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[发明专利]一种蒸镀用材料、制备方法和蒸镀方法-CN201611061522.8有效
发明人：闵超;罗志忠;李维维;敖伟 -专利权人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2016-11-28 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种蒸镀用材料、制备方法和蒸镀方法，所述蒸镀用材料包括：待蒸镀材料，及包裹在所述待蒸镀材料表面的保护材料，其中：所述保护材料的功函数大于所述待蒸镀材料的功函数，当达到相同蒸镀速率时，所述保护材料所需要的蒸镀温度低于所述待蒸镀材料所需要的蒸镀温度由于这种蒸镀用材料在功函数较低的待蒸镀材料表面包裹了功函数较高的保护材料，使得待蒸镀材料在添加到蒸镀腔室进行蒸镀的过程中不会因为与空气接触而部分被氧化腐蚀，进而有效提高使用这种待蒸镀材料蒸镀得到的OLED
蒸镀蒸镀材料蒸镀用材料保护材料功函数蒸镀材料表面制备电子注入性能电子注入层空气接触氧化腐蚀蒸镀腔室

[实用新型]一种蒸镀机-CN201821175507.0有效
发明人：张珅骏 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种蒸镀机，包括至少一个蒸镀腔室，在蒸镀腔室内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，还包括蒸镀源轨道，在蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，该蒸镀材料源在蒸镀源轨道上运行，使得蒸镀材料源能够对基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀在蒸镀机内设置蒸镀源轨道，不同的蒸镀材料源在该蒸镀源轨道上运行，当一种蒸镀材料源运行到对准待蒸镀基板时，对基板进行蒸镀，蒸镀完成后该蒸镀材料源继续沿着蒸镀源轨道运行，另一种蒸镀材料源对准蒸镀基板进行蒸镀，以此完成对基板的整个蒸镀过程。解决了现有技术中一块待蒸镀基板需要多次在不同对位机构上进行对位，导致蒸镀周期长，且多次进行对位会使玻璃基板破片几率成倍增长的问题。
蒸镀材料蒸镀源蒸镀蒸镀基板蒸镀机轨道对基板对位对准玻璃基板破片本实用新型对位机构轨道运行蒸镀腔室源运行蒸镀腔室内

[实用新型]一种蒸镀坩埚及蒸镀设备-CN201921870094.2有效
发明人：陶涛;朱凯;王浩;冯敏强;廖良生 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2019-11-01 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及蒸镀设备领域，公开一种蒸镀坩埚及蒸镀设备。所述蒸镀坩埚包括坩埚本体和外延结构，外延结构包括上开口和下开口，下开口的面积小于上开口，下开口与坩埚本体的开口相连接，外延结构上设置有容纳槽，容纳槽被配置为收集回流的蒸镀材料。所述蒸镀设备包括上述的蒸镀坩埚。本实用新型有利于优化蒸镀材料的蒸镀发散角，能够驱使蒸镀材料冷却回流，可以有效避免蒸镀材料的泄漏，避免污染加热装置，提高蒸镀材料的利用率，降低成本，同时可对回流的蒸镀材料进行收集，并进行蒸镀材料的质量监控(防止回流蒸镀材料变质影响器件制备)及蒸镀材料的二次提纯。
一种坩埚设备

[发明专利]一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板-CN201610657891.7有效
发明人：沈武林;苏彦新;王卓;樊浩原;李兴华 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2016-08-11 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板，涉及显示技术领域，可以提高蒸镀过程中蒸镀材料的利用率，降低生产成本，且提高了蒸镀材料的蒸镀速率。该蒸镀装置，包括蒸发源、电子发射装置和蒸镀基台；所述蒸发源，用于对蒸镀材料加热，以使所述蒸镀材料气化；所述电子发射装置，用于使从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料带有电荷；所述蒸镀基台，用于固定目标基板；所述蒸镀基台可带电，且所带电的电性与从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料所带电荷的电性相反。用于对蒸镀材料进行蒸镀。
一种装置方法基板

[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法-CN201811326464.6有效
发明人：王鑫;王洋;张灿;张荡;崔晓晨;蔡鹏;李官正 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-11-08 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀装置和蒸镀方法，所述蒸镀装置包括容器、蒸镀基台、蒸镀材料收容器和抽取设备。所述容器具有容纳腔，所述容器的壁上设有开孔。所述蒸镀基台设置在所述容纳腔内。所述蒸镀材料收容器具有用于收容蒸镀材料的收容空间，所述收容空间与所述容纳腔连通，所述蒸镀材料收容器用于加热蒸镀材料使蒸镀材料气化，以使气态蒸镀材料进入所述容纳腔并沉积在所述蒸镀基台上。所述抽取设备的入口通过所述开孔与所述容纳腔连通，出口与所述收容空间连通，所述抽取设备用于抽取所述容纳腔内未沉积的蒸镀材料并输送至所述收容空间内。根据本发明的实施例，可以减轻因蒸镀材料的减小导致蒸镀材料蒸发速率降低的程度。
装置方法

[发明专利]蒸镀装置及其控制方法、使用了蒸镀装置的蒸镀方法、以及器件的制造方法-CN201580013126.5有效
发明人：泷口明 -专利权人：株式会社日本有机雷特显示器
申请日： 2015-02-23 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种共蒸镀不同的蒸镀材料的蒸镀装置，包括：腔室，蒸镀对象物设于腔室内；向蒸镀对象物吐出第1蒸镀材料的蒸气的第1蒸镀源；向蒸镀对象物吐出第2蒸镀材料的蒸气的第2蒸镀源；对第1蒸镀材料进行加热的第1加热部；对第2蒸镀材料进行加热的第2加热部；和控制第1加热部及第2加热部的加热控制部；加热控制部构成为能够将第1及第2加热部控制成第2蒸镀材料的升温比第1蒸镀材料的升温滞后预定时间而开始。
装置及其控制方法使用以及器件制造

[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法-CN201610331712.0有效
发明人：萧智鸿 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2016-05-18 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：一种蒸镀装置及蒸镀方法，该蒸镀装置包含支撑件、蒸镀源、第一传感器、计算单元以及动作器。支撑件用以支撑基板。蒸镀源用以蒸镀蒸镀材料，使蒸镀材料沉积于基板上。第一传感器用以于多个检测位置检测蒸镀材料的多个蒸镀速率。计算单元用以依据于检测位置所检测到蒸镀材料的蒸镀速率，估计蒸镀角。动作器用以依据估计的蒸镀角来移动蒸镀源。
装置方法

[发明专利]蒸镀结构、蒸镀系统及蒸镀结构的使用方法-CN201910069733.3有效
发明人：饶勇;李有亮;刘金彪;谭瑞;岳小非;罗楠;胡斌;仪修超;沈萌;加新星;肖鹏;李靖;晋亚杰 -专利权人：成都京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀结构、蒸镀系统及蒸镀结构的使用方法，属于显示技术领域。蒸镀结构包括：蒸镀坩埚、喷嘴和浮板，蒸镀坩埚用于盛放蒸镀源材料，蒸镀源材料的状态在受热后由液态变为气态；喷嘴设置在蒸镀坩埚的出口处，喷嘴用于向待蒸镀基板表面喷射呈气态的蒸镀源材料；浮板被配置为：漂浮在呈液态的蒸镀源材料的表面，且浮板与蒸镀坩埚的内壁之间具有间隙，浮板具有多个镂空结构，多个镂空结构被配置为：供呈气态的蒸镀源材料通过。本申请提高了在待蒸镀基板上形成的膜层的均一性。本申请用于蒸镀结构和蒸镀系统。
结构系统使用方法

[发明专利]一种蒸镀方法-CN201710202453.6在审
发明人：郑克宁;孔超;陈栋 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀方法，用以解决现有的蒸镀工艺，使用蒸镀掩膜版进行蒸镀之后，很容易有材料残留到蒸镀掩膜版上，残留的材料很难清洗，而且容易将待蒸镀基板划伤的问题。该方法包括在蒸镀掩膜版上形成一层附加膜层；使用形成有附加膜层的蒸镀掩膜版，在待蒸镀基板上蒸镀形成蒸镀膜层；其中，附加膜层材料的活泼性强于蒸镀膜层材料的活泼性。本发明在待蒸镀基板上蒸镀形成蒸镀膜层之前，先在蒸镀掩膜版上形成一层附加膜层，因而在使用该蒸镀掩膜版蒸镀之后，如果有蒸镀膜层的材料残留，会直接残留在附加膜层的表面上，由于附加膜层材料的活泼性强于蒸镀膜层材料的活泼性，因而可以更容易的将残留的材料清洗干净，避免其划伤待蒸镀基板。
一种方法

[实用新型]一种热蒸镀预调材料回收装置与蒸镀设备-CN202321386224.1有效
发明人：尹伟杰;黄惠钰;赖俊志;李立嘉;刘明伟;李艳华 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热蒸镀预调材料回收装置与蒸镀设备，热蒸镀预调材料回收装置包括蒸镀挡板与蒸镀装置；其中蒸镀挡板包括加热盖板和两片引流板，两片引流板位于加热盖板下方，分别斜向下向内设置；蒸镀装置包括蒸发舟、底座和加热器，蒸发舟位于底座(42)上方，加热器位于底座下方，使加热器通过底座加热蒸发舟中的蒸镀材料；蒸镀挡板覆盖在蒸镀装置的上方，两引流板的下端均位于蒸发舟内部的上方，使液态的蒸镀材料通过引流板回到蒸发舟中从而在预调蒸镀材料速率的过程当中，蒸发的蒸镀材料被蒸镀挡板收集，沉积在加热盖板上，通过加热使得凝固的蒸镀材料融化，经过引流板回流至蒸发舟内，节约蒸镀材料。
一种热蒸镀预调材料回收装置设备

[发明专利]一种蒸镀装置及蒸镀方法-CN201710741658.1有效
发明人：毛波;江昌俊;李俊;哈朗朗;窦义坤;徐阳;栾梦雨 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2017-08-24 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜制备技术领域，公开了一种蒸镀装置及蒸镀方法。所述蒸镀装置通过导电隔板将蒸镀腔分割为多个子蒸镀腔，在每一子蒸镀腔内一一对应设置蒸发源，并通过电荷提供模块控制所述导电隔板带电，通过微粒带电模块控制蒸镀材料微粒带电，且所述导电隔板和蒸镀材料微粒带同种电荷，以使蒸镀材料微粒在导电隔板的同种电荷间的排斥力作用下，减小蒸镀材料微粒的蒸镀角，避免不同蒸发源蒸发的蒸镀材料微粒发生串扰，提高蒸镀质量。同时，能够使更多的蒸镀材料微粒蒸镀在基板上，提高材料利用率。而且还能够减小设备的体积，缩短蒸镀工艺的耗时，提高生产效率，降低成本，保证制得基板的性能。利用上述蒸镀装置进行蒸镀的方法也具有上述技术效果。
一种装置方法

[发明专利]一种蒸镀罩和蒸镀设备-CN201610228686.9有效
发明人：李晓虎;孙中元;王路;朱海彬 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-04-13 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种蒸镀罩，其包括罩体，所述罩体上设有蒸镀通道和与所述蒸镀通道连通的用于回收蒸镀材料的收集器，所述收集器与所述蒸镀通道可拆卸连接；本发明实施例还提供了一种蒸镀设备，包括装有蒸镀源材料的蒸镀坩埚和上述所述的蒸镀罩，所述蒸镀罩设于所述蒸镀坩埚的上方。本发明实施例的蒸镀罩能够回收被浪费掉的蒸镀材料，从而提高蒸镀材料的利用率。
一种蒸镀罩设备

[发明专利]一种膜层厚度控制装置-CN202310404029.5在审
发明人：张坤;卿万梅;陈林 -专利权人：重庆京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种膜层厚度控制装置，包括：蒸镀基板；至少一个蒸镀点源，用于对蒸镀材料进行加热蒸发，以使气化的蒸镀材料粒子在蒸镀基板面向蒸镀点源的一面形成蒸镀膜层；遮挡板，设置在蒸镀基板与蒸镀点源之间；其中，遮挡板与蒸镀基板之间具有间隔，遮挡板在蒸镀基板上的正投影位于蒸镀基板内，且覆盖蒸镀点源在蒸镀基板上的正投影；旋转机构，连接蒸镀基板，用于带动蒸镀基板旋转，蒸镀基板在旋转过程中，遮挡板遮挡靠近蒸镀点源的蒸镀材料粒子形成到遮挡板，以在蒸镀基板上形成膜厚均匀的蒸镀膜层。旨在提供一种控制蒸镀基板上蒸镀材料粒子量的沉积量，以使在蒸镀基板上形成膜厚均匀的蒸镀膜层的控制装置。
一种厚度控制装置

[实用新型]一种蒸镀装置-CN201820415703.4有效
发明人：姚阳 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-03-26 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀装置，用于在显示基板上沉积蒸镀材料，包括：顶部开口的腔室，所述腔室用于容纳蒸镀材料，所述腔室的侧壁和底面为连通的中空结构，在所述中空结构内部容纳有用于对所述蒸镀材料加热的导热液；设置在腔室外部的加热装置蒸镀装置腔室的侧壁和底面为连通的中空结构，其内部容纳对蒸镀材料进行加热导热液，在腔室外部设置加热装置对导热液进行加热。该蒸镀装置，利用加热装置对导热液进行加热，导热液吸收热量后对蒸镀材料进行加热，以达到蒸镀材料所需温度，利用液体对蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料受热均匀，可以保证蒸镀材料达到均一的温度，进而保证蒸镀材料均匀的沉积到显示基板上
蒸镀材料加热导热液蒸镀装置腔室加热装置中空结构腔室外部显示基板容纳侧壁沉积底面连通本实用新型顶部开口受热均匀吸收热量均一保证

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法、有机发光二极管器件和显示面板-CN202310092346.8在审
发明人：贾克飞;李坚;张金中;王艳;朱伍权;杨正宇;廖先江 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司
申请日： 2023-01-28 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本公开实施例提供蒸镀装置、蒸镀方法、有机发光二极管器件和显示面板。蒸镀装置包括：蒸镀源，蒸镀源包括沿第一方向间隔排列的第二蒸镀源、第一蒸镀源及第三蒸镀源，第一蒸镀源蒸镀主体材料，第二蒸镀源和第三蒸镀源蒸镀客体材料，第二蒸镀区和第三蒸镀区位于第一蒸镀区内；待蒸镀基板被配置为相对于蒸镀源沿第一方向往复移动，发光材料层包括多个层叠的子发光材料层，子发光材料层包括层叠的第一子发光层、第二子发光层以及第三子发光层，第二子发光层位于第一子发光层和第三子发光层之间，第一子发光层的客体材料掺杂率和第三子发光层的客体材料掺杂率均大于第二子发光层的客体材料掺杂率本公开的蒸镀装置制备发光材料层可以提升发光效率。
装置方法有机发光二极管器件显示面板

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