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[发明专利]一种适用于MEMS模态局部化传感器的环状耦合系统-CN202111236440.3在审
发明人：郝永存;祖陆晗;常洪龙 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2021-10-23 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种适用于MEMS模态局部化传感器的环状耦合系统，属于MEMS传感器领域。系统主要结构包括：环状耦合梁203，耦合刚度调节电极205、206。所述环状耦合梁是圆环、正方环、矩环或者其他封闭结构；所述环状耦合梁203通过连接两个谐振梁201、202实现机械耦合。相较于传统的机械耦合梁，本发明可以使耦合梁对侧向刻蚀的敏感程度大幅度降低，在加工精度水平不变的情况下可以进一步提高传感器的稳定性和一致性；同时设计了针对所述环状耦合梁的耦合刚度调节电极，通过调节耦合刚度调节电极的电势产生与环状耦合梁的电势差，从而产生静电力，改变环状耦合梁内部的应力分布，以实现机械耦合刚度的调节。
一种适用于 mems 局部传感器环状耦合系统

[发明专利]含多柔性结合部梁的拉、压、弯扭耦合边界元法-CN02139538.1无效
发明人：黄玉美;高峰;张广鹏;董立新 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2002-11-21 - 公布日： 2003-04-30 - 主分类号： E04B1/18 文献下载
摘要：本发明公开了含有多个柔性结合部(即柔性支承、边界)的梁的耦合边界元法，包括(1)柔性结合部对梁的反载荷耦合处理方法，(2)含有多个柔性结合部梁的拉压弯扭静态耦合边界元模型，(3)梁的静态耦合边界元算法，(4)柔性结合部对梁的阻尼的处理方法，(5)含有多个柔性结合部梁的拉压弯扭动态耦合边界元模型，(6)梁的动态耦合边界元算法。本发明使梁的解析结果更符合它在机器中的实际状态，可以提高解析的准确性。
柔性结合部耦合边界

[发明专利]一种微机械谐振器-CN201310278034.2无效
发明人：董靓;周志健;陈永康;刘政谚;许国辉;邝国华;冯良;杨恒;李昕欣 -专利权人：广东合微集成电路技术有限公司
申请日： 2013-07-03 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机械谐振器，包括谐振部分以及围绕谐振部分一个或一个以上的连接部分，其中，所述连接部分包含：第一级耦合梁，与所述谐振部分连接；附加耦合梁结构，包含至少一个耦合梁，与所述第一耦合梁连接；一个或多个锚点，分别位于最末级耦合梁的端点上。本发明通过附加耦合梁结构降低了锚点的能量损耗，从而有效地提高了微机械谐振器的Q值。
一种微机谐振器

[发明专利]一种差分谐振器及MEMS传感器-CN201910606444.2在审
发明人：占瞻;李杨;刘雨薇;陈秋玉;张睿 -专利权人：瑞声科技（南京）有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种差分谐振器及MEMS传感器，其中，差分谐振器包括基底、第一谐振器、第二谐振器以及耦合机构，第一谐振器通过耦合机构与第二谐振器连接，且第一谐振器和第二谐振器与基底连接并且在外力作用下可相对基底位移，耦合机构包括第一导向梁、第二导向梁、第一耦合梁、第二耦合梁、第一连接件以及第二连接件；其中，第一导向梁和第二导向梁设置于与第一谐振器或第二谐振器的振动方向相垂直的方向的相对两侧；第一耦合梁的一端与第一导向梁连接，另一端与第二导向梁连接，并且第一耦合梁通过第一连接件与第一谐振器连接；第二耦合梁的一端与第一导向梁连接，另一端与第二导向梁连接，并且第二耦合梁通过第二连接件与第二谐振器连接。
谐振器导向梁耦合梁耦合机构第二连接件第一连接件基底连接基底位移外力作用相对两侧振动方向垂直的基底

[发明专利]一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺-CN201310221840.6有效
发明人：于连忠;张忠山;孙晨 -专利权人：中国科学院地质与地球物理研究所
申请日： 2013-06-05 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪，包括：测量体、上盖板及下盖板，所述测量体包括基座、耦合框、与耦合框相连接的质量块以及位于所述质量块中心的固定块；所述基座以及所述固定块与所述上盖板及所述下盖板相固定连接；所述质量块与所述耦合框通过多个弹性梁相连接；所述质量块与所述固定块之间设置有第一梳状耦合结构；所述耦合框的一侧设置有支撑梁；所述耦合框通过所述支撑梁与所述基座相连接；所述耦合框的侧壁的上部及下部分别设置有谐振梁，所述谐振梁一端与所述耦合框相连接，另一端分别与基座相连接；所述谐振梁与所述基座之间还设置有第二梳状耦合结构；所述谐振梁以及所述第二梳状耦合结构用于检测转动角速度。
一种 mems 高精度谐振闭环控制陀螺仪及其制造工艺

[发明专利]一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器-CN202010186923.6有效
发明人：吕明;赵剑;刘蓬勃 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： G01G3/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器,属于微机电系统领域，包括第一固支梁、第二固支梁、上耦合电极Ⅰ、上耦合电极Ⅱ、下耦合电极Ⅰ、下耦合电极Ⅱ、固定电极Ⅰ、固定电极Ⅱ、耦合电压源和驱动电压源；第一固支梁两端分别通过固定端Ⅰ和固定端Ⅱ固定；第二固支梁两端分别通过固定端Ⅲ和固定端Ⅳ固定；上耦合电极Ⅰ和上耦合电极Ⅱ固定在第一固支梁的下表面两端；下耦合电极Ⅰ和下耦合电极Ⅱ固定在第二固支梁的上表面两端；第一固支梁的下表面和第二固支梁的上表面之间施加耦合电压源实现相对应的静电耦合连接；固定电极Ⅰ和固定电极Ⅱ分别与驱动电压源相连接；固定电极Ⅰ和固定电极Ⅱ固定在第二固支梁的下方,该发明结构简单，驱动方式易于调节
一种基于局部效应高阶模态微质量传感器

[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品-CN202310344613.6在审
发明人：杨珊;马昭;占瞻;严世涛;阚枭;李杨;彭宏韬;陈秋玉;黎家健;潘在祥 -专利权人：瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供一种微机械陀螺仪及电子产品，该微机械陀螺仪包括第一传感组件、第二传感组件、驱动件、第一耦合梁和第二耦合梁。驱动件位于第一传感组件和第二传感组件的沿第一方向相对设置的两侧。第一传感组件通过第一耦合梁与驱动件连接。第二传感组件通过第二耦合梁与驱动件连接。第一耦合梁沿第二方向的刚度大于第一耦合梁沿第三方向的刚度，第三方向垂直于第一平面。第二耦合梁沿第二方向的刚度大于第二耦合梁沿第一方向的刚度。本申请的微机械陀螺仪及电子产品的工作精度较高。
一种微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种弱耦合谐振器-CN202011463918.1在审
发明人：赵剑;钟恒;吕明;刘蓬勃;宋嘉濠;孙荣健;郑显泽;唐英海 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种弱耦合谐振器，涉及微机电系统技术领域，包括：由第一固定端和第二固定端固定的固支直梁；吸附在固支直梁上的质量吸附块；由第三固定端和第四固定端固定的固支余弦曲梁；固支余弦曲梁由驱动电压源通过固定电极驱动；第一固定端与直梁耦合电压源相连接；第三固定端与余弦曲梁耦合电压源相连接；固支直梁和固支余弦曲梁之间通过直梁耦合电压源和余弦曲梁耦合电压源产生的静电力进行直流电压耦合；通过调节驱动电压和耦合电压的大小，弱耦合谐振器在微质量传感器与MEMS带通滤波器之间功能切换。
一种耦合谐振器

[发明专利]一种不同阶模态耦合的模态局部化微质量传感器-CN202011463988.7有效
发明人：赵剑;宋嘉濠;吕明;刘蓬勃;钟恒;孙荣健;郑显泽;唐英海 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： G01G3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种不同阶模态耦合的模态局部化微质量传感器，属于微机电系统技术领域，包括：厚度不等的第一固支梁和第二固支梁；第一固定端对称分布于第一固支梁两端，第二固定端对称分布于第二固支梁两端；上耦合电极固定在第一固支梁的下表面，下耦合电极固定在第二固支梁的上表面；上耦合电极与下耦合电极之间由直流电压构成静电耦合；第一固支梁由驱动电源通过驱动电极驱动；当调节第一固支梁和第二固支梁的厚度为预设值，并通过驱动电压对第一固支梁驱动以及耦合电压产生静电耦合时，第一固支梁工作在三阶模态，第二固支梁工作在二阶模态。
一种不同阶模态耦合局部质量传感器

[发明专利]耦合谐振的谐振式应变传感器-CN201510392361.X有效
发明人：杨恒;魏文杉;刘大洋;李昕欣 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明提供一种耦合谐振的谐振式应变传感器，包括两根敏感梁，各敏感梁的两端被固定支撑；检测梁，连接于所述两根敏感梁之间；其中，所述敏感梁工作于对应力敏感的横振动模态，检测梁工作于整体压阻效应显著的纵振动模态，敏感梁与检测梁形成耦合谐振，外加驱动使整个结构以耦合谐振频率振动，敏感梁中的应力会改变敏感梁的共振频率，整个结构的耦合谐振频率随之改变，利用检测梁的压阻效应测量耦合谐振频率就可以测得应力值，并进而计算得到应变本发明的耦合谐振的谐振式应变传感器具有可采用高温工艺真空封装、高Q值、高分辨率、高灵敏度、长期稳定性好等优点，在应力检测领域具有广泛的应用前景。
敏感梁耦合谐振检测梁应变传感器谐振式压阻效应振动模态整个结构长期稳定性测量耦合高分辨率高灵敏度高温工艺共振频率固定支撑频率振动谐振频率应力检测真空封装驱动敏感应用

[发明专利]一种采用多振子耦合的微机械谐振器-CN202211640819.5在审
发明人：郭中洋 -专利权人：安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H03H9/205 文献下载
摘要：本发明公开一种采用多振子耦合的微机械谐振器，包括至少一组振子、每组振子对应四组驱动/检测电极、一组耦合梁、一组支撑梁和一个锚点，振子、驱动/检测电极、耦合梁、支撑梁和锚点相对于谐振器中心对称分布，振子与耦合梁相连，耦合梁与支撑梁相连，支撑梁与锚点相连，振子、耦合梁、支撑梁、锚点共同组成框架结构，驱动/检测电极位于振子上面、振子内部和/或振子外部。本发明采用多个振子，且各振子之间相互耦合，可以利用其中一个或多个振子进行驱动，剩余的振子进行检测，实现驱动电极和检测电极在空间上隔离，降低驱动信号到检测端的耦合；采用驱动振子和检测振子分开，便于使用差分的方式对振子进行驱动或检测
一种采用多振子耦合微机谐振器

[实用新型]微机电系统谐振器-CN202222714245.3有效
发明人：雷永庆;吴振云;李轩 -专利权人：麦斯塔微电子（深圳）有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：微机电系统谐振器包括谐振子和至少两个耦合梁，所述耦合梁绕所述谐振子的中心轴均布设置；所述耦合梁的一端与所述谐振子固定连接，所述耦合梁的另一端用于与锚固体连接；所述谐振子用于在第一驱动模式下绕自身的中心轴扭转并带动所述耦合梁弯曲谐振子绕中心轴的扭转模态与耦合梁的弯曲模态耦合，热弹性阻尼较小，提升了微机电系统谐振器的品质因素值。
微机系统谐振器

[发明专利]抗环境振动影响的微机械陀螺仪-CN201610986332.0有效
发明人：刘亚婷 -专利权人：沈丹
申请日： 2016-11-09 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明公开了一种抗环境振动影响的微机械陀螺仪，包括第一结构、第二结构和耦合梁，第一结构和第二结构通过耦合梁连接且关于耦合梁对称，耦合梁仅允许第一结构和第二结构反向运动；第一结构包括第一框架、第一驱动质量块、第二驱动质量块、第一驱动耦合梁、第一梳齿驱动电极、第一梳齿检测电极、第一支撑梁和第二支撑梁；第二结构包括第二框架、第三驱动质量块、第四驱动质量块、第二驱动耦合梁、第二梳齿驱动电极、第二梳齿检测电极、第三支撑梁和第四支撑梁
环境振动影响微机陀螺仪

[实用新型]抗环境振动影响的微机械陀螺仪-CN201621209193.2有效
发明人：刘亚婷 -专利权人：刘亚婷
申请日： 2016-11-09 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抗环境振动影响的微机械陀螺仪，包括第一结构、第二结构和耦合梁，第一结构和第二结构通过耦合梁连接且关于耦合梁对称，耦合梁仅允许第一结构和第二结构反向运动；第一结构包括第一框架、第一驱动质量块、第二驱动质量块、第一驱动耦合梁、第一梳齿驱动电极、第一梳齿检测电极、第一支撑梁和第二支撑梁；第二结构包括第二框架、第三驱动质量块、第四驱动质量块、第二驱动耦合梁、第二梳齿驱动电极、第二梳齿检测电极、第三支撑梁和第四支撑梁
环境振动影响微机陀螺仪

[发明专利]一种机架组合结构装置-CN201710721945.6在审
发明人：缪小龙 -专利权人：南通牧野机械有限公司
申请日： 2017-08-22 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： B29C35/02 文献下载
摘要：一种机架组合结构装置，涉及一种机架结构，该组合机架结构包括立梁耦合联结片、立梁耦合锁位孔、横梁定位螺栓孔、立梁、立梁吊装等用孔和横梁；立梁上设有立梁耦合联结片，立梁耦合联结片上开有立梁耦合锁位孔，立梁上开有立梁吊装等用孔，立梁为插接式，立梁的插接处开有横梁定位螺栓孔，两个立梁插接后形成上下两个“口”字型封闭结构，“工”字形横梁插接在两个立梁插接后形成的“口”字型封闭结构中，并利用横梁定位螺栓孔将横梁上下限位构造立梁与横梁固定，其所组合而成的立梁与横梁多元组合即为整体机架结构。
一种机架组合结构装置

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