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[发明专利]等离子体处理装置和等离子体处理方法-CN201010589485.4有效
发明人：山泽阳平;舆水地盐;齐藤昌司;传宝一树;山涌纯 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-10-27 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置和等离子体处理方法。在感应耦合型等离子体工艺中，采用简单的补正线圈自由且精细地控制等离子体的密度分布。在该感应耦合型等离子体处理装置中，在与RF天线(54)接近的电介质窗(52)之下炸面饼圈状地产生感应耦合等离子体，使该炸面饼圈状的等离子体分散在大的处理空间内，在基座(12)附近(即半导体晶片W上)使等离子体的密度平均化并且，使基座(12)附近的等离子体密度分布在径向上均匀化，由补正环(70)对RF天线(54)产生的RF磁场实施电磁场的补正，而且能够根据工艺条件由开关机构(110)改变补正线圈(70)的通电占空比。
等离子体处理装置方法

[发明专利]一种脉冲潘宁放电等离子体发生装置-CN201810658135.5有效
发明人：郝胜智;卢健;胡方亭;彭文海 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2018-06-19 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种脉冲潘宁放电等离子体发生装置，属于材料表面改性领域。包括等离子体发生部分、真空室、工作台、高压脉冲功率电源、时序控制电路、可调电阻一、可调电阻二和真空系统。在真空室达到工作压强后，启动时序控制电路，当磁场强度达到设定值后，潘宁阳极内部及其与阴极和辅助阳极相对区间形成空间放电，获得放电等离子体，放电等离子体在磁场约束下沿轴向扩展，穿过辅助阳极后作用于工件表面本发明等离子体发生部分和工件相对独立，放电等离子体产生过程中，工件对等离子体发生的影响可以忽略不计；放电等离子体分布密度、放电等离子体对工件的作用强度具有可调性，适应于多种材料的表面改性。
放电等离子体等离子体发生发生装置辅助阳极可调电阻真空室脉冲高压脉冲功率电源启动时序控制电路材料表面改性时序控制电路阴极表面改性磁场约束工件表面工作压强相对独立真空系统阳极可调性工作台放电下沿轴向磁场穿过

[发明专利]等离子体处理设备和使用其制造半导体器件的方法-CN201810722273.5有效
发明人：洪定杓;宣钟宇;成正模 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体处理设备和制造半导体器件的方法。所述等离子体处理设备包括：处理室，其具有内部空间；静电卡盘，其在处理室中并且衬底被安装在其上；气体注入单元，其在处理室的一侧将处理气体注入到处理室中；等离子体施加单元，其将注入到处理室的处理气体转变为等离子体；以及等离子体调节单元，其设置在静电卡盘周围并且可操作以调节衬底上的等离子体的密度。
等离子体处理设备使用制造半导体器件方法

[发明专利]一种离子推力器放电室内部等离子体诊断装置及方法-CN202011073792.7在审
发明人：陈焘;陈新伟;杨俊泰;杨浩;赵勇;史楷;李兴坤;郑茂繁 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本公开的一种离子推力器放电室内部等离子体诊断装置及方法，通过包括探针2，用于探测所述离子推力器1放电室内部等离子体；探针导引组件，用于导引所述探针2在所述离子推力器1放电室内部的移动；移动定位组件6，用于驱动所述探针2的移动和定位所述探针2的移动位置；数据采集组件8，用于采集所述探针2探测的所述离子推力器1放电室内部等离子体的测试数据；上位机9，用于处理所述等离子体的测试数据，计算得到所述离子推力器1放电室内部等离子体的诊断信息该装置操作简单，空间分辨率高，对离子推力器放电室等离子体干扰小，可以快速获取离子推力器等离子体的诊断数据信息，且提高等离子体诊断数据的可信度。
一种离子推力放电内部等离子体诊断装置方法

[发明专利]用于操作等离子体射流构造的系统和方法-CN202080069751.2在审
发明人：雷克·科尔斯;克劳斯·迪特尔·韦尔特曼;菲利普·图尔斯基;诺伯特·莱姆布克;托尔斯滕·格林;劳拉·维拉德尔·斯科尔滕;斯特凡·霍恩 -专利权人：布莱尼茨等离子科学和技术研究所
申请日： 2020-10-05 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于产生和控制非热大气压等离子体的系统(1)，包括：‑放电空间(10)，工作气体可经由第一开口(12)引入到所述放电空间中，其中，等离子体(5)可在所述放电空间(10)中产生，其中，所述放电空间(10)具有第二开口(14)，使得所述等离子体(5、6)能够通过所述第二开口(14)离开所述放电空间(10)，以及‑至少一个高压电极(20)，用于产生电磁场，以在所述放电空间(10)中产生等离子体(5)通过第二开口(14)离开的等离子体(5、6)由系统(1)的流量控制器(40)控制，该流量控制器形成为设定从工作气体源(50)通过第一开口(12)进入放电空间(10)的工作气体的体积流量(60)。在这种情况下，流量控制器(40)还形成为至少采用第一状态和第二状态，其中，在第一状态下，没有工作气体从工作气体源(50)供应到放电空间(10)，使得即使在放电空间(10)中存在产生的电磁场时，也没有等离子体(5)从第二开口(14)离开，并且其中，在第二状态下，工作气体从工作气体源(50)供应到放电空间(10)，等离子体(5)在放电空间(10)中产生，并且等离子体(5、6)从第二开口(14)离开。
用于操作等离子体射流构造系统方法

[发明专利]等离子体处理装置和控制方法-CN201810331134.X有效
发明人：池田太郎;长田勇辉 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-04-13 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明的等离子体处理装置和控制方法的目的在于，监视等离子体生成空间中的多个区域各自的等离子体点火的状态。提供一种等离子体处理装置，具有将从微波输出部输出的微波向处理容器的内部辐射的微波辐射机构，其中，所述微波辐射机构具有：天线，其用于辐射微波；电介质构件，其使从所述天线辐射的微波透过，且形成用于通过该微波来生成表面波等离子体的电场；传感器，其设置于所述微波辐射机构或者该微波辐射机构的附近，且监视生成的等离子体的电子温度；以及控制部，其基于由所述传感器监视到的等离子体的电子温度，来判定等离子体点火的状态。
等离子体处理装置控制方法

[发明专利]一种可回收利用气体的等离子体射流产生系统-CN202010824958.8在审
发明人：刘熊;甘汶艳;王谦;李永福;李小平;李思全;彭华东;高晨璐;任啸;向竑宇 -专利权人：国网重庆市电力公司电力科学研究院;国家电网有限公司
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种可回收利用气体的等离子体射流产生系统，其包括等离子体射流组件、混气腔、工作气体供气通路和前驱气体供气通路，工作气体供气通路接入混气腔，用于提供工作气体，前驱气体供气通路接入混气腔，用于提供携带单体材料的前驱气体，混气腔将工作气体和前驱气体混合后给等离子体射流组件供气，使得等离子体射流组件喷射等离子体射流，还包括防护罩和回气通路，防护罩用于罩设在被处理材料表面形成隔绝外界空气的密闭空间，等离子体射流仅能喷射在密闭空间内本发明可以排除外界杂质气体对材料表面处理的干扰，加强等离子体射流处理效果，同时有效减少气体浪费，提升环保经济性。
一种可回收利用气体等离子体射流产生系统

[发明专利]一种等离子体灭菌消毒柜及消毒方法-CN201910703980.4在审
发明人：李小娇;董玮利;李超;李枫;马少云;王涛;刘定新;郗旺 -专利权人：青岛海尔智能技术研发有限公司;海尔智家股份有限公司
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： A61L2/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体灭菌消毒柜及消毒方法，包括等离子体产生模块、电源模块、气流模块及催化剂模块。等离子体产生模块包括气室，气室内设有放电组件，气室具有出气口和进气口。电源模块向放电组件提供高压电源，气流模块将气室内的等离子体输送至灭菌空间内，催化剂模块设于气室内或气流模块上，用于分解臭氧。等离子体产生模块包括初始放电阶段和稳定放电阶段，初始放电阶段时，气室关闭，稳定放电阶段时，气室打开。催化剂模块在等离体体进入灭菌空间前，将等离体子中尚存的臭氧进行催化分解，降低臭氧浓度，提高灭菌率。该消毒柜能够向灭菌空间内输入臭氧浓度低的等离子体实现杀菌。
一种等离子体灭菌消毒柜消毒方法

[实用新型]一种等离子体灭菌消毒柜-CN201921226871.X有效
发明人：李小娇;董玮利;李超;李枫;马少云;王涛;刘定新;郗旺 -专利权人：青岛海尔智能技术研发有限公司;海尔智家股份有限公司
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： A61L2/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体灭菌消毒柜，包括等离子体产生模块、电源模块、气流模块及催化剂模块。等离子体产生模块包括气室，气室内设有放电组件，气室具有出气口和进气口。电源模块向放电组件提供高压电源，气流模块将气室内的等离子体输送至灭菌空间内，催化剂模块设于气室内或气流模块上，用于分解臭氧。等离子体产生模块包括初始放电阶段和稳定放电阶段，初始放电阶段时，气室关闭，稳定放电阶段时，气室打开。催化剂模块在等离体体进入灭菌空间前，将等离体子中尚存的臭氧进行催化分解，降低臭氧浓度，提高灭菌率。该消毒柜能够向灭菌空间内输入臭氧浓度低的等离子体实现杀菌。
一种等离子体灭菌消毒柜

[发明专利]一种等离子体处理装置-CN201310299430.3有效
发明人：左涛涛;吴狄 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-07-17 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置，通过设置一带加热元件的等离子体加热环，实现对反应腔内的等离子体加热，满足刻蚀工艺对等离子体温度的要求；在所述加热元件的周围设置隔热渠道，将等离子体加热环的加热元件产生的热量与周围的部件和外部空间进行隔离隔热渠道将加热元件产生的热量与外部空间进行隔离，能保证外部空间的温度不会对操作人员造成威胁。
一种等离子体处理装置

[发明专利]等离子体处理方法-CN201880064580.7在审
发明人：岩下伸也;菊地贵伦;野吕尚孝;长谷川敏夫;守屋刚 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明的一实施方式的等离子体处理方法在基片被载置于腔室主体的内部空间之中的支承台上的状态下被执行。在该等离子体处理方法中，对基片实施等离子体处理。接着，用相位调节电路，相对于上部电极的电压的相位相对地调节下部电极的电压的相位，以使得在使为了进行等离子体处理而生成的等离子体不消失的情况下使支承台与等离子体之间的鞘层的厚度增大。然后，在停止了高频的供给的状态下，使用排气装置，将腔室主体的内部空间之中的气体和颗粒排出。
等离子体处理方法

[发明专利]成膜装置-CN201310042555.8有效
发明人：加藤寿;三浦繁博 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-02-01 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： C23C16/505 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜装置，该成膜装置包括：旋转台；第1处理气体供给部，其用于向第1处理区域供给第1处理气体；第1等离子体处理部，其用于在第2处理区域中对基板进行等离子体处理；分离气体供给部，其用于向形成于第1处理区域和第2处理区域之间的分离区域供给分离气体，以便使第1处理区域的气氛气体和第2处理区域的气氛气体分离，第1等离子体处理部包括：第1围绕部分，其用于划分形成用于使等离子体产生的等离子体产生空间，在其下部形成有等离子体的喷出口；第2处理气体供给部，其用于向等离子体产生空间供给第2处理气体；活化部，其用于使等离子体产生空间的第2处理气体活化；第2围绕部分，其设在第1围绕部分的下方。
装置

[实用新型]一种等离子体治疗仪手柄-CN202223416392.9有效
发明人：刘文沁;赵锦剑 -专利权人：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： A61B18/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及医疗器械领域，尤其涉及一种等离子体治疗仪手柄，设置有壳体和等离子体组件；壳体设置有壳身和前盖；壳身围合成相互连通的容置空间和第一端口；前盖围合成相互连通的射流通道和连通口；射流通道的第一开口端与第一端口活动连接；等离子体组件设置有等离子体发生器，等离子体发生器设于容置空间，等离子体发生器的输出端靠近第一开口端并对准射流通道，输出端与射流通道的第二开口端的间距处处相等。通过将第一开口端和第一端口设置成活动连接，使得等离子体发生器的输出端与前盖第二开口端的间距可根据等离子体射流电弧长度进行调节，确保等离子体射流作用于待治疗部位的距离为最佳距离，避免电弧的产生和治疗功效受到影响
一种等离子体治疗手柄

[发明专利]一种新型的常压微波等离子体气流设计方法-CN202211546504.4在审
发明人：李大帅;童玲 -专利权人：电子科技大学长三角研究院（湖州）
申请日： 2022-12-04 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明属于等离子体产生技术领域，具体涉及一种常压微波等离子体的气流设计。本发明通过中心导体和同轴结构外导体上的进气口两个进气口在等离子体区域形成“工作气体‑屏蔽气体”双层气膜结构。利用不同气体成分的电离能与离解能不同的特点，实现等离子体形态的控制和维持。本发明的设计方法可用于所有的同轴结构常压微波等离子体发生装置的气流设计，能够实现常压微波等离子体在高于大气压的半封闭空间内的稳定维持，有效降低常压微波等离子体的激发和维持难度，提高等离子体的稳定性。
一种新型常压微波等离子体气流设计方法

[实用新型]一种激光驱动等离子体喷射式电磁脉冲发生器-CN201821307259.0有效
发明人：易涛;江少恩;丁永坤;黎航;况龙钰 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2018-08-14 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本实用新型的提出一种激光驱动等离子体喷射式电磁脉冲发生器，利用外部激光束辐照金属腔内壁产生等离子体，由于喷射口上安装有封口膜，等离子体起初被约束在金属腔内，以此提升金属腔内的等离子体压力；又由于激光有压力，等离子体会沿着外部激光束的入射方向运动，则当内部压力达到设定阈值时，等离子体将冲破封口膜，从金属腔喷射出去，从而增加等离子体喷射的速度；通过等离子体加速喷射形成空间电流产生瞬态电磁脉冲，这种电磁脉冲产生方式具有瞬态功率高
金属腔等离子体等离子体喷射电磁脉冲发生器激光驱动封口膜喷射等离子体加速等离子体压力瞬态电磁脉冲本实用新型激光束辐照电磁脉冲电流产生电路系统内部压力入射方向瞬态功率等离子激光束灵活的喷射口有压力阈值时外部内壁激光制约

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