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- [发明专利]硅微/纳米柱的制备方法-CN202210686875.6在审
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仝柯;赵松;田永君
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燕山大学
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2022-06-17
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2022-10-11
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B81C1/00
- 本发明提供一种硅微/纳米柱的制备方法,属于硅微/纳米结构的制备技术领域。本方法包括如下步骤:(1)从磨抛好的块体硅样品中利用FIB电镜提取用于加工微/纳米柱的初始坯料;(2)利用FIB电镜加工圆台型粗坯;(3)借助FIB电镜,使用环形加工图案对圆台型粗坯进行粗加工,获得硅微/纳米柱粗坯;(4)保持环形加工图案内径不变,逐渐增加其外径进行精加工,确保直径符合需求;(5)利用FIB电镜削平硅微/纳米柱顶部,确保高度符合需求;(6)去除加工过程引入的非晶层。采用本发明的技术方案,可制备尺寸精度高、加工锥度小的硅微/纳米柱,所制备的硅微/纳米柱直径偏差不大于10%,锥度小于10°。所得硅微/纳米柱可用作原位电镜力学测试样品。
- 硅微纳米制备方法
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