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[发明专利]有机电致发光面板及其制造方法、以及其制造装置-CN200410095218.6无效
发明人：四谷真一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-11-22 - 公布日： 2005-06-01 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：提供一种可以形成高精细的电致发光层或容易拆装蒸镀掩膜和被蒸镀基板的有机EL面板制造方法、用于实施该制造方法的简单构成的有机EL面板的制造装置以及由该制造装置制造的有机EL面板。在通过使用蒸镀掩膜(3)的蒸镀形成由多层构成的电致发光层的一部分或全部的有机电致发光面板的制造方法中，在蒸镀时，将蒸镀掩膜(3)配置在被蒸镀基板(玻璃基板4)的所定的位置上，用力按压被蒸镀基板，将蒸镀掩膜(3)与被蒸镀基板密接。
有机电致发光面板及其制造方法装置

[发明专利]掩膜组件及其制作方法-CN201911303590.4有效
发明人：李吉东;徐鹏;赵建成 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，提出一种掩膜组件及其制作方法。该掩膜组件包括框架、支撑部、平坦层和掩膜板；支撑部固定于框架内，支撑部上设置有多个第一蒸镀开口；平坦层设于支撑部之上，平坦层的背离支撑部的一面为平面，平坦层上设置有多个与第一蒸镀开口对应的第二蒸镀开口；掩膜板设于平坦层的背离支撑部的一面。掩膜板上的掩膜条不会因为自身重量以及强度不够而产生中部下垂，使掩膜条与基板间不存在缝隙，不会引起相邻子像素之间混色，提高产品良率。平坦层能够修复支撑部表面不平整引起的掩膜板的损坏。
组件及其制作方法

[发明专利]掩膜组件、蒸镀装置及蒸镀方法-CN201911310583.7有效
发明人：姚固;王玉;郭书鹏;童亚超 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开一种掩膜组件、蒸镀装置及蒸镀方法，属于显示技术领域。掩膜组件包括掩膜框架和掩膜版，该掩膜版位于该掩膜框架上，该掩膜框架包括相对的两个框边，该掩膜版的中心能够沿水平方向在该两个框边之间移动；该掩膜版具有多个掩膜孔，该掩膜版的中心处于不同位置时该多个掩膜孔在待掩膜平面上的正投影不重叠本申请的掩膜组件能够在一次蒸镀工艺中蒸镀多个膜层，有助于简化确定不同膜层的厚度分布的过程。
组件装置方法

[发明专利]掩膜版和蒸镀装置-CN202010750105.4在审
发明人：付佳;李金库;李文星;范柳彬;刘玉轩;姜正文 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种掩膜版和蒸镀装置。本申请实施例提供的掩膜版，掩膜版本体，包括图案蒸镀区，所述图案蒸镀区内设置有多个蒸镀开口；抗拉膨胀部，在所述图案蒸镀区周侧分布，在垂直于拉应力方向上所述抗拉膨胀部的形变方向与所述掩膜版本体的形变方向相反，所述抗拉膨胀部与所述掩膜版本体间存在相互作用力。本申请实施例提供的掩膜版通过抗拉膨胀部的设置避免在张网过程中褶皱的形成，提高掩膜版与显示基板贴合时的相对位置精度，避免蒸镀后显示面板点亮时出现局部Mura及明显的条纹，提高显示效果。
掩膜版装置

[发明专利]一种精密金属掩膜版、蒸镀装置和蒸镀制程-CN201810949101.1有效
发明人：杜骁 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种精密金属掩膜版，包括支撑框架以及设置在支撑框架上的金属支撑网和至少一个精密金属掩膜条，精密金属掩膜条位于金属支撑网上方，其中，金属支撑网为一体成型结构，金属支撑网上设置有至少一个开口区域，精密金属掩膜条上设置有图形区域，图形区域位于至少一个开口区域的上方且覆盖至少一个开口区域，蒸镀制程中，蒸镀材料依次通过开口区域和图形区域在待蒸镀基板上形成预设蒸镀图案。本发明的精密金属掩膜版中使用一体成型的金属支撑网，可以支撑精密金属掩膜条并阻挡蒸镀材料从相邻精密金属掩膜条之间的间隔处通过；开口区域的形状决定了预设蒸镀图案的形状，因此，通过设置开口区域可以使得精密金属掩膜版用于异形屏的蒸镀中
一种精密金属掩膜版装置蒸镀制程

[实用新型]一种掩膜版组件及蒸镀装置-CN201920190060.2有效
发明人：卢贝贝;邱少亚;陈凯凯 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2019-02-11 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜版组件及蒸镀装置。该掩膜版组件包括框架、遮蔽片以及掩膜版，遮蔽片设置在框架靠近掩膜版的一侧，遮蔽片包括至少一个遮蔽区、至少一个平衡区以及连接区，遮蔽区以及平衡区分设于连接区相对的两侧，且遮蔽片的重心与连接区的对称中心重合，掩膜版包括多个第一开口区，第一开口区包括有效蒸镀区和无效蒸镀区，遮蔽片的遮蔽区在掩膜版上的垂直投影与无效蒸镀区重合，其中，掩膜版的第一开口区的无效蒸镀区与遮蔽片的遮蔽区一一对应。本实用新型的技术方案可以降低掩膜版制作成本，减小蒸镀过程中混色或缺色风险，提高蒸镀良率。
掩膜版遮蔽片蒸镀遮蔽区开口区连接区本实用新型平衡区重合垂直投影对称中心蒸镀装置组件包括混色减小良率分设重心制作

[发明专利]掩膜板组件及一种蒸镀设备-CN201911308846.0有效
发明人：邓江涛;丁渭渭;徐鹏;赵钰;王玉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板组件，包括金属框架和设置于所述金属框架上的掩膜条，所述掩膜条包括开设有多个蒸镀孔的蒸镀区和位于所述蒸镀区四周的四个边缘区，至少一个所述边缘区上开设有多个通孔。在不减小掩膜条边缘区宽度的前提下，通过在边缘区设置通孔，减小重量，减小掩膜条的下垂量，也减小了框架的翘曲量。
掩膜板组件一种设备

[发明专利]磁力装置-CN201811635504.5在审
发明人：姜亮 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种磁力装置，用于吸附蒸镀基板上的掩膜版，包括：散热板以及设置在所述散热板上方的永磁板；其中，在所述散热板与所述永磁板之间设置有多个电磁板，所述多个电磁板用于在所述磁力装置吸附所述掩膜版时，按照预设规则对所述多个电磁板通电，以使设置在所述蒸镀基板与设置在所述蒸镀基板上的掩膜版均匀贴合。从而可以使掩膜版与基板之间的贴合均匀，进而提高设备稼动率及产品良率。
掩膜版磁力装置蒸镀基板电磁板散热板永磁板贴合吸附产品良率预设规则稼动率基板通电申请

[发明专利]用于OLED显示面板蒸镀的掩膜板-CN201810402092.4有效
发明人：高昊 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于OLED显示面板蒸镀的掩膜板，掩膜板包括：主板体、挡板以及支撑板，所述主板体具有安装孔；所述挡板至少部分设于所述安装孔内，所述挡板与所述主板体共同限定出位于两者之间的开口部；所述支撑板分别与所述主板体以及所述挡板连接以覆盖所述开口部，所述支撑板具有多个可供蒸镀物质穿过的通过孔，所述开口部的蒸镀投影区至少部分位于所述开口部的正投影外。根据本发明实施例的用于OLED显示面板蒸镀的掩膜板，通过增大掩膜板的开口部的投影，以达到全蒸镀效果，同时设置在开口部的支撑板能够起到支撑作用，挡板能够对基板特定区域进行掩盖，避免蒸镀材料在基板上的沉积，
用于 oled 显示面板掩膜板

[发明专利]蒸镀用掩膜板、制备方法、OLED显示基板及显示装置-CN201910106060.4在审
发明人：冯鸣筠 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2019-02-01 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明属于显示技术领域，具体涉及一种蒸镀用掩膜板、制备方法、OLED显示基板及显示装置。该蒸镀用掩膜板包括掩膜板本体及设置于掩膜板本体上的绝缘膜层，掩膜板本体上开设若干第一开口，绝缘膜层包括若干预设开口，预设开口在掩膜板本体上的正投影落入第一开口内，掩膜板本体与绝缘膜层可分离设置，本发明中掩膜板本体与绝缘膜层可分离设置，在张网工序中，本发明中的蒸镀用掩膜板可先对掩膜板本体进行张网，再将绝缘膜层粘附于掩膜板本体上，从而避免因掩膜板本体与绝缘膜层两者泊松系数的不同所导致的拉伸量不同，最终避免了第一开口与预设开口之间的错位现象
掩膜板绝缘膜层开口蒸镀基板及显示装置可分离设置预设张网制备错位现象拉伸量正投影粘附干预

[发明专利]一种蒸镀机台装置-CN201710699880.X有效
发明人：蒋谦;陈永胜 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-08-16 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提出了一种蒸镀机台装置，所述装置包括至少两个基板清洗机单元、常压腔体以及真空腔集合体；其中，所述基板清洗机单元与所述真空腔集合体之间设置常压腔体，所述常压腔体包括常压金属掩膜板补偿测试腔和常压金属掩膜板装载腔有益效果：所述蒸镀机台在正常作业与所述金属掩膜板补偿测试作业之间的转换时，所述蒸镀机台装置能直接在所述常压腔体中进行金属掩膜板补偿测试作业，所述基板无需等待某一腔体的大气环境与真空环境之间的相互转换，大大缩短了金属掩膜板补偿测试作业时间，并延长了蒸镀机台的有效作业(制作产品或制作器件)的时间，提高了蒸镀线的工作效率，同时也节省了机台真空资源。
金属掩膜板蒸镀常压腔体机台测试作业基板清洗机台装置集合体真空腔常压大气环境工作效率有效作业真空环境正常作业测试腔装载腔转换基板制作

[实用新型]一种蒸镀系统-CN202221125201.0有效
发明人：韩振伟;朱凯;赵鑫栋;林君;赵迪;萧智鸿 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀系统，包括相对且间隔设置的掩膜版和蒸镀源，相互连接的吸附机构和移动机构；其中，吸附机构用于产生吸附力，移动机构用于在所述蒸镀源停止蒸发物质时，将吸附机构移动至吸附工位，所述吸附工位与掩膜版相对且间隔设置，吸附机构产生的吸附力将掩膜版上的沉积物吸附。该系统能够避免停机拆卸掩膜版，实现在蒸镀系统内对掩膜版的直接清洁，有效提高蒸镀系统工作效率，同时提高蒸镀产品的良率。
一种系统

[发明专利]掩膜板光罩、掩膜板光罩制作方法及掩膜板制作方法-CN201610353518.2在审
发明人：唐军 -专利权人：唐军
申请日： 2016-05-25 - 公布日： 2016-07-20 - 主分类号： G03F1/80 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板光罩、掩膜板光罩制作方法及掩膜板制作方法，其中，掩膜板光罩适于采用光蚀刻法在一金属基板上蚀刻形成蒸镀孔，包括透明基板金属膜片，透明基板具有第一平面及与所述第一平面相背的第二平面；金属膜片平铺于所述第一平面，且所述金属膜片上形成有多个镂空孔，所述镂空孔的尺寸与所述蒸镀孔的预定尺寸相等。根据本发明提供的掩膜板光罩，确保蚀刻形成的蒸镀孔尺寸和形状的精度更高，同时，操作简单，工艺过程更加简单，效率更高，形成的掩膜板产品的良率更高。
掩膜板光罩制作方法掩膜板

[发明专利]一种掩膜版-CN202110684536.X有效
发明人：昝昱廷;何信儒;谢毅;李振华 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种掩膜版。该掩膜版包括板体，板体上设置有凸起部，凸起部为导电材质，凸起部用于与蒸镀材料接触，且凸起部贯穿蒸镀材料；综上所述，本申请采用凸起部贯穿蒸镀材料的设置形式，使得掩膜版在蒸镀过程中通过凸起部为蒸镀材料上的电荷提供导出的路径，进而增加掩膜版的静电导出能力，从而减小与掩膜版接触的玻璃基板上的静电量，可以有效的防止因玻璃基板表面静电过大导致玻璃基板破碎或使得玻璃基板电路击穿造成短路等情况，与此同时，还可以有效避免静电逐渐增加导致由玻璃基板形成的显示面板上出现暗点
一种掩膜版

[发明专利]蒸镀掩膜、有机半导体元件的制造方法以及有机EL显示屏的制造方法-CN201780037694.8有效
发明人：川崎博司;曾根康子;穗刈久实子 -专利权人：大日本印刷株式会社
申请日： 2017-06-27 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种蒸镀掩膜，通过具有与所要蒸镀制作的图案对应的多个树脂掩膜开口部的树脂掩膜和具有金属掩膜开口部的金属掩膜以所述树脂掩膜开口部和所述金属掩膜开口部重合的方式层叠而成，在该蒸镀掩膜中，使俯视所述金属掩膜时的所述金属掩膜开口部的形状成为以多边形为基本形状
蒸镀掩膜有机半导体元件制造方法以及有机 el 显示屏