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- [发明专利]一种薄膜剖面图像的膜厚采集方法-CN201910845717.9有效
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邹细勇;朱力;胡晓静
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中国计量大学
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2017-05-28
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2021-07-16
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B29D7/01
- 本发明公开了一种薄膜剖面图像的膜厚采集方法，基于薄膜测厚仪输出用以显示被检测薄膜的横向剖面厚度图像，先根据区域特征获取含有目标曲线的ROI区域，在灰度化和滤波处理后，根据颜色分量和坐标特征获取该区域内的非连续膜厚曲线图像和辅助点阵图像；然后，对二副图像分别进行Otsu阈值分割和双阈值分割后得到二值图像，并将结果相合并生成一条连续完整且无交叉的膜厚曲线图像；最后，基于所获取的基准厚度值、坐标刻度值、厚度平均值，对所生成膜厚曲线上每个点，将其在图像中的像素坐标变换为所对应的厚度值。本发明通过对薄膜剖面图像的处理，能准确获取薄膜剖面各点的厚度值，从而为薄膜横、纵向厚度的一致性控制提供了基础。
- 一种薄膜剖面图像采集方法
- [实用新型]一种薄膜厚度调节装置-CN201921502848.9有效
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聂玉静;黄新宇
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闽南师范大学;福建壹工软包装科技有限公司
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2019-09-10
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2020-05-19
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B29C55/28
- 本实用新型公开了一种薄膜厚度调节装置，涉及吹膜机领域，包括模头、底座和薄膜，所述底座的顶部从左到右依次固定安装有支撑座、驱动电机、PLC控制器和固定架，所述支撑座上安装有收卷辊，所述薄膜卷绕在收卷辊上，所述模头的左端固定安装有风环，所述固定架的顶部设置有顶架，所述顶架的右侧固定安装有薄膜厚度检测仪。本实用新型能够根据吹塑机上的模头高度调整导辊的高度，从而便于后期收卷辊对薄膜进行收卷，冷却件通过其上的水管外接冷水源，冷水流入冷却水通道内，从而使得冷却件与风机进行降温，避免风机高温运行，延长了使用寿命，通过调整风机的转速，从而减小薄膜厚度偏差，进而使薄膜的厚度控制在目标范围。
- 一种薄膜厚度调节装置
- [发明专利]半导体晶片磨光的方法和系统-CN00803741.8无效
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L·张
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皇家菲利浦电子有限公司
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2000-09-12
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2002-03-13
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H01L21/66
- 在CMP处理期间,利用连接于磨光机上的薄膜厚度检测器来测量相应晶片上接近于中心的第一点上的薄膜厚度。还要测量接近于相应晶片的外部边缘处第二点上的薄膜厚度。根据在第一点和第二点上测量的处理中的晶片的薄膜厚度,优化处理确定一个描述与一组处理变量相关的清除率和清除均匀度的磨光轮廓。处理变量包括磨光处理的不同的CMP机设定,诸如施加于晶片上的向下作用力的大小。对于每一个产品晶片,通过利用薄膜厚度检测器测量晶片中心点和外部边缘点的薄膜厚度,来确定其相应的清除率和清除均匀度。
- 半导体晶片磨光方法系统
- [发明专利]变厚度梁式环境监测微质量传感器及变厚度梁设计方法-CN201510945912.0有效
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赵剑;高仁璟;张淑敏;黄毓
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大连理工大学
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2015-12-16
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2018-09-04
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G01N5/02
- 本发明涉及变厚度梁式环境监测微质量传感器及变厚度梁设计方法，它包括一连接固定块上的悬臂梁，悬臂梁上表面设置压电薄膜，且压电薄膜长度小于悬臂梁的长度，其特征在于：悬臂梁下表面沿长度方向分为n等份，每一段的厚度不均匀变化，且连接固定块的悬臂梁的第一段厚度不变；压电薄膜覆盖悬梁臂部分组成复合段的谐振频率为f1i，其余压电薄膜未覆盖悬梁臂部分的谐振频率为f2j，且f1i＝f2j，通过二者相等得出该传感器的第n阶模态的结构谐振频率fn，并结合检测到被探测物后的谐振频率fn1将二者做差得到谐振频率变化量Δf，进而通过Δf≌‑fnΔm/Me得到被探测物质量Δm，其中，Me为悬臂梁等效质量。因此，本发明可以广泛用于液体浓度检测、吸附微质量检测和微生物如病毒、细菌的检测等领域。
- 厚度环境监测质量传感器设计方法
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