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- [实用新型]新型真空镀膜设备-CN201020252721.9无效
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秦康生;陈荣发;吴宝伟;陆素梅
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扬州大学
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2010-07-02
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2011-02-16
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C23C14/26
- 包括支撑平台及支撑平台上安装的左、右叶片泵、扩散泵和真空室，真空室设有由钨丝蒸发源、蒸发坩埚、圆环型堆放架、支撑圆筒和电机齿轮驱动机构构成的蒸发镀膜装置，圆环型堆放架通过滚珠设置在支撑圆筒的上端，钨丝蒸发源、蒸发坩埚及电机齿轮驱动机构设置在圆环型堆放架的中间，所述的圆环型堆放架内壁上设有轴向齿与电机齿轮驱动机构的齿轮啮合。将钨丝蒸发源和蒸发坩埚放入真空设备进行蒸发镀膜，钨丝蒸发源可以蒸发铝丝、铜丝、合金丝，蒸发坩埚可以蒸发氟化镁形成氟化镁镀膜层，对钨丝蒸发源蒸发的金属镀膜层进行保护。
- 新型真空镀膜设备
- [发明专利]一种基于卷绕镀膜设备的卷绕镀膜方法-CN202110938710.9有效
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杜雪峰;郝明;李成林
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辽宁分子流科技有限公司
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2021-08-16
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2023-06-23
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C23C14/56
- 本发明公开了一种基于卷绕镀膜设备的卷绕镀膜方法，主要包括：（1）对真空室进行抽真空，当真空度达到设定值时启动蒸发源进行真空镀膜，此时，移动挡板处于镀膜遮挡相位对蒸发镀膜区域与其它区域之间遮挡隔绝；（2）当真空镀膜结束时，先控制一块移动挡板由镀膜遮挡相位移动至蒸发源屏蔽相位对尚有余热的蒸发源进行覆盖，再控制另一块移动挡板由镀膜遮挡相位移动至清洗相位进行清洗；待蒸发源冷却后，处于蒸发源屏蔽相位的移动挡板移动至清洗相位进行清洗；（3）移动挡板完成清洗后移动返回至镀膜遮挡相位；控制系统控制启动蒸发源进行真空镀膜，或者控制将蒸发源拉出真空室进行蒸发物料装填再推回真空室，再启动蒸发源进行真空镀膜。
- 一种基于卷绕镀膜设备方法
- [实用新型]蒸发源结构及蒸镀设备-CN202320708507.7有效
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廖承丰;郭鸿杰;马博
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杭州星河材料科技有限公司
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2023-04-03
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2023-08-04
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C23C14/24
- 本实用新型属于镀膜技术领域，公开了一种蒸发源结构及蒸镀设备。该蒸发源结构包括蒸发源、安装组件、连接管以及换样盒，蒸发源用于承载和加热靶材；安装组件包括安装管和驱动机构，蒸发源活动设置在安装管中；安装管通过连接管与工作腔室连接，安装组件还包括驱动机构，驱动机构能够驱动蒸发源移动，以使蒸发源顶部的靶材通过安装管和连接管进入工作腔室；换样盒设置在安装管和连接管之间，换样盒用于更换靶材。该蒸发源结构在安装管和连接管之间设置有换样盒，操作人员可以在换样盒中对靶材进行更换，之后使用驱动机构驱动更换靶材后的蒸发源进行入工作腔室中，无需费力手动旋拧螺丝或螺栓等连接零件，极大地提高了更换效率。
- 蒸发结构设备
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