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- [发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法-CN201680083566.2有效
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西田光志;矢野耕三;岸本克彥;崎尾进
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鸿海精密工业股份有限公司
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2016-07-22
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2021-02-09
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C23C14/04
- 提供蒸镀方法及及其蒸镀装置,在蒸镀蒸镀材料时,蒸镀掩膜与被蒸镀基板之间不会由于形成间隙而蒸镀的膜的图案不均匀,可以以正确的图案蒸镀。特征在于,蒸镀掩膜(1)在周缘部由框架(12)支撑往水平方向配置,其蒸镀掩膜(1)的上面侧重叠配置形成蒸镀膜的被蒸镀基板(2),蒸镀掩膜(1)的下方配置蒸镀源(5),从蒸镀源(5)蒸发蒸镀材料(51),由此在被蒸镀基板(2)形成蒸镀膜。蒸镀掩膜(1)的弯曲中心部的铅直方向上,从被蒸镀基板(2)的上面位置开始,以成为相当于根据蒸镀掩膜(1)的弯曲延伸后的蒸镀掩膜(1)的长度(沿着蒸镀掩膜的一边的剖面中的长度)之长度的方式,一边压入被蒸镀基板(2),一边进行蒸镀。
- 装置方法有机el显示装置制造
- [发明专利]一种掩膜板、蒸镀方法以及蒸镀设备-CN202310816957.2在审
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杨一新;卞曙光
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季华实验室
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2023-07-04
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2023-09-05
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C23C14/24
- 本公开涉及一种掩膜板、蒸镀方法以及蒸镀设备，掩膜板包括掩膜框架以及设置在掩膜框架上依次排列的多列掩膜片；通过掩膜板多列掩膜片的蒸镀图案，在基板上第一次蒸镀形成多列第一蒸镀图形；掩膜板与基板相对旋转180°后，通过掩膜板多列掩膜片的蒸镀图案，在各相邻列第一蒸镀图形之间，以及最后一列第一蒸镀图形远离其他列第一蒸镀图形一侧第二次蒸镀形成第二蒸镀图形；其中，相邻列掩膜片的蒸镀图案之间具有第一距离；第一距离大于等于蒸镀图案沿掩膜片排列方向的长度；第一距离小于掩膜片沿掩膜片排列方向的长度。本公开使基板上相邻蒸镀图案之间的距离减小，基板上蒸镀图案数量增加，进而提高了基板的利用率，还降低了掩膜板的制作成本。
- 一种掩膜板方法以及设备
- [实用新型]蒸镀掩膜版-CN202223466638.3有效
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殷璐;赵文炎
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云谷（固安）科技有限公司
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2022-12-23
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2023-05-23
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C23C14/04
- 本申请实施例提供一种蒸镀掩膜版，用于对阵列基板执行蒸镀作业，阵列基板包括支撑结构，支撑结构用于在蒸镀掩膜版和阵列基板对位设置时支撑蒸镀掩膜版；蒸镀掩膜版包括掩膜版本体，掩膜版本体上设置有与阵列基板上的支撑结构对应的容置孔通过设置与支撑结构位置对应的容置孔，使得在蒸镀掩膜版与阵列基板对位时，支撑结构能够部分嵌入容置孔内，避免支撑结构仅有顶部与蒸镀掩膜版接触，可以有效增大所述支撑结构与所述蒸镀掩膜版的接触面积，降低所述支撑结构与所述蒸镀掩膜版接触位置处的压强，从而减少所述蒸镀掩膜版磨损的风险。
- 蒸镀掩膜版
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