专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种小中心距焦平面探测器的铟球阵列制造方法-CN202010623570.1在审
  • 马英杰;朱宪亮;邵秀梅;李雪 - 中国科学院上海技术物理研究所
  • 2020-07-01 - 2020-10-02 - H01L21/48
  • 本发明公开了一种小中心距焦平面探测器的铟球阵列制造方法,方法的步骤为:1)在芯片上涂布光刻胶,并在光刻胶上产生电极孔图形;2)依次镀铬、镍、三层金属;3)去除光刻胶,产生金属电极;4)沉积介质膜层;5)涂布光刻胶,并在光刻胶上产生接触孔图形;6)刻蚀去除孔内介质膜,并去除光刻胶;7)涂布光刻胶,并在光刻胶上产生铟孔图形;8)镀铟金属;9)去除光刻胶,产生铟柱阵列;10)热回流处理,产生铟球阵列。本发明的优点在于克服了传统打底层工艺所制作铟柱成球后形貌一致性差的问题,可制作出具有更大占空比的高均匀性、高饱满度铟球阵列,提升焦平面与读出电路倒焊互连的连通率。
  • 一种中心平面探测器阵列制造方法

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