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- [发明专利]掩膜版组件及蒸镀系统-CN202211157387.2在审
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张怡;王佳骏
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昆山国显光电有限公司
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2022-09-22
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2022-11-29
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C23C14/04
- 本申请提供一种掩膜版组件及蒸镀系统，涉及蒸镀设备技术领域，其旨在解决掩膜版与蒸镀后的基板分离过程中容易导致基板损伤，导致其良率下降的技术问题，该掩膜版组件设置在待蒸镀基板的下方，掩膜版组件包括掩膜版及边框；掩膜版包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面与边框贴合，第二表面用于与待蒸镀基板贴合；边框设置有进气口、出气口以及引气通道，掩膜版设置有通孔，通孔一端与出气口连通，通孔的另一端贯通至第二表面。本申请提供的掩膜版组件及蒸镀系统，能够降低基板与掩膜版分离过程中造成基板损伤的现象发生。
- 掩膜版组件系统
- [实用新型]一种蒸镀用掩膜板组件-CN201720686923.6有效
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张峰杰
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京东方科技集团股份有限公司
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2017-06-13
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2018-01-09
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C23C14/04
- 本实用新型提供一种蒸镀用掩膜板组件，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有多个蒸镀用开口，其中，所述掩膜板组件还包括遮挡部，所述遮挡部包括与所述掩膜板本体贴附连接的第一状态和与所述掩膜板本体分离的第二状态；其中在所述第一状态下，所述遮挡部能够遮挡住所述掩膜板本体除所述开口之外的其他区域。该蒸镀用掩膜板组件通过设置能够贴附在掩膜板本体、又能够与腌膜板本体分离的遮挡部，使得蒸镀过程中，蒸镀材料中未穿过掩膜板本体上开口的材料能够沉积在遮挡部上，进行清理时，只需要将遮挡部取下即可，方便、省力，从而能够解决现有技术掩膜板本体上沉积蒸镀材料难以清理的问题。
- 一种蒸镀用掩膜板组件
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