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[发明专利]掩膜版及掩膜版的精度检测方法-CN202110181795.0在审
发明人：张浩瀚;李慧;姚远 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜版及掩膜版的精度检测方法，掩膜版包括：通用掩膜版，包括具有通用蒸镀开口的框式主体，框式主体具有沿各通用蒸镀开口周向延伸的内边缘区域，内边缘区域具有异形区段；异形段定位组件，包括沿异形区段分布的多个点状定位件，各点状定位件到相邻的通用蒸镀开口边缘的最小距离相等。各点状定位件到相邻的通用蒸镀开口边缘的最小距离相等，各点状定位件的位置间接表征通用蒸镀开口的异形边缘的位置，因而可以通过检测确定各点状定位件的位置来确定通用蒸镀开口的异形边缘的位置精度，提高了通用蒸镀开口的检测效率以及检测精度，并可以统一掩膜版供应商和使用方的检测方式，有效管控通用蒸镀开口的制作精度。
掩膜版精度检测方法

[发明专利]金属掩膜板-CN202010534133.2在审
发明人：王广成;樊春雷;郑庆靓;刘通 -专利权人：上海和辉光电股份有限公司
申请日： 2020-06-12 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供一种金属掩膜板，包括：掩膜板本体及形成于掩模板本体上的多个蒸镀孔；掩膜板本体具有相对设置的玻璃面和蒸镀面，每个蒸镀孔均包括第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽与第二凹槽均沿着掩膜板本体的厚度方向设置且相互连通，第一凹槽的其中一端与玻璃面齐平，第一凹槽的另一端与第二凹槽的其中一端相连，第二凹槽的另一端与蒸镀面齐平；其中，第一凹槽的侧壁与所述玻璃面的夹角在90°以下。在本申请提供的金属掩膜板中，通过调整蒸镀孔在玻璃面的开孔形状，避免蒸镀口的内壁遮挡有机材料，进而扩大蒸镀的有效膜宽，同时避免像素的边缘出现阴影区域，使得像素内有效发光区的蒸镀位置的公差范围更大，进而提高蒸镀的良率
金属掩膜板

[发明专利]蒸镀方法及显示装置的制造方法-CN03104971.0有效
发明人：西川龙司 -专利权人：三洋电机株式会社
申请日： 2003-02-28 - 公布日： 2003-10-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀方法及显示装置的制造方法，其目的为在蒸镀工序中，控制因掩膜所造成的基板表面损伤。该蒸镀方法系通过在磁铁(120)与由磁性材料构成的掩膜(1)之间插入玻璃基板(130)，使玻璃基板(130)与掩膜(1)相密接，并从蒸镀源(140)通过掩膜(1)的开口部(2)在基板(130)的表面进行有机EL元件材料的蒸镀，借此进行有机EL元件的图案形成处理。而在与掩膜(1)的玻璃基板(300)表面相对一侧的表面上进行表面粗糙化处理。
方法显示装置制造

[发明专利]掩膜板及采用该掩膜板进行蒸镀的方法-CN202010344381.0在审
发明人：黎倩;曾佳 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板及采用该掩膜板进行蒸镀的方法。该掩膜板包括：掩膜板本体，包括多个间隔分布的通孔，包括主孔和与主孔连通的延伸孔，主孔用于使蒸镀材料透过制成像素图形，延伸孔用于使蒸镀材料透过制成像素图形的连接图形；沿预设方向排列的相邻两个通孔，与待蒸镀基板需要制成的沿预设方向排列的相间隔的两个像素图形一一对应；掩膜板本体上，沿预设方向排列的相邻两个通孔之间的最小间隔距离，大于或等于像素图形在预设方向上的尺寸，小于或等于通孔在所述预设方向上的最大尺寸。采用该一个掩膜板可以制作待蒸镀基板上的像素图形和像素图形的连接图形，能够解决现有技术掩膜板进行图形化的材料蒸镀，存在工艺复杂和蒸镀机时浪费的问题。
掩膜板采用进行方法

[发明专利]蒸镀用的复合掩模板-CN201711091790.9有效
发明人：范硕 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-11-08 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀用的复合掩模板，包括底座、栅格结构和掩膜板，栅格结构为多条相互垂直的第一筋条和第二筋条，底座中部开设有蒸镀孔，其顶面开设有连通蒸镀孔的安装槽，栅格结构悬于蒸镀孔内且四周搭接于安装槽内，栅格结构上表面与底座顶面平齐；掩膜板包括多个间隔的镂空图案区域和与镂空图案区域相邻的空白区域，掩膜板搭接在底座上，第一筋条和第二筋条在掩膜板上的投影位于空白区域内。由于网状的栅格结构悬于蒸镀孔内且四周搭接并固定于安装槽内，栅格结构的上表面与底座顶面平齐，掩膜板搭接在底座上，且栅格结构在掩膜板上的投影并不遮挡镂空蒸镀通道，既保证了蒸镀的顺利进行，又保证了掩模板的平整度，也方便掩膜板的清洗。
蒸镀用复合模板

[发明专利]金属掩膜板-CN202010381752.2在审
发明人：樊春雷;王广成;郑庆靓;段雪波;屈晓娟;刘通 -专利权人：上海和辉光电股份有限公司
申请日： 2020-05-08 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供一种金属掩膜板，包括：至少一个子掩膜板，子掩膜板设置有多个蒸镀区，每个蒸镀区中均设置有多个蒸镀孔，每个蒸镀孔均包括一凹槽和一弧形槽，凹槽与弧形槽相互连通，任意相邻的蒸镀孔之间均设置有遮挡结构，在本申请提供的金属掩膜板中，通过在相邻的蒸镀孔之间设置遮挡结构以控制蒸镀区的厚度，使得蒸镀角得以缩小，由此提高了蒸镀膜层的有效膜宽，进一步的，通过增大蒸镀区外围的辅助区的宽度，能够避免应力集中在蒸镀区的边缘，进而避免蒸镀异常问题。
金属掩膜板

[实用新型]金属掩膜板-CN202020751169.1有效
发明人：樊春雷;王广成;郑庆靓;段雪波;屈晓娟;刘通 -专利权人：上海和辉光电股份有限公司
申请日： 2020-05-08 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供一种金属掩膜板，包括：至少一个子掩膜板，子掩膜板设置有多个蒸镀区，每个蒸镀区中均设置有多个蒸镀孔，每个蒸镀孔均包括一凹槽和一弧形槽，凹槽与弧形槽相互连通，任意相邻的蒸镀孔之间均设置有遮挡结构，在本申请提供的金属掩膜板中，通过在相邻的蒸镀孔之间设置遮挡结构以控制蒸镀区的厚度，使得蒸镀角得以缩小，由此提高了蒸镀膜层的有效膜宽，进一步的，通过增大蒸镀区外围的辅助区的宽度，能够避免应力集中在蒸镀区的边缘，进而避免蒸镀异常问题。
金属掩膜板

[发明专利]掩膜板的制作方法-CN201410815512.3有效
发明人：刘亚伟;吴聪原 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2014-12-23 - 公布日： 2015-05-06 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板的制作方法，先采用电铸工艺或物理气相沉积工艺制作出初始掩膜板(3’)，该初始掩膜板(3’)具有多个呈阵列式排布的、开口尺寸等于蒸镀所需的设计开孔尺寸(W)的直孔通孔(31)；再采用化学刻蚀工艺，对初始掩膜板(3’)的下表面及直孔通孔(31)的内壁进行刻蚀，形成具有斜锥角(Φ)的曲线形凹槽(33)，该曲线形凹槽(33)的开口尺寸自下而上逐渐减小至蒸镀所需的设计开孔尺寸(W)，从而制作出掩膜板(3)，一方面能够提高蒸镀开孔的尺寸精度，一方面使蒸镀开孔具有设计需要的斜锥角，减少对蒸镀材料的遮挡，提高蒸镀效率，使掩膜板更符合制程要求。
掩膜板制作方法

[发明专利]蒸镀掩膜、有机半导体元件的制造方法以及有机EL显示屏的制造方法-CN201780037694.8有效
发明人：川崎博司;曾根康子;穗刈久实子 -专利权人：大日本印刷株式会社
申请日： 2017-06-27 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种蒸镀掩膜，通过具有与所要蒸镀制作的图案对应的多个树脂掩膜开口部的树脂掩膜和具有金属掩膜开口部的金属掩膜以所述树脂掩膜开口部和所述金属掩膜开口部重合的方式层叠而成，在该蒸镀掩膜中，使俯视所述金属掩膜时的所述金属掩膜开口部的形状成为以多边形为基本形状
蒸镀掩膜有机半导体元件制造方法以及有机 el 显示屏

[发明专利]柔性掩膜版和蒸镀装置-CN202011059807.4在审
发明人：谢铭;李明胜;郑红 -专利权人：广州国显科技有限公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种柔性掩膜版和蒸镀装置，其中，所述柔性掩膜版可卷曲。通过上述方式，可以为动态蒸镀提供技术支持，且可以提高蒸镀效率。
柔性掩膜版装置

[发明专利]掩膜组件及其制造方法-CN201711102683.1有效
发明人：郭登俊;王永茂;张文畅 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-11-10 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜组件及其制造方法，属于显示技术领域。掩膜组件包括：框架，以及层叠设置在框架上的第一掩膜板和第二掩膜板；第二掩膜板上具有至少一个蒸镀区域，每个蒸镀区域具有形状相同的多个蒸镀孔；第一掩膜板包括交叉排布的多个条状掩膜板，交叉排布的多个条状掩膜板围成至少一个开口区域，至少一个开口区域与至少一个蒸镀区域一一对应，至少一个开口区域包括至少一个异形开口区域，每个异形开口区域在第二掩膜板上的正投影位于对应的蒸镀区域内。本发明解决了相关技术中采用掩膜组件制造出的显示面板的显示可靠性较低的问题。本发明用于掩膜组件的制造。
组件及其制造方法

[发明专利]一种掩膜板及其制备方法-CN201810416093.4有效
发明人：王灿;张粲;杨明;岳晗;丛宁;玄明花;陈小川 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-05-03 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀技术领域，公开一种掩膜板及其制备方法，其中，掩膜板包括掩膜本体和形成在所述掩膜本体上的涂层；其中：所述涂层对有机材料的吸附性比所述掩膜本体对有机材料的吸附性差。上述掩膜板，由于其掩膜本体表面具有涂层，且该涂层对有机材料的吸附性比较差，进而，在利用该掩膜板进行蒸镀时，蒸镀材料不易吸附于该掩膜板上，因此，该掩膜板的开口不易发生堵塞，从而该掩膜板的使用寿命较长；并且，该掩膜板可以具有较高的精度和较小的图案开口，尤其适合制备高PPI的OLED产品，可以提高产品的蒸镀良率。
一种掩膜板及其制备方法

[发明专利]蒸镀装置以及蒸镀基板分离方法-CN202111049322.1在审
发明人：谢仕昭;陈亚文 -专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀装置，包括：蒸镀冷却板；第一支撑机构，所述第一支撑机构设置于所述蒸镀冷却板的下方，并用于支撑基板且带动所述基板朝向或远离所述蒸镀冷却板移动；第二支撑机构，所述第二支撑机构设置于所述第一支撑机构的下方，并用于支撑掩膜版且带动所述掩膜版朝向或远离所述蒸镀冷却板移动；吸附机构，所述吸附机构设置于所述蒸镀冷却板的上方，并用于吸附所述掩膜版以使所述蒸镀冷却板、所述基板以及所述掩膜版依次贴合；以及静电消除机构本发明可以解决蒸镀完成后分离基板时，基板被粘住的问题。
装置以及蒸镀基板分离方法

[发明专利]一种蒸镀遮罩结构和蒸镀遮罩结构免清洗的工艺方法-CN202010704199.1在审
发明人：温质康;林佳龙;乔小平 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀遮罩结构和蒸镀遮罩结构免清洗的工艺方法，包括金属掩膜板，金属掩膜板的非镂空区域的一侧面上依次层叠设有可剥离的有机物层和蒸镀薄膜层，有机物层分别与金属掩膜板和有机薄膜层接触，外设的玻璃基板位于蒸镀薄膜层的上方，外设的蒸发源位于金属掩膜板的下方，通过在金属掩膜板的非镂空区域的一侧面上依次层叠设置可剥离的有机物层和蒸镀薄膜层，这样使得能够使用激光剥离装置对金属掩膜板上的有机物层进行剥离，得到一个全新干净的金属掩膜板，再通过涂布机重新涂布有机物层，进行重复利用，免去清洗的步骤，提高了工业效率，为企业节省开支。
一种蒸镀遮罩结构清洗工艺方法

[发明专利]一种掩膜组件、蒸镀方法和蒸镀设备-CN202211397946.7在审
发明人：杨一新 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开涉及一种掩膜组件、蒸镀方法和蒸镀设备，其中，掩膜组件包括：多行掩膜片以及x个掩膜框架；多行掩膜片对应蒸镀图案；多行掩膜片划分为x组；满足第i+nx行的掩膜片，按照行序号依次排布设置在第i掩膜框架上，形成第i掩膜板；同一掩膜框架上的相邻行掩膜片之间设置有第一遮挡部；同一掩膜框架上的相邻行掩膜片的边缘之间的距离小于该相邻行掩膜片行序号之间的其它行掩膜片的宽度之和；其中，i以及x均为正整数，且i小于等于本公开实现了减小相邻掩膜片的有效蒸镀区域之间的间隙，提高了目标基板的利用率。
一种组件方法设备

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