上探测头的起始测量位置并调整探测头和薄膜的运动速度；进行测量得到测量点处的坐标和薄膜厚度；建立宽等于轧辊长度，长等于轧辊圆周长的矩形区域，将薄膜厚度数据叠加到构造的矩形区域中；对测得的薄膜厚度数据拟和，找到轧辊表面的不理想区域进行调整。
轧制过程测量调整轧辊表面平度缺陷方法

[发明专利]用于半导体薄膜沉积设备中绝缘柱升降状态的检测方法及检测系统-CN202110394645.8在审
发明人：王琳琳;王卓;杨艳 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2021-04-13 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于半导体薄膜沉积设备中绝缘柱升降状态的检测方法及检测系统，检测方法中基于对半导体薄膜沉积设备中薄膜沉积腔内晶圆的厚度检测，依据检测的晶圆厚度来间接反映出晶圆是否发生倾斜，进而判断绝缘柱的升降状态，一旦绝缘柱的升降状态存在异常，则可控制机械手臂停止进行取片动作，进而避免机械手臂与晶圆发生碰撞，从降低腔体碎片概率、机械手指撞片损伤的概率，减少设备故障时间以及晶圆异常沉积造成的电弧硬件损伤；该检测方法，简单易行，可为后续的机械手臂进行预警，可有效降低设备的故障率；所述检测系统，是基于上述检测方法而研发的一套检测系统，具有设计合理，结构简单等优点。
用于半导体薄膜沉积设备绝缘升降状态检测方法系统

[实用新型]一种薄膜缠绕设备-CN202021650200.9有效
发明人：李求存 -专利权人：龙港市禾昌实业有限公司
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： B65B57/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种薄膜缠绕设备，包括设备壳体、所述设备壳体内包括切线机构、放线料卷、薄膜、裁剪机构、电机、旋转机构、控制机构，所述电机与旋转机构通过同步带相连，所述旋转机构中央设置有被缠绕管，所述控制机构与切线机构、裁剪机构、电机电性相连，所述放线料卷包括第一放线料卷、第二放线料卷，所述第一放线料卷、第二放线料卷中设置有缠绕的线束，所述线束连接有齿轮机构，所述待缠绕薄膜与旋转机构中的被缠绕管连接，所述旋转机构上竖直设置有红外检测设备，用于检测薄膜缠绕厚度。本实用新型设计了一种可以根据检测薄膜缠绕厚度停止的设备，其缠绕后可自动进行捆绑，使用方便，自动化操作。
一种薄膜缠绕设备

[实用新型]一种泡棉保护膜自动检测机器-CN201920408195.1有效
发明人：张艳涛 -专利权人：东莞市大钜电子科技有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种泡棉保护膜自动检测机器，包括薄膜测厚仪，所述薄膜测厚仪下端设有检测盘，且检测盘下端设有检测板，所述检测板一侧设有用于卡合检测板的传送板，传送板内设有传送带，传送带外壁均匀分布第一咬合块该泡棉保护膜自动检测机器在进行使用时，将传送板卡合在薄膜测厚仪外壁之后，步进电机带动转盘转动的同时，转盘外壁的第二咬合块与第二咬合块交错卡合，从而带动传送带一同转动，将位于第一咬合块上的泡棉保护膜传送到薄膜测厚仪上，以此对泡棉保护膜进行厚度检测，解决了泡棉保护膜在进行厚度检测时，都是需要人工将保护膜放置在检测机器上，增加工作时间的问题。
保护膜泡棉测厚仪传送板咬合块薄膜自动检测机器传送带检测板卡合外壁下端步进电机厚度检测检测盘本实用新型连接固定柱转盘转动固定柱转盘转动交错检测

[实用新型]一种薄膜厚度自动检测装置-CN202120845029.5有效
发明人：徐建洪 -专利权人：苏州博铭晟新材料有限公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本实用新型适用于薄膜厚度检测技术领域，提供了一种薄膜厚度自动检测装置，包括：下基座；上基座，相对所述下基座活动设置；驱动机构，用于驱动所述上基座沿着靠近或者远离所述下基座的方向移动；测量机构，安装在所述上基座上所述固定机构的数量为多个且布设在测量机构的外围；所述固定机构包括伸缩固定单元以及用于连接所述伸缩固定单元和所述上基座的连接组件；所述伸缩固定单元上开设有至少一个气孔，所述气孔的出气方向朝向所述测量机构，从而达到对薄膜进行自动测量的同时，还可以自动对薄膜上的灰尘进行清理，使得检测数据更加精确，结构巧妙。
一种薄膜厚度自动检测装置

[发明专利]用于控制平膜机出口喷嘴的喷嘴缝隙的方法和装置-CN201980071150.2在审
发明人：托尔斯滕·施米茨;瓦尔德马·科勒尔;贝恩德-亚历山大·格勒佩尔 -专利权人：温德默勒及霍乐沙两合公司
申请日： 2019-11-05 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： B29C48/31 文献下载
摘要：本发明涉及一种控制用于平膜机(100)的薄膜幅材(FB)的出口喷嘴(110)的喷嘴缝隙(112)的方法，具有以下步骤：检测喷嘴缝隙(112)的实际轮廓(IP)，采集薄膜幅材(FB)的厚度轮廓(DP)，将薄膜幅材(FB)的所采集的厚度轮廓(DP)与规定轮廓(VP)相比较，确定作为比较结果的轮廓偏差(PA)，执行控制干预以基于所述轮廓偏差(PA)和实际轮廓(IP)改变该喷嘴缝隙(112)。
用于控制平膜机出口喷嘴缝隙方法装置

[发明专利]一种自动控制吹膜机-CN201711391380.6在审
发明人：缪磊;孙建军;邱丰 -专利权人：苏州星火丰盈环保包装有限公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： B29C55/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动控制吹膜机，包括机架、挤出装置、牵引装置和收卷装置，其特征在于：吹膜机还设有自动控制机构，所述自动控制机构包括中心处理器、厚度传感器、张力传感器、无线传输模块，所述厚度传感器、张力传感器分别与中心处理器的输入端无线连接本发明提供的吹膜机通过厚度传感器检测薄膜的厚度，通过张力传感器检测薄膜表面张力，并与预设值作比较，通过中心处理器对相应的设备参数进行调整，实现自动化操作。
一种自动控制吹膜机

[实用新型]一种共面电容传感器的非导电介质薄膜厚度在线检测装置-CN201220684165.1有效
发明人：李红民;马玉真;郑媛 -专利权人：山东建筑大学;济南大学;济南亚民自动化仪表有限责任公司
申请日： 2012-12-12 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种共面电容传感器的非导电介质薄膜厚度在线检测装置，包括检测电路、数据采集卡、接口转换器、计算机；检测电路包括测量激励电路、参考电容、主放大器、传感器测量电容、信号解调电路、信号分离电路本实用新型具有适应性强、无射线污染、动态响应好、可以实现非接触测量、自身温度系数小等优点，在非导电介质薄膜厚度在线测量中有广泛应用。
一种电容传感器导电介质薄膜厚度在线检测装置

[实用新型]一种抗老化太阳能背板PET薄膜生产装置-CN201721598180.3有效
发明人：张亚东 -专利权人：嘉善东佳新材料科技有限公司
申请日： 2017-11-27 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： B29D7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抗老化太阳能背板PET薄膜生产装置，包括支架和箱体，其中所述箱体为半封闭空腔结构，入料口位于所述箱体的顶端，底座位于所述支架的底端，支撑杆的两端分别水平固定于支架的两侧。有益效果：通过旋转电机的转动带动转动轴的转动进而带动主动轮轴的转动进一步带动第一挤压辊的转动从而实现对薄膜的挤压拉伸，当薄膜通过第一挤压辊之后水平对称的厚度测试仪会对薄膜厚度进行检测进而调节第二挤压辊之间的距离以实现对薄膜的再次挤压拉伸，最终得到厚度符合要求的薄膜，而加热器的散热降低了薄膜的硬度使得薄膜易挤压拉伸，提高了薄膜的生产效率，打破了传统薄膜生产装置的局限性。
薄膜转动挤压拉伸生产装置挤压辊支架太阳能背板抗老化半封闭空腔本实用新型厚度测试仪加热器传统薄膜生产效率水平对称水平固定旋转电机主动轮轴入料口支撑杆转动轴散热底端底座检测

[发明专利]一种混杂石墨烯膜、贵金属粒子和金属氧化物材料的集成氢气传感器及其制备方法-CN201410230643.5在审
发明人：章伟;王瑞;许泳;李雨桐;李涛;秦薇薇;高志强;蔡依晨;杨楠;徐玫瑰 -专利权人：南京益得冠电子科技有限公司;南京工业大学
申请日： 2014-05-28 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种混杂石墨烯膜、贵金属粒子和金属氧化物材料的集成氢气传感器及其制备方法，传感器包括基片、加热电极、导热绝缘层、检测电极，加热电极位于基片上，导热绝缘层在加热电极与检测电极之间，还包括沉积在检测电极上的金属氧化物薄膜，金属氧化物薄膜表面上沉积的贵金属粒子，石墨烯膜覆盖在沉积有贵金属粒子的金属氧化物薄膜上。所述贵金属粒子为单原子覆盖在金属氧化物薄膜上，覆盖度为0.05%-10%，颗粒尺寸为0.2nm-0.4nm，随机均匀排列。所述金属氧化物薄膜厚度为10nm-2μm。所述石墨烯膜厚度0.5-1.2nm。本发明提供的集成氢气传感器能够同时实现对氢气检测和监测的高灵敏度和高选择性。
一种混杂石墨贵金属粒子金属氧化物材料集成氢气传感器及其制备方法

[实用新型]一种薄膜卷材厚度检测装置-CN202022876750.9有效
发明人：魏清波;杜虎 -专利权人：成都泵类应用技术研究所
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本实用新型属于薄膜检测技术领域，公开了一种薄膜卷材厚度检测装置，为了解决人工检测存在着操作难度大的问题。本实用新型包括安装座，所述安装座的底部设置有滑槽，所述安装座上设置有厚度检测组件，所述厚度检测组件包括2个能够转动并且平排设置的上导辊和2个能够转动并且并排设置的下导辊，所述下导辊位于上导辊的正下方，并且一个上导辊与位于其正下方的一个下导辊组成一个导辊组，每一个上导辊和每一个下导辊均经销轴转动安装在支撑架上，所述安装座上设置有导向轨，所述安装座上安装有用于带动下导辊的支撑架在安装座的导向轨上进行上下移动的电动伸缩杆，厚度检测组件的2个导辊组的转动速度不相同
一种薄膜卷材厚度检测装置