[发明专利]一种不同阶模态耦合的模态局部化微质量传感器有效

专利信息
申请号: 202011463988.7 申请日: 2020-12-11
公开(公告)号: CN112595393B 公开(公告)日: 2021-09-17
发明(设计)人: 赵剑;宋嘉濠;吕明;刘蓬勃;钟恒;孙荣健;郑显泽;唐英海 申请(专利权)人: 大连理工大学
主分类号: G01G3/12 分类号: G01G3/12;G01N5/00;B81B1/00
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 陈丽;李洪福
地址: 116024 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明公开了一种不同阶模态耦合的模态局部化微质量传感器,属于微机电系统技术领域,包括:厚度不等的第一固支梁和第二固支梁;第一固定端对称分布于第一固支梁两端,第二固定端对称分布于第二固支梁两端;上耦合电极固定在第一固支梁的下表面,下耦合电极固定在第二固支梁的上表面;上耦合电极与下耦合电极之间由直流电压构成静电耦合;第一固支梁由驱动电源通过驱动电极驱动;当调节第一固支梁和第二固支梁的厚度为预设值,并通过驱动电压对第一固支梁驱动以及耦合电压产生静电耦合时,第一固支梁工作在三阶模态,第二固支梁工作在二阶模态。相较于传统的激励一阶模态的传感器,本发明的灵敏度更高,可用于检测病毒、蛋白质、化学药品等物质。
搜索关键词: 一种 不同 阶模态 耦合 局部 质量 传感器
【主权项】:
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  • 本实用新型公开了一种邮政称专用传感器,包括长方形的铝合金弹性本体,所述的铝合金弹性本体的中心为应变梁,所述应变梁内设置有两个大小一致的变形通孔,所述变形通孔沿铝合金弹性本体中心的宽度方向沿伸最终将所述铝合金弹性本体中心挖孔构成所述的应变梁,在所述应变梁的上下均设置有挤压后能够压缩应变梁的变形单元,每一个变形单元包括一片以上的应变片以及硅橡胶密封层,在所述的铝合金弹性本体内还设置有控制器,所述控制器与所述的应变片电连接,所述应变片和控制器的引线从硅橡胶密封层侧边引出。本结构体积小巧,抗压性好。
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