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[发明专利]一种膜层厚度检测装置、在线检测系统及方法-CN201811064666.8在审
发明人：王志鹤;车星光;张敏亮;刘云龙;刘晓琴 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种膜层厚度检测装置、在线检测系统及方法，其中，膜层厚度检测装置包括椭偏仪、支撑台、样品定位装置和驱动装置；驱动装置设在支撑台上，驱动装置上还设置了样品台，驱动装置用于驱动样品台相对支撑台移动，样品台用于放置样品。样品定位装置用于根据样品在样品台上的位置和椭偏仪的检测区域确定样品台相对支撑台的移动距离，以使设置在样品台上的样品移动至椭偏仪的检测区域。椭偏仪用于检测样品的膜层厚度。本发明的膜层厚度检测装置结构简单，同时检测数据精确度高。本发明的在线检测系统及方法操作简单，能够实现生产不停滞的在线抽检膜层的厚度，大大提高了生产效率。
一种厚度检测装置在线系统方法

[发明专利]一种气体安全回路控制方法-CN201811033435.0在审
发明人：于长青 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-09-05 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： G01M13/003 文献下载
摘要：本发明涉及气体安全回路技术领域，尤其涉及一种气体安全回路控制方法。该方法至少包括：在气体安全回路上任意两个相邻气动阀之间设置至少一个质量流量计，通过所述质量流量计检测所述气动阀是否发生故障。本发明提供的气体安全回路控制方法，通过在气体安全回路上任意两个相邻气动阀之间设置至少一个质量流量计，并将质量流量计的监测信号作为反馈信息来检测判断气动阀否发生故障，操作简单，控制方便，不仅减少了工作强度，而且降低了成本，提高了回路工作的安全性。
一种气体安全回路控制方法

[发明专利]双面抛光机与抛光方法-CN201810996937.7在审
发明人：王乐军;李琳琳;宋士佳;彭东阳;刘桂勇;姜宏 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种双面抛光机与抛光方法。该双面抛光机包括机架、上抛光盘、下抛光盘、中心齿轮、外齿轮和驱动组件，上抛光盘、下抛光盘、中心齿轮、外齿轮分别独立地设置于机架上，中心齿轮设置于外齿轮的中心位置处，中心齿轮与外齿轮之间具有容纳空间，用于啮合放置晶片的游星轮，容纳空间位于上抛光盘与下抛光盘之间，驱动组件包括：第一驱动装置，设置于机架上并与上抛光盘连接，用于驱动上抛光盘转动；第二驱动装置，设置于机架上并与下抛光盘连接，用于驱动下抛光盘与上抛光盘同向转动；第三驱动装置，设置于机架上并与中心齿轮连接，用于驱动中心齿轮转动；第四驱动装置，设置于机架上并与外齿轮连接，用于驱动外齿轮转动。
双面抛光机抛光方法

[发明专利]游星轮与抛光方法-CN201810997467.6在审
发明人：王乐军;宋士佳;李琳琳;彭东阳;刘桂勇;姜宏 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： B24B37/08 文献下载
摘要：本申请提供了一种游星轮与抛光方法。该游星轮不具有通孔且不具有凹槽，游星轮侧面具有多个周向排列的齿轮。的游星轮不具有放置晶片或者固定基板的凹槽或者通孔，将其应用在双面抛光机中，对只需要单面抛光的晶片进行抛光时，晶片的需要抛光的表面裸露，不需要抛光的表面设置在游星轮的表面上，被游星轮保护，这样既能使得需要抛光的表面可以利用双面抛光机的一个抛光盘进行抛光，进一步保证了该表面抛光后的粗糙度以及TTV均能满足要求，同时也能保证不需要抛光的表面没有被损坏。
游星抛光方法

[发明专利]尾气处理设备的清理回收装置-CN201811005013.2在审
发明人：庞云玲 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种尾气处理设备的清理回收装置，包括：清理组件，清理组件的至少一部分活动设置在尾气处理设备的外套筒与尾气处理设备的内套筒形成的过流通道内，清理组件具有多个刀刃，朝向内套筒的刀刃与内套筒的外壁间隙配合且具有相对运动，朝向外套筒的刀刃与外套筒的内壁间隙配合且具有相对运动，以清理凝结在内套筒的外壁和外套筒的内壁上的固体；回收组件，回收组件设置在外套筒的底部并与过流通道连通，清理组件清理下来的固体经回收组件回收。本发明解决了现有技术中的尾气处理设备的清理效率低的问题。
尾气处理设备清理回收装置

[发明专利]石墨纸、石墨纸的制作方法、太阳能电池与其制作方法-CN201810846455.3在审
发明人：罗轶 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本申请提供了一种石墨纸、石墨纸的制作方法、太阳能电池与其制作方法。该石墨纸的导热系数大于或等于1500W/mK。该石墨纸的热稳定性更好，将其应用在太阳能电池等器件中，可以提升这些器件的稳定性。
石墨制作方法太阳能电池与其

[发明专利]柔性钙钛矿量子点薄膜-砷化镓异质结电池及其制备方法-CN201810892054.1在审
发明人：乔秀梅 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： H01L51/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性钙钛矿量子点薄膜‑砷化镓异质结电池及其制备方法，其中该电池包括基底，基底上依次设置有背电极层、背场层、P型砷化镓薄膜层、钙钛矿量子点薄膜层、N型透明导电窗口层和前电极层。本发明提供的柔性钙钛矿量子点薄膜‑砷化镓异质结电池及其制备方法，通过形成钙钛矿量子点薄膜‑砷化镓异质结，减少了稀缺材料砷化镓的用量，降低了成本，同时也提高了电池效率。
柔性钙钛矿量子薄膜砷化镓异质结电池及其制备方法

[实用新型]一种拉伸装置及薄膜的拉伸系统-CN201821498879.7有效
发明人：唐海峰;邹金成;申兵兵;魏民 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-09-13 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： B29C63/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种拉伸装置及薄膜的拉伸系统，包括固定组件和移动组件，固定组件包括相对设置的第一固定板和第二固定板，以及分别对应第一固定板和第二固定板设置的第一压板和第二压板，以将薄膜的两端分别压紧于第一固定板和第二固定板上；第一压板和第二压板在与薄膜接触的位置上均设有弹性缓冲件；移动组件与第一固定板和/或第二固定板连接，以驱动第一固定板和/或第二固定板沿薄膜拉伸的方向移动。本实用新型通过在第一压板和第二压板上增加弹性缓冲件，可适应所要拉伸的薄膜的厚度，增加装置适用的产品厚度范围及通用性，弹性缓冲件也可在保证压紧牢固的效果下，不损害薄膜表面，使压紧力能够更加均匀分布。
固定板压板薄膜弹性缓冲件本实用新型固定组件拉伸系统拉伸装置移动组件压紧太阳能电池技术固定板连接薄膜表面薄膜接触薄膜拉伸方向移动固定板沿相对设置增加装置压紧力拉伸驱动损害保证

[实用新型]一种晶片装载系统-CN201821046883.X有效
发明人：刘云波 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能薄膜加工技术领域，尤其涉及一种晶片装载系统，进栏具输送装置用于将装有料盘的栏具由进栏具工位输送至料盘栏具分离工位上，第一搬运装置用于将空栏具由料盘栏具分离工位移至空栏具工位，第二搬运装置用于将栏具中装有晶片的料盘由料盘栏具分离工位移至料盘工位，再将空料盘由料盘工位移至空料盘工位，并将空料盘由空料盘工位移至空栏具工位上的空栏具中，第三搬运装置用于将料盘中的晶片由料盘工位移至装载花篮工位的花篮内，出栏具输送装置用于将装有空料盘的栏具由空栏具工位输送至出栏具工位并移出。提高了设备的可靠性和稳定性，实现从栏具进入到流出的全自动化，传输效率和精度高。
料盘工位空栏空料盘搬运装置输送装置装载系统晶片种晶花篮加工技术领域本实用新型太阳能薄膜传输效率分离工位全自动化移出流出装载

[实用新型]一种叠层并联太阳能电池及其GaAs/GaInP叠层并联太阳能电池-CN201820830456.4有效
发明人：乔秀梅;刘琦;童翔 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-05-30 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： H01L31/0687 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种叠层并联太阳能电池，其改进之处为，用单层石墨烯将双结或多结III‑V族太阳能子电池进行并联。该双结电池在石墨烯上可以直接外延生长另一个子电池，避免了传统III‑V族叠层电池为避免晶格失配而采取的键合技术，大大简化了制备工艺，还避免了传统晶格匹配的叠层串联的电池因电流不匹配而导致的效率损失，同时有利于提高开路电压。
并联叠层太阳能电池双结电池太阳能子电池本实用新型单层石墨烯叠层电池键合技术晶格匹配晶格失配开路电压外延生长效率损失制备工艺石墨烯子电池多结匹配串联改进

[实用新型]一种全无机无铅钙钛矿太阳能电池-CN201821082570.X有效
发明人：许吉林 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： H01L31/072 文献下载
摘要：本实用新型涉及全无机无铅钙钛矿太阳能电池，自下而上依次包括衬底、透明导电层、电子传输层、钙钛矿光吸收层、空穴传输层和电极，所述钙钛矿光吸收层为采用无铅钛基双钙钛矿型化合物制备的层状结构，所述无铅钛基双钙钛矿型化合物的化学式为A₂TiX_6‑nY_n。本实用新型的钙钛矿光吸收层可替代传统的含铅材料，避免电池失效后铅回收或铅泄露的问题，与无铅钙钛矿材料相匹配的，本实用新型选择无机金属化合物作为空穴传输层，可有效解决电池器件稳定性问题，提高电池器件寿命。而且本实用新型对电池的整体结构进行了调整优化，可有效地提高电池的效率。
钙钛矿无铅本实用新型光吸收层空穴传输层双钙钛矿型太阳能电池电池器件电池钛基无机金属化合物电子传输层钙钛矿材料化合物制备透明导电层稳定性问题层状结构含铅材料有效解决电极传统的铅回收有效地衬底匹配泄露替代优化

[实用新型]太阳能电池-CN201821212172.5有效
发明人：罗轶 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： H01L51/44 文献下载
摘要：本申请提供了一种太阳能电池。该太阳能电池包括依次叠置设置的第一电极层、空穴传输层、吸收层、电子传输层和第二电极层，第一电极层包括石墨纸，第二电极层为透明电极层，石墨纸的导热系数大于或等于1500W/mK。采用石墨纸作为第一电极层，由于石墨纸不仅具有优良的导电性，同时还具有良好的导热性能，其导热系数大于或等于1500W/mK，这样可以提高太阳能电池的稳定性，提高其使用寿命；并且，石墨纸的成本较低，这样可以降低太阳能电池的成本。
太阳能电池石墨纸第一电极导热系数第二电极导电性电子传输层空穴传输层透明电极层导热性能使用寿命吸收层叠置申请

[实用新型]电子气体水汽分离装置-CN201821373510.3有效
发明人：赵青松;宁红锋;南建辉 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： F25J3/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种电子气体水汽分离装置，包括：中空外壳和冷凝组件，冷凝组件位于中空外壳内，中空外壳的中空部分形成冷凝腔，冷凝组件包括：至少一个冷凝块，冷凝块设置在冷凝腔内，冷凝块上设有贯通的、供冷凝剂通过的冷凝通道，且冷凝通道与冷凝腔的供电子气体通过的部分分隔；至少一个冷却翘片，冷却翘片固定在冷凝块上。本实用新型解决了现有技术中的电子气体中的水汽去除不方便的问题。
冷凝电子气体冷凝组件中空外壳冷凝腔水汽分离装置本实用新型冷凝通道冷却翘片气体通过水汽去除冷凝剂中空分隔贯通供电

[实用新型]一种砷烷的制备装置-CN201820977664.7有效
发明人：宁红锋;赵青松 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-06-22 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： B01J19/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种砷烷的制备装置，包括反应釜和水蒸气发生装置，所述反应釜内设有超声装置，所述水蒸气发生装置的水蒸气出口通过管道与所述反应釜相连。本实用新型的装置适用于通过砷化钾或砷化钠与水蒸气反应制备砷烷的反应，通过在反应釜内设置超声装置，可使反应生成的氢氧化钾或氢氧化钠快速从砷化钾上脱离出来，保证砷化钾不会被包夹，避免反应不完全，提高产物得率。通过设置水蒸气发生装置，可为反应提供水蒸气，与采用水反应相比，可提高反应效率，减少水的用量和废水的排放量。
反应釜水蒸气发生装置砷化钾砷烷水蒸气本实用新型超声装置制备装置氢氧化钾或氢氧化钠水蒸气出口反应效率排放量水反应包夹得率砷化制备废水脱离保证

[实用新型]一种柔性氮化物薄膜太阳能电池-CN201820832276.X有效
发明人：马亮 -专利权人： 东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： H01L31/0445 文献下载
摘要：本实用新型涉及光伏电池及其制造技术领域，尤其涉及一种柔性氮化物薄膜太阳能电池。该电池包括自下而上依次设置的支撑衬底、背电极、氮化物外延层和前电极，所述背电极包括第一预应力层。该制作方法通过在衬底晶圆的上表面制备具有第一预应力层的背电极，其中，背电极内设有第一预应力层；然后在背电极的上表面固定支撑衬底；通过机械剥离将所述氮化物外延层与牺牲层之间分离，并在分离后的所述氮化物外延层上依次制备前电极和抗反射层。该电池的吸收系数和能量转换率高、重量轻并可弯曲延展，其背电极能作为预应力强化层，既加固电池结构，又能在制备时提供足够大的剥离应力，且在电池制作完成后无需额外将预应力强化层清除。
背电极氮化物外延层预应力层衬底制备氮化物薄膜太阳能电池电池前电极强化层上表面本实用新型能量转换率剥离应力电池结构固定支撑光伏电池机械剥离抗反射层吸收系数依次设置可弯曲牺牲层重量轻晶圆延展制作支撑制造

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