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[发明专利]一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器-CN202011460351.2有效
发明人：吕明;赵剑;刘蓬勃;钟恒;宋嘉濠;孙荣健;郑显泽;唐英海 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01P15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器，包括：第一固支梁两端分别通过第一固定端和第一质量块固定；第一质量块左端与第一铰接端相连；第一铰接端与第二固定端相连；第二固支梁置于第一固支梁左侧，其两端通过第二固定端和第二质量块固定；第二质量块右端与第二铰接端相连；第二铰接端与第一固定端相连；第一固支梁与第二固支梁之间通过静电耦合，耦合电源输出耦合电压加载在第二固支梁上，用于调整第一固支梁和第二固支梁之间的静电耦合强度；第一固支梁、第二固支梁分别通过第一固定激励电极、第二固定激励电极调节驱动力。本发明能够实现传感器灵敏度、探测范围和分辨率的在线调整，具有高灵敏度，鲁棒性强等优点。
一种基于局部效应可调加速度传感器

[发明专利]一种不同阶模态耦合的模态局部化微质量传感器-CN202011463988.7有效
发明人：赵剑;宋嘉濠;吕明;刘蓬勃;钟恒;孙荣健;郑显泽;唐英海 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： G01G3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种不同阶模态耦合的模态局部化微质量传感器，属于微机电系统技术领域，包括：厚度不等的第一固支梁和第二固支梁；第一固定端对称分布于第一固支梁两端，第二固定端对称分布于第二固支梁两端；上耦合电极固定在第一固支梁的下表面，下耦合电极固定在第二固支梁的上表面；上耦合电极与下耦合电极之间由直流电压构成静电耦合；第一固支梁由驱动电源通过驱动电极驱动；当调节第一固支梁和第二固支梁的厚度为预设值，并通过驱动电压对第一固支梁驱动以及耦合电压产生静电耦合时，第一固支梁工作在三阶模态，第二固支梁工作在二阶模态。相较于传统的激励一阶模态的传感器，本发明的灵敏度更高，可用于检测病毒、蛋白质、化学药品等物质。
一种不同阶模态耦合局部质量传感器

[发明专利]一种弱耦合谐振器-CN202011463918.1在审
发明人：赵剑;钟恒;吕明;刘蓬勃;宋嘉濠;孙荣健;郑显泽;唐英海 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种弱耦合谐振器，涉及微机电系统技术领域，包括：由第一固定端和第二固定端固定的固支直梁；吸附在固支直梁上的质量吸附块；由第三固定端和第四固定端固定的固支余弦曲梁；固支余弦曲梁由驱动电压源通过固定电极驱动；第一固定端与直梁耦合电压源相连接；第三固定端与余弦曲梁耦合电压源相连接；固支直梁和固支余弦曲梁之间通过直梁耦合电压源和余弦曲梁耦合电压源产生的静电力进行直流电压耦合；通过调节驱动电压和耦合电压的大小，弱耦合谐振器在微质量传感器与MEMS带通滤波器之间功能切换。本发明能够进行微质量传感器和MEMS带通滤波器之间的随意切换，并且具有工艺简单，构型稳定易于加工等优点。
一种耦合谐振器