|
钻瓜专利网为您找到相关结果 496098个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]三维存储器及其制作方法-CN202111647171.X在审
-
张坤;吴林春;周文犀
-
长江存储科技有限责任公司
-
2021-12-30
-
2022-04-05
-
H01L27/1157
- 本发明涉及一种三维存储器及其制作方法,包括:在衬底上形成堆叠结构,堆叠结构在平行于衬底的横向上的一端形成台阶结构;形成覆盖于台阶结构上的绝缘覆盖层;在台阶结构上形成冗余沟道孔,冗余沟道孔在垂直于衬底的纵向上延伸,冗余沟道孔的顶端部位于绝缘覆盖层中,且冗余沟道孔不贯穿台阶结构;在冗余沟道孔中形成冗余沟道结构;形成在纵向上延伸且贯穿冗余沟道结构和台阶结构的虚拟沟道结构,虚拟沟道结构在衬底上的正投影位于冗余沟道结构在衬底上的正投影内,从而在三维存储器的形成工艺中,能够减小虚拟沟道结构的顶部尺寸和底部尺寸的差异,进而有利于增大形成接触插塞时的工艺窗口,以减小制造工艺难度,并降低生产成本。
- 三维存储器及其制作方法
- [发明专利]半导体传感器部件-CN201180005860.9有效
-
恩德·腾海夫
-
艾尔默斯半导体股份公司
-
2011-01-10
-
2012-10-17
-
H01L29/423
- 在有源区(78a,200)内构建有限定的长度(L)和宽度(B)的半导体沟道区。在有源区(78a,200)中纵向伸展部中的沟道区的端部上分别连接有接触区(79,80),接触区由第二导电类型的半导体材料构建。沟道区被离子注入掩膜材料(81)覆盖,其具有限定沟道区的长度(L)的横向边缘以及限定沟道区的宽度(B)的纵向边缘,并且在沟道区的对置的并且与沟道区的纵向延伸端部平齐的横向边缘上分别具有边缘留空部(201,202),与沟道区邻接的接触区(79,80)延伸至边缘留空部中。
- 半导体传感器部件
|