专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]湿法腐蚀夹具-CN202120769823.6有效
  • 廖洪钢;邓俊先;江友红 - 厦门大学
  • 2021-04-15 - 2021-11-26 - H01L21/67
  • 本实用新型属于微纳加工技术领域,具体涉及一种湿法腐蚀夹具,包括底座、顶盖和密封机构,底座上设有承载部,用于承载待腐蚀的晶圆,顶盖设在底座上方,密封机构用于防止腐蚀液接触朝承载部的晶圆正面,密封机构、顶盖和晶圆背面共同形成用于容纳腐蚀液的腔室,腔室内设有喷头,喷头的出液口位于承载部上方,用于喷出腐蚀液以腐蚀晶圆背面。功能全面,具有对晶圆背面进行全面腐蚀和局部腐蚀的功能。全面腐蚀:装载好待腐蚀的晶圆,向腔室内装入足量腐蚀液,对晶圆背面进行全面腐蚀;局部腐蚀:装载好待腐蚀的晶圆,通过喷头对晶圆背面特定区域喷洒腐蚀液,对晶圆背面局部进行微量腐蚀
  • 湿法腐蚀夹具
  • [实用新型]抗电浆腐蚀薄膜结构-CN202220435547.4有效
  • 吴宗丰;李文亮;林佳德;蔡宇砚;苏修贤;邱国扬;陈柏翰 - 翔名科技股份有限公司
  • 2022-03-02 - 2022-09-27 - C23C16/50
  • 一种抗电浆腐蚀薄膜结构,包括一基材、一第一抗腐蚀层、一第二抗腐蚀层与第三抗腐蚀层。第一抗腐蚀层设置于该基材上,并与该基材接触。第二抗腐蚀层设置于该第一抗腐蚀层上。第三抗腐蚀层设置于该第二抗腐蚀层上。其中,该第一抗腐蚀层与该第三抗腐蚀层是经由气相沉积方法形成。其中,该第二抗腐蚀层是经由电浆喷涂形成。本实用新型的有益效果是利用致密、松散、致密多层次的抗腐蚀层形成抗腐蚀结构,可用较少的时间与成本形成,并保持与习知完全致密抗腐蚀层相当的抗腐蚀特性。
  • 抗电浆腐蚀薄膜结构
  • [发明专利]一种蒸发雾化腐蚀磷化铟晶片的方法-CN202111462322.4在审
  • 毛伟文;郑金龙;吴晓桂;杨江 - 广东先导微电子科技有限公司
  • 2021-12-02 - 2022-03-08 - H01L21/306
  • 本发明提供了一种蒸发雾化腐蚀磷化铟晶片的方法,包括以下步骤:A)将待腐蚀的磷化铟晶片放入转盘中,并在腐蚀槽内加入腐蚀液;所述转盘设置在位于腐蚀槽上方的密闭空间内,所述密闭空间与腐蚀槽之间通过阀门通道相连通;所述腐蚀液包括双氧水、硫酸、磷酸和盐酸;B)在腐蚀槽内通入热氮气使腐蚀液蒸发雾化,并打开阀门通道使雾化腐蚀液通入上方的密闭空间;C)启动转盘使晶片旋转,对转盘上的磷化铟晶片进行腐蚀;D)取出腐蚀后的晶片进行清洗,得到腐蚀后的磷化铟晶片。与现有技术中多采用液相腐蚀的方法相比,本工艺与传统的腐蚀工艺相比较,提高了晶片腐蚀掉量,操作上更加简便、自动化程度更高,腐蚀更加均匀。
  • 一种蒸发雾化腐蚀磷化晶片方法
  • [发明专利]腐蚀法制备高强度锗的方法-CN202310411082.8在审
  • 吴瑶;师晋海;毕宏岩;周铁军;许家龙 - 广东先导微电子科技有限公司
  • 2023-04-18 - 2023-08-01 - C30B33/10
  • 本发明公开了一种腐蚀法制备高强度锗的方法,属于半导体技术领域,所述的腐蚀法制备高强度锗的方法,包括以下步骤:将锗片浸入酸性腐蚀液中进行酸腐蚀,清洗,干燥,再浸入碱性腐蚀液中进行碱腐蚀,干燥,得到高强度锗;所述酸性腐蚀液包括硝酸溶液、氢氟酸溶液、乙酸;所述碱性腐蚀液包括氨水溶液、过氧化氢溶液。本发明通过将锗片先进行酸腐蚀,再进行碱腐蚀,能够有效的提高锗片的强度,其中,酸腐蚀为非择优腐蚀,碱腐蚀为择优腐蚀,采用先酸后碱的腐蚀方法,其中,酸腐蚀能够有效的去除锗片表面杂质和疏松层,碱腐蚀能够有效的去除锗片亚表面损伤
  • 腐蚀法制强度方法
  • [发明专利]一种金属构件腐蚀情况的红外检测方法-CN201910316762.5有效
  • 朱彬;张天寅;贾若愚;王凯;刘勇;张宜生;王梁;唐铭基 - 华中科技大学
  • 2019-04-19 - 2020-07-10 - G01N17/00
  • 本发明属于红外热像无损检测技术领域,并具体公开了一种金属构件腐蚀情况的红外检测方法。该方法包括获得金属构件的红外图像并进行滤波去噪处理,然后设定阈值获得二值化图像;标记腐蚀区域和未腐蚀区域,并绘制腐蚀区域的轮廓;根据腐蚀区域的轮廓提取二值化图像中腐蚀区域的掩模,使用该掩模在红外图像中计算腐蚀区域的温度;将腐蚀区域的温度输入温度腐蚀深度转化模型,获得金属构件的腐蚀深度。本发明提供的金属构件腐蚀情况的红外检测方法,只需对红外图像进行处理,并根据温度腐蚀深度转化模型便可从三个方面具体描述金属构件的腐蚀情况,包括腐蚀位置、腐蚀面积和腐蚀深度,从而实现了对金属构件的腐蚀情况进行定性和定量分析
  • 一种金属构件腐蚀情况红外检测方法
  • [发明专利]一种电容式腐蚀在线监测装置及方法-CN201810190317.4有效
  • 刘武;郭琴;谷雪琴;孙永尧;乔春风 - 西南石油大学
  • 2018-03-08 - 2023-09-26 - G01N27/22
  • 本发明涉及一种电容式腐蚀在线监测装置及方法,属于输气管线及设备腐蚀监测技术领域。设计空心圆柱状腐蚀挂片对,安装2~8组不同规格的腐蚀挂片对,依据不同规格的腐蚀挂片对在腐蚀环境下腐蚀面积随时间的变化,改变腐蚀监测电路中可变电容的电容量,实现输气管线腐蚀状态在线监测。设计一种腐蚀监测方法,不同规格的腐蚀挂片组成1~7组可变电容,通过腐蚀监测电路中输出电压的变化实现输气管线腐蚀类型、腐蚀深度、腐蚀速率在线监测,为管线的安全预警、腐蚀控制等提供可靠依据。本发明在站内地上管线安装换热箱,利用水套炉烟气加热管内气体,以减少高含硫管线的硫沉积对腐蚀监测装置的监测结果所造成的影响。
  • 一种电容腐蚀在线监测装置方法
  • [发明专利]大面积硅片的旋转腐蚀系统和方法-CN200810000172.3无效
  • 邹冰艳;刘国友;姚震洋;王政英;黄建伟 - 株洲南车时代电气股份有限公司
  • 2008-01-02 - 2008-10-01 - C30B33/10
  • 本发明公开了一种大面积硅片的旋转腐蚀系统及方法,包括自转腐蚀夹具、公转机械臂、腐蚀槽、去离子水清洗槽、鼓气泡搅拌装置、冷凝和温控装置;所述腐蚀夹具安装于机械臂上并在转动电机的带动下做匀速自转,腐蚀槽装有化学腐蚀液,鼓气泡搅拌装置位于槽底,冷凝管和温控热电偶装于腐蚀槽的侧壁,去离子水清洗槽位于腐蚀槽的旁边;腐蚀硅片时,机械臂带动自转的夹具浸入腐蚀槽的化学腐蚀液内,同时机械臂做匀速公转,腐蚀结束后,机械臂带动自转的夹具浸入去离子水槽内进行清洗;严格控制腐蚀液的温度,并通过搅拌装置使腐蚀液各处充分混合,因此可以保证腐蚀液浓度、温度都基本均匀,使硅片表面各处腐蚀速率一致,提高硅片腐蚀的均匀性。
  • 大面积硅片旋转腐蚀系统方法
  • [实用新型]一种腐蚀液冲刷机-CN201320409299.7有效
  • 胡天林;张伟红;蒲星;郭志烨;何志斌;赵劲;王敷阳 - 厦门大学
  • 2013-07-10 - 2013-12-04 - H05K3/06
  • 一种腐蚀液冲刷机,涉及PCB板。提供能够取代人工摇晃,使腐蚀液自动冲刷待腐蚀PCB板,并加快腐蚀速度的一种腐蚀液冲刷机。设有腐蚀盆架和腐蚀盆;腐蚀盆架设有底座、限位圈及运动单元;限位圈固于底座上方,运动单元设有电机、连杆和滚轮,电机输出轴与连杆一端连接,连杆另一端连接滚轮,滚轮紧贴底座上表面和腐蚀盆底表面;腐蚀盆放置于腐蚀盆架的限位圈中能够取代人工工作降低成本,提高腐蚀的均匀程度,并加快PCB板的腐蚀速度,提高工作效率,腐蚀箱便于转移和保存,腐蚀盆易于更换,适用于小批量的制作。腐蚀盆可采用普通塑料盆,节约成本,并且可以根据腐蚀盆形状不同更改形状大小,获得更多普适性。
  • 一种腐蚀冲刷
  • [发明专利]一种接地网腐蚀速率等级预测方法-CN201511034045.1有效
  • 崔江霞;杜京义;杨学存;贺虎成 - 西安科技大学
  • 2015-12-25 - 2018-10-30 - G01N17/00
  • 本发明公开了一种接地网腐蚀速率等级预测方法,涉及接地网腐蚀与防护领域,用以解决现有技术中存在接地网腐蚀速率等级预测准确性不高,预测方法不易实现的问题的问题。该方法包括:采样接地网腐蚀测试数据;对所述接地网测试数据中的聚类指标腐蚀程度值进行归一化处理,确定接地网腐蚀子类临界值;根据所述接地网腐蚀子类临界值,确定接地网腐蚀白化权函数;根据所述接地网腐蚀子类临界值,确定接地网腐蚀权重;根据所述接地网腐蚀白化权函数和所述接地网腐蚀权重,确定接地网腐蚀等级聚类;根据所述接地网腐蚀等级聚类,确定接地网腐蚀速率等级。
  • 一种接地腐蚀速率等级预测方法

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