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- [发明专利]谐振器及温度检测方法-CN202310723113.3在审
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雷永庆;康力
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麦斯塔微电子（深圳）有限公司
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2023-06-16
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2023-10-27
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H03H9/24
- 本申请涉及微机电领域，具体涉及一种谐振器及温度检测方法。该谐振器包括：第一、第二振动单元，第一、第二电路。第一电路驱使第一振动单元以第一模态振动形成第一输出电信号，第二电路驱使第二振动单元以第二模态振动形成第二输出电信号，第二输出电信号频率与第一输出电信号频率具有差值。将第二输出电信号频率和第一输出电信号频率进行作差得到频率差，根据该频率差确定第二振动单元的最大振动位移，根据第二振动单元的最大振动位移在位移‑温度曲线中确定谐振器的温度。相比于现有技术中采用热敏电阻进行测量，本申请通过在内部获取谐振器最大振动位移以确定谐振器的温度值，减小了测量所得的温度值与谐振器的实际温度值的偏差。
- 谐振器温度检测方法
- [发明专利]滤波器-CN201910475470.6有效
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朴润锡;金显俊;金性泰;郑原圭
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三星电机株式会社
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2019-06-03
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2023-10-27
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H03H9/24
- 本公开提供一种滤波器，所述滤波器包括：串联部，设置在信号输入端子与信号输出端子之间，并且包括至少一个第一体声波谐振器；电感器部，包括第一电感器和第二电感器，所述第一电感器设置在所述串联部的两端之间，所述第二电感器具有与所述串联部和所述第一电感器的连接节点连接的第一端；以及分路部，设置在所述第二电感器的第二端与地之间，并且包括至少一个第二体声波谐振器，其中，所述至少一个第二体声波谐振器的谐振频率比所述至少一个第一体声波谐振器的谐振频率高。
- 滤波器
- [发明专利]MEMS谐振器-CN202310971612.4在审
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雷永庆;谢国伟;李明
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麦斯塔微电子（深圳）有限公司
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2023-08-03
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2023-10-24
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H03H9/24
- 本发明提供一种MEMS谐振器，包括谐振件、锚固件、驱动电极和感测电极；驱动电极和感测电极围绕谐振件而成对设置；谐振件分别与驱动电极和感测电极以第一容性间隙间隔设置；锚固件与谐振件侧向连接并分别与驱动电极和感测电极以第二容性间隙间隔设置；其中，第一容性间隙具有小于第二容性间隙的间隙尺寸，第二容性间隙的至少一侧壁上形成有齿状结构。本发明通过于非功能性电容间隙的侧壁形成齿状凸起，有效缩小非功能性电容间隙和功能性电容间隙之间的刻蚀速率差异，减轻刻蚀过快而造成的衬底损伤，从而实现MEMS谐振器信号检测的敏感度和降低信号噪声的平衡。
- mems谐振器
- [发明专利]谐振器以及谐振装置-CN201880040579.0有效
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井上义久;河合良太
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株式会社村田制作所
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2018-03-26
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2023-09-08
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H03H9/24
- 在本发明的谐振器中，改善DLD。具有：基部；以及3根以上的振动臂，具有第一电极以及第二电极、和压电膜，该压电膜设置于第一电极与第二电极之间，且具有与第一电极对置的上表面，并在电压施加于第一电极以及第二电极之间时以规定的振动模式振动，上述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向远离前端的方向延伸的开放端，3根以上的振动臂具有：2根第一臂，在3根以上的振动臂排列的方向上位于最外侧，且以同相位振动；以及1根以上的第二臂，夹在2根第一臂之间，第一臂与第二臂相比质量较大。
- 谐振器以及谐振装置
- [发明专利]谐振器以及谐振装置-CN201880041488.9有效
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西村俊雄;维莱·卡亚卡里
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株式会社村田制作所
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2018-03-08
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2023-09-01
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H03H9/24
- 本发明涉及谐振器以及谐振装置，能够在任意的长宽比提高限制性。谐振器具备：振动部，具有基板和一个以上的电极，基板具有由宽度方向以及长度方向确定的主面，电极形成在遍及基板的主面中的至少长度方向的大致整个区域的区域，振动部根据对电极施加的电压，进行以沿着宽度方向的振动为主振动的伸缩振动；保持部，被设置成包围振动部的至少一部分；以及保持臂，将振动部和保持部连接，振动部具有位于长度方向的端部的宽度方向的宽度(Wo)，并且具有至少一处以上的异形部，异形部在宽度方向上形成为凹状或者凸状，以便具有位于长度方向上的对置的一对端部之间的、与宽度(Wo)不同的宽度(Wm)。
- 谐振器以及谐振装置
- [发明专利]一种MEMS振荡器芯片-CN202310631806.X在审
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雷永庆;黄寿;朱怀远
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麦斯塔微电子（深圳）有限公司
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2023-05-30
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2023-08-29
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H03H9/24
- 本申请提供了一种MEMS振荡器芯片，包括四个呈矩形阵列排布的引脚，其中，第一引脚被配置为OE引脚、ST引脚、NC引脚、OUT2引脚中的任一种，第二引脚被配置为GND引脚，第三引脚被配置为VDD引脚，第四引脚被配置为OUT1引脚。当第一引脚被配置为OUT2引脚后，第一引脚和第四引脚中的一者配置为输出频率为32.768kHz的时钟信号，另一者配置为输出频率为MHz的时钟信号。上述MEMS振荡器芯片能够分别输出频率为kHz和MHz的时钟信号，拓展了MEMS振荡器芯片的引脚功能，以通过单一芯片实现多钟频率信号输出的目的，进而不仅提高了单一MEMS振荡器芯片的性能，还能够进一步减少制造成本。
- 一种mems振荡器芯片
- [发明专利]谐振子以及谐振装置-CN201880060663.9有效
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井上义久;河合良太
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株式会社村田制作所
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2018-04-25
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2023-08-18
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H03H9/24
- 本发明涉及谐振子以及谐振装置。能够抑制谐振子上的绝缘体层或者，绝缘体层上的导电层所带电的电荷给予谐振频率的影响，并且实现强度的提高。该谐振子具有：振动部，具有振动臂和基部，该振动臂具备固定端和开放端并弯曲振动，该基部具有与振动臂的固定端连接的前端以及与该前端对置的后端的；保持部，被设置为包围振动部的至少一部分；以及保持臂，将振动部和保持部连接，振动部具有：上部电极以及下部电极；压电膜，被设置在上部电极与下部电极之间，具有与上部电极对置的主面，在上部电极以及下部电极之间被施加电压时使振动臂弯曲振动；保护膜，由绝缘体构成，该保护膜隔着上部电极与压电膜的主面对置设置，并在振动臂的第一区域露出；导电膜，隔着保护膜与压电膜的主面对置设置，并在第二区域露出，该第二区域是振动臂中的与第一区域相邻的开放端附近的区域；以及导通电极，形成在保护膜上，并使导电膜与上部电极以及下部电极的任意一方电连接，在俯视压电膜的主面时，导通电极位于振动臂的第二区域内且比开放端更靠近第一区域的部分。
- 谐振子以及谐振装置
- [发明专利]谐振子以及谐振装置-CN202180082745.5在审
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河合良太;福光政和;樋口敬之
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株式会社村田制作所
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2021-07-26
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2023-08-15
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H03H9/24
- 本发明提供一种谐振子以及谐振装置，在使DLD改善的同时，抑制谐振频率的调整速率的降低。谐振子(10)具备：振动部(110)，包含多个振动臂(121A～121D)和基部(130)，其中至少两个振动臂以不同的相位进行面外弯曲；保持部(140)，构成为保持振动部(110)；以及支承臂(151)，一端与保持部(140)连接，另一端与基部(130)的后端部(131B)连接，在俯视时，支承臂(151)的另一端连接在将基部(130)的后端部(131B)中的中心线(CL1)通过的位置作为基准时，相对于基部(130)的基部宽度WB从－0.1WB到0.1WB的范围的位置，支承臂(151)的支承臂长LS相对于振动臂(121A～121D)的振动臂长LA在0.2倍以上且在0.4倍以下。
- 谐振子以及谐振装置
- [发明专利]谐振器以及谐振装置-CN201880060903.5有效
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井上义久;河合良太
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株式会社村田制作所
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2018-04-25
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2023-08-04
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H03H9/24
- 谐振器具备：振动部；保持部，设置成包围振动部的至少一部分；以及保持臂，连接振动部和保持部，该振动部具有：上部电极和下部电极；压电膜，设置于上部电极与下部电极之间，具有与上部电极对置的主面，在上部电极与下部电极之间被施加电压时使振动部以规定的振动模式振动；保护膜，由绝缘体构成，夹着上部电极与压电膜的主面对置地设置，在振动部中的第一区域露出；导电膜，夹着保护膜与压电膜的主面对置地设置，在振动部中的与第一区域相邻的区域亦即第二区域露出；以及连接电极，形成于保护膜，使导电膜与下部电极电连接，上部电极形成为与导电膜相互重叠的区域的面积为导电膜的面积的总和的一半以下或者避免形成与导电膜相互重叠的区域。
- 谐振器以及谐振装置
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