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[发明专利]掩膜板、显示背板、显示装置以及掩膜板的制备方法-CN202211668273.4在审
发明人：张峰杰;王路;王伟杰;孙中元;薛金祥 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种掩膜板、显示背板、显示装置以及掩膜板，其中，掩膜板包括：掩膜框；掩膜条，连接于掩膜框，掩膜条朝向蒸镀基板的一侧具有支撑面，支撑面设有开孔区域；掩膜片，连接于支撑面朝向蒸镀基板的一侧，掩膜片的朝向蒸镀基板的表面设有减薄区域，减薄区域沿远离蒸镀基板的方向凹陷形成，减薄区域设有多个蒸镀通孔，多个蒸镀通孔与蒸镀基板上的多个第一目标子像素一一对应，且蒸镀通孔的形状与第一目标子像素的预设形状对应根据本申请的技术，有利于减小掩膜片与蒸镀基板之间的间隙，降低了蒸镀工艺中的蒸镀阴影效应。
掩膜板显示背板显示装置以及制备方法

[发明专利]一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法、装置及设备-CN201810930390.0有效
发明人：戚海平 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2018-08-15 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法、装置及设备，涉及显示技术，在蒸镀掩膜板与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位与玻璃表面的第一间隙；在蒸镀掩膜板的平坦局部与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面与玻璃同一表面的第二间隙；确定蒸镀掩膜板各个部位与玻璃的贴合间隙为所述第一间隙减去所述第二间隙的差值。确定了蒸镀掩膜板各个部位与玻璃的贴合间隙后，即可根据该贴合间隙在生产过程中在产品蒸镀前可以根据Gap(间隙)分析结果提前判定产品不良类型及比率，从而大幅降低蒸镀成本并提高不良改善效率。
一种蒸镀掩膜板玻璃贴合间隙确定方法装置设备

[发明专利]掩膜板及其制作方法、OLED显示基板的制作方法-CN201910690971.6有效
发明人：金熙哲;陈腾;孟维欣 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板及其制作方法、OLED显示基板的制作方法，该掩膜板包括：掩膜板本体，所述掩膜板本体上开设有多个蒸镀孔；多个阻挡环，设置于所述掩膜板本体上，与所述多个蒸镀孔一一对应，围设在对应的所述蒸镀孔的周围当采用本发明的掩膜板向待蒸镀基板蒸镀有机发光材料时，在蒸镀过程中，从蒸镀孔内通过的有机发光材料会被阻挡环阻挡，减少或者避免有机发光材料向蒸镀孔正对区域以外的区域扩散，减少了蒸镀阴影的面积，从而可避免相邻的不同颜色的有机发光层交叉污染
掩膜板及其制作方法 oled 显示

[发明专利]掩膜板及掩膜组件-CN201810454597.5有效
发明人：李金库;康梦华;王梦凡 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板及掩膜组件，所述掩膜板包括掩膜板主体；设置于所述掩膜板主体上的至少一个子掩膜板，所述子掩膜板包括蒸镀区和遮挡部；在所述子掩膜板的厚度方向上，所述蒸镀区设置有贯穿所述子掩膜板的第一蒸镀孔；所述遮挡部包括隔离区和虚设区，所述虚设区与显示屏的异形区对应，所述隔离区位于所述虚设区与所述蒸镀区之间，在所述子掩膜板的厚度方向上，所述虚设区设置有第二蒸镀孔，所述第二蒸镀孔贯穿所述子掩膜板，和/或所述虚设区开设有至少一个第一凹槽，所述第一凹槽的深度小于所述子掩膜板的厚度。如此，降低了遮挡部的应力集中，从而使掩膜板主体在张网过程中受力均匀，进一步降低了掩膜板主体在张网过程中的褶皱现象。
掩膜板蒸镀虚设遮挡掩膜组件隔离区张网受力均匀应力集中褶皱现象异形区贯穿显示屏

[实用新型]掩膜板-CN202122436360.4有效
发明人：李世泰;赵莹;李慧;刘明星 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜板，包括掩膜本体，掩膜本体具有蒸镀面和背面；掩膜板本体上设置有贯穿其的蒸镀孔；蒸镀孔包括贯穿蒸镀面的第一蒸镀孔，以及与第一蒸镀孔连通且贯穿背面的第二蒸镀孔；第二蒸镀孔的内壁从靠近背面的一端向远离背面的另一端逐渐收拢；掩膜本体还包括设置于背面的下沉槽，下沉槽与至少部分第二蒸镀孔一一对应，且围绕第二蒸镀孔设置以连通第二蒸镀孔；第二蒸镀孔的内壁所在圆弧面与背面相交且形成第一夹角，第二蒸镀孔的内壁与下沉槽的底壁相交设置且形成第二夹角上述掩膜板，第二蒸镀孔的孔壁与背面的过渡更加平缓，从而降低了支撑柱被掩膜板刮伤的风险。
掩膜板

[发明专利]一种蒸镀掩膜板和OLED器件-CN202010494508.7在审
发明人：温质康 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀掩膜板技术领域，特别涉及一种蒸镀掩膜板和OLED器件，包括第一掩膜基板、第二掩膜基板和通电线圈，第一掩膜基板与第二掩膜基板相互贴合，通电线圈套设在第一掩膜基板外壁，使得在通电线圈通上电流时，第一掩膜基板和通电线圈构成一个磁铁，这样可以通过改变电流的方向来改变磁铁的阴阳极，也可以通过调节电流的大小来控制磁铁的磁性大小，进而来调节蒸镀掩膜板的极性和洛伦磁力的大小，实现蒸镀掩膜板的洛伦磁力和本身重力的平衡，以此消除蒸镀掩膜板被磁化带来的影响，从而提高蒸镀器件的良率，提高产品品质。
一种蒸镀掩膜板 oled 器件

[实用新型]一种蒸镀掩膜板和OLED器件-CN202020996440.8有效
发明人：温质康 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及蒸镀掩膜板技术领域，特别涉及一种蒸镀掩膜板和OLED器件，包括第一掩膜基板、第二掩膜基板和通电线圈，第一掩膜基板与第二掩膜基板相互贴合，通电线圈套设在第一掩膜基板外壁，使得在通电线圈通上电流时，第一掩膜基板和通电线圈构成一个磁铁，这样可以通过改变电流的方向来改变磁铁的阴阳极，也可以通过调节电流的大小来控制磁铁的磁性大小，进而来调节蒸镀掩膜板的极性和洛伦磁力的大小，实现蒸镀掩膜板的洛伦磁力和本身重力的平衡，以此消除蒸镀掩膜板被磁化带来的影响，从而提高蒸镀器件的良率，提高产品品质。
一种蒸镀掩膜板 oled 器件

[发明专利]一种掩膜板图形的制备方法及掩膜板-CN201710876522.1有效
发明人：李洁;卢冠宇 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，公开一种掩膜板图形的制备方法及掩膜板。掩膜板图形的制备方法包括：使用密封剂封堵掩膜板上的一部分蒸镀孔，使掩膜板上未被封堵的一部分蒸镀孔形成所需的掩膜板图形。采用密封剂将掩膜板上的一部分蒸镀孔进行封堵，以使掩膜板上未被封堵的一部分蒸镀孔形成所需的掩膜板图形，该方法未改变掩膜板的原有结构，且通过封堵蒸镀孔或将已封堵的蒸镀孔内的密封剂去除，即可改变已有的掩膜板图形，无需重新设计和加工掩膜板，与现有技术中在改变掩膜板图形时需要重新设计加工掩膜板的方式相比，本发明提供的掩膜板图形的制备方法可提高掩膜板图形的更换效率，进而提高了有机电致发光显示面板产品的研发和生产效率
一种掩膜板图形制备方法

[发明专利]一种解决硅基蒸镀掩膜板与基板贴合不良的方法-CN202310674470.5在审
发明人：陆炎;曹绪文;晋芳铭;孙圣;张良睿;李亮亮;荣长停;陈蒙;李启明;李阳阳;林进志 -专利权人：安徽芯视佳半导体显示科技有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种解决硅基蒸镀掩膜板与基板贴合不良的方法，在硅基掩膜板蒸镀区与蒸镀区之间(即非蒸镀区)设置dummy sheet(磁性金属薄片)，dummy sheet为磁性金属材质，如此使硅基掩膜板具有导磁特性使硅基掩膜板与基板能紧密贴合可以有效的提高硅基掩膜板与待蒸镀基板的贴合能力，减少shadow effect，shadow effect降低98.5％。因而减低混色异常。
一种解决硅基蒸镀掩膜板贴合不良方法

[发明专利]掩膜补偿方法和蒸镀系统-CN202110824719.7在审
发明人：张庆宇;张浩瀚;曹方义;赵理;肖一鸣 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜补偿方法和蒸镀系统，旨在解决现目前的掩膜板制备的OLED产品的良率较低的问题。该掩膜补偿方法，通过提供具有至少一个掩膜开口的掩膜板；并在该掩膜板的掩膜开口的拐角处形成外扩部，外扩部可以用于增大掩膜开口的开口面积，从而提高相对于待蒸镀口的允许偏移量；将掩膜板与待蒸镀层对合进行蒸镀，不仅可以提高蒸镀精度，还可以提高掩膜板制备的OLED产品的良率。
补偿方法系统

[发明专利]掩膜板组件、检测膜厚的设备及方法-CN201710232406.6有效
发明人：孙中元;薛金祥 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-04-11 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板组件，所述掩膜板组件包括掩膜板，所述掩膜板包括用于朝向蒸发源的第一表面和用于朝向待沉积件的第二表面，所述掩膜板上形成有图形通孔，其特征在于，所述掩膜板组件还包括可拆卸地设置在所述掩膜板上的测试片，所述测试片避开所述图形通孔，所述测试片设置为当利用所述掩膜板组件进行蒸镀时，蒸镀材料能够沉积在所述测试片上。本发明还提供检测掩膜板组件上蒸镀材料的膜厚的设备及方法。利用所述设备可以方便地检测出掩膜板组件上沉积的蒸镀材料的膜厚，从而可以有效防止沉积在掩膜板组件上的蒸镀材料从掩膜板组件上剥落而对工艺腔室造成污染。
掩膜板蒸镀材料测试片沉积膜厚通孔第二表面第一表面工艺腔室组件包括沉积件检测膜可拆卸蒸发源检测剥落蒸镀避开污染

[发明专利]一种有机发光显示器及其制作方法-CN201310410926.3有效
发明人：刘巍;朱修剑;邱勇 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2013-09-11 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：其制作方法包括采用蒸镀掩膜板进行蒸镀的步骤，在所述采用蒸镀掩膜板进行蒸镀的步骤中，所采用的蒸镀掩膜板上开口的角部经过切角或切圆处理。本发明通过将构成显示器的像素进行错位排列，并且像素的子像素进行切角或切圆处理，从而提高了蒸镀掩膜板的开口率，并增加了蒸镀掩膜板的开口间距，从而有效提高了OLED产品的解析度，并可以应对大尺寸蒸镀及提升掩膜板重复利用率
一种有机发光显示器及其制作方法

[实用新型]掩膜板-CN201921759856.1有效
发明人：李晓凯;陈凯凯 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2019-10-18 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种掩膜板，该掩膜板用于对至少一显示面板进行蒸镀，所述掩膜板包括一平面状的掩膜板本体，所述掩膜板本体被分区图案化至少形成：至少一蒸镀区，所述蒸镀区设有供蒸镀材料通过的通孔，所述蒸镀区与所述显示面板的有效显示区相匹配；以及至少一遮盖区，所述遮盖区的至少一侧设有阻挡蒸镀材料通过的第一盲孔，所述遮盖区与摄像头组件所在的区域相匹配；本实用新型解决了原有掩膜板存在的张网过程中内部受力不均匀的问题，通过减轻掩膜板遮盖区的强度，使得张网受力均匀，避免了蒸镀混色问题的发生。
掩膜板

[发明专利]蒸镀掩膜板、OLED基板及测量蒸镀像素偏位的方法-CN201710015069.5有效
发明人：王徐亮;李伟丽;甘帅燕 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-01-09 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种蒸镀掩膜板、OLED基板及测量蒸镀像素偏位的方法，通过在OLED基板上设置标记；蒸镀掩膜板的掩膜片上设置有第一开口，所述第一开口用于蒸镀单色像素，蒸镀掩膜板的支撑掩膜上设置有第二开口，所述第二开口在所述掩膜片上的投影覆盖所述第一开口，所述第二开口在所述OLED基板上的投影覆盖所述OLED基板上的标记，由此通过所述蒸镀掩膜板执行蒸镀工艺时，蒸镀的单色像素将同时形成于所述标记上，由此通过测量蒸镀的单色像素与所述标记之间的偏移即可得到蒸镀像素的偏移情况通过该方法获取蒸镀像素的偏移情况无需特别制作母玻璃板，从而降低了成本；此外，能够实际监控蒸镀过程中每块OLED基板对应像素的偏移情况，准确反应实时蒸镀效果。
蒸镀掩膜板 oled 测量像素方法

[发明专利]掩膜板、基板、蒸镀装置及蒸镀方法-CN202211309089.0在审
发明人：李露露;孙琳;王盼盼;朱修剑 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种掩膜板、基板、蒸镀装置及蒸镀方法。掩膜板用于在基板上蒸镀膜层，基板包括基板本体和设置在基板本体一侧的第一支撑柱；掩膜板包括掩膜板本体，掩膜板本体上设置有蒸镀孔，掩膜板本体具有朝向基板本体的第一侧，掩膜板本体的第一侧设置有凹槽，凹槽用于在蒸镀时与第一支撑柱相抵本申请中的掩膜板，掩膜板本体的第一侧设置有凹槽，在进行蒸镀的过程中，基板本体上的第一支撑柱与凹槽相抵，使得基板本体与掩膜板之间的距离有所减小，在基板本体与掩膜板之间的距离减小的情况下，可以使蒸镀形成的膜层的膜厚均匀区域的面积变大，使制作出的发光层的发光亮度和发光均匀性均得到提升，进而改善蒸镀所形成的发光层的发光性能。
掩膜板基板装置方法