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[实用新型]硅片清洗系统-CN201720257217.X有效
发明人：曹明奇;魏超锋;邓浩;郭江涛 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2017-03-16 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开的硅片清洗系统，包括分别用于脱胶、插片和清洗工序的硅片脱胶机、插片机和硅片清洗机，其还包括输水管道和节水单元，输水管道将硅片脱胶机、插片机和硅片清洗机连接为一体，节水单元设置于输水管道上，以实现脱胶、插片和清洗工序用水的循环利用。本实用新型的硅片清洗系统消除了硅片制造过程中喷淋脱胶、插片和清洗工序均采用独立供排水系统的缺陷，节约了生产用水，同时降低了废水处理成本及压力。
硅片清洗系统

[实用新型]一种硅片清洗机的热吹风烘干装置-CN201621012946.0有效
发明人：陈建平 -专利权人：浙江德西瑞光电科技有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： F26B21/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅片清洗机的热吹风烘干装置，属于机械技术领域。它解决了现有硅片清洗机的热吹风烘干装置效果并不理想，加热速度慢，过程繁琐，结构复杂且不易维修等技术问题。本硅片清洗机的热吹风烘干装置，硅片清洗机包括机架，在机架上固定有存放硅片的存放箱，存放箱具有热风进口，本热吹风烘干装置包括底座，在底座上固定有烘干箱，烘干箱包括内箱和设置在内箱外的外箱，内箱和外箱之间具有空腔
一种硅片清洗吹风烘干装置

[实用新型]一种硅片清洗机-CN201520857072.8有效
发明人：刘锋;刘爱军;蒋月华;陈新军;邓加云 -专利权人：无锡隆基硅材料有限公司
申请日： 2015-10-30 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： B08B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公布了一种硅片清洗机，包括上料台、下料台、位于上料台和下料台之间的多个清洗槽，其特征在于：位于所述上料台和下料台之间上方设置有花篮传输装置。所述花篮传输装置传送方向为下料台至上料台方向。本实用新型在现有的硅片清洗机的基础上进行改造，在硅片清洗机的上方设置花篮传输装置，将花篮从下料台自动传输至上料台方向，实现自动回篮，提升生产效率，节约人力成本。同时，花篮传输装置的设置也不会影响到硅片清洗机的原有清洗功能。
一种硅片清洗

[实用新型]一种环保可循环全自动硅片清洗机-CN201821943597.3有效
发明人：张旺 -专利权人：江苏科林泰电子有限公司
申请日： 2018-11-23 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： B01D36/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种环保可循环全自动硅片清洗机，涉及硅片清洗技术领域，该环保可循环全自动硅片清洗机，包括清洗机本体，清洗机本体的一侧通过水管固定连接有循环水箱，循环水箱的内腔上端对称设置有安装块，两个安装块远离循环水箱的一侧中部均开设有插接槽该环保可循环全自动硅片清洗机，通过第一过滤板和第二过滤板的配合设置能够对清洗机本体产生的废水进行过滤处理，通过设置循环水泵能够将循环水箱内经过处理的水抽到储水箱内，经过在储水箱的自然沉淀，能够二次利用，
循环水箱硅片清洗机可循环清洗机本体过滤板安装块插接槽储水箱固定柱环保本实用新型顶端内壁对称设置二次利用硅片清洗过滤处理配合设置循环水泵自然沉淀上端内插内腔水管废水水资源

[实用新型]一种硅片清洗设备-CN201520249710.8有效
发明人：洪育林;张震;安冠宇;李文文;刘凯 -专利权人：武汉宜田科技发展有限公司
申请日： 2015-04-23 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种硅片清洗设备，该硅片清洗设备包括上料台、喷淋装置和硅片清洗机；所述上料台与所述硅片清洗机入口端连接，所述喷淋装置至少部分位于所述上料台的上方，以对所述上料台上的硅片进行喷淋。实施本实用新型实施例，具有如下有益效果：本实用新型的硅片清洗设备在上料台上安装有喷淋装置，不间断的向硅片喷淋纯水，避免了硅片由于在上料台上放置时间过长导致的氧化，保证了清洗质量。
一种硅片清洗设备

[发明专利]一种硅片自动上料系统-CN201310174136.X有效
发明人：樊坤;刘良玉;尹昊;龙辉;郭立 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2013-05-13 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明属于一种光伏太阳能设备，为一种向链式制绒机或链式清洗机中上料的硅片自动上料系统，包括用于装载硅片的片盒装置，还包括将片盒装置内的硅片传送至链式制绒机或链式清洗机上的传送装置、夹取片盒装置内的硅片至传送装置上的机械手，并在片盒装置两侧安装防止硅片发生叠片的吹气装置。本发明所述硅片自动上料系统，能对链式制绒机或链式清洗机的全自动上料，并能检测及排出叠片，保证设备的正常运行。
一种硅片自动系统

[发明专利]一种硅片清洗干燥方法-CN201110185248.6无效
发明人：贺洁;葛荣保 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2011-07-04 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： F26B3/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅片清洗干燥方法，其具体如下工艺步骤：(一)、对一多晶棒或单晶棒切片后，经预清洗，清洗后的潮湿硅片进入清洗机；(二)、在清洗机的末端清洗槽中加入70℃至80℃纯水；(三)、将在清洗机中经过前道清洗洗净后的潮湿的硅片浸入70℃至80℃纯水中3至4分钟，慢慢提出；(四)、进入烘箱中高温风干为干燥硅片；(五)、干燥硅片经过分选、测试等工序便可包装成成品。该硅片的清洗干燥方法根本技术革新在于：1、使用热纯水代替了切水剂，从根本上消除了企业的安全隐患；2、通过使用热水的方法使硅片变热，从而进入烘箱时，更易干燥；3、通过使用纯净热水，相当于增加了一道清洗，使发生脏片的概率更低
一种硅片清洗干燥方法

[实用新型]一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机-CN202123097834.3有效
发明人：曹志勇;杭智华;姜志刚 -专利权人：扬州伟业创新科技有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了硅片清洗技术领域的一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机，包括硅片清洗机本体，硅片清洗机本体右侧壁上方设有安装板，安装板左侧壁开设有滑槽，滑槽内滑动连接设有滑块，滑块左侧壁设有调节组件，滑块左侧转动连接设有喷盘，喷盘底部设有多组出风嘴，活动杆一端贯穿滑槽内前侧壁与外部设有的活动板相连接，活动杆外壁套接设有弹簧硅片清洗机本体前侧壁设有固定板，固定板左侧壁设有电机，电机输出端连接设有凸轮，凸轮凸起处与活动板前侧壁相搭接，本实用在电机的作用下带动凸轮进行转动，凸轮间接性对活动板进行敲打，在弹簧的配合下能够带动滑块在滑槽内往复运动，从而能够更好的对硅片进行冷却。
一种带有冷却功能环保全自动硅片清洗

[实用新型]一种刻蚀机的清洗机构及刻蚀机-CN202120372057.X有效
发明人：赵赞良;解赵波;王肖肖;杨明明;安艳龙;张冬冬 -专利权人：宁夏隆基乐叶科技有限公司
申请日： 2021-02-10 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种刻蚀机的清洗机构和刻蚀机，用于硅片清洗，清洗机构包括至少两个滚轮组、喷淋管和喷淋罩；滚轮组包括相对平行成对设置的上滚轮和下滚轮，上滚轮和下滚轮之间形成硅片传输通道；喷淋管用于向硅片表面喷射清洗液；靠近清洗机构的出料端设置的滚轮组为压水滚轮组，用于将硅片表面残留液体挤压干净；沿着硅片传输通道，在压水滚轮组两侧形成进料区域和出料区域；喷淋罩设置于硅片传输通道上方并罩住压水滚轮组，喷淋罩设置有导流结构，用于将喷溅的清洗液引导至压水滚轮组的进料区域。本实用新型实施例提供的清洗机构，可以避免液体残留在硅片上，可以提升从压水滚轮组出料区域送出的硅片的干净程度，有助于提升硅片质量。
一种刻蚀清洗机构

[实用新型]一种硅片清洗机-CN201120558164.8有效
发明人：方结彬;班群;康凯;陈刚 -专利权人：广东爱康太阳能科技有限公司
申请日： 2011-12-28 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片清洗机，所述硅片清洗机包括上滚轮及下滚轮，所述上滚轮套接有浮轮，所述浮轮错开排列。采用本实用新型可以极大的降低硅片在清洗过程中的碎片率，并且结构简单，制造成本低。
一种硅片清洗

[实用新型]一种太阳能硅片清洗设备-CN201721930325.5有效
发明人：张国瑞 -专利权人：无锡超亚环保设备有限公司
申请日： 2017-12-30 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能硅片清洗设备，包括清洗机本体，清洗机本体顶部的一侧设有盖子，盖子上设有手柄，盖子的下方清洗机本体内设有清洗槽，清洗槽内侧设有硅片放置架，清洗槽外壁上设有风干器，清洗槽底部清洗机本体内部设有震头，清洗槽的下方设有换能器和温控器，换能器与震头电性连接，清洗机本体的一端下方设有循环水箱，循环水箱上方设有循环水泵，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型的清洗设备通过设置了换能器和循环水箱，利用换能器的超声波进行清洗，这样清洗更加安全彻底不会对硅片产生影响，循环水箱可以多清洗过的水进行过滤循环，进行二次利用，环保节能。
清洗机本体循环水箱换能器清洗槽本实用新型清洗设备盖子清洗太阳能硅片清洗槽外壁手柄电性连接二次利用硅片放置过滤循环环保节能循环水泵超声波风干器温控器硅片安全

[实用新型]一种半导体专用超声波清洗机-CN202122022870.7有效
发明人：张洪梅 -专利权人：烟台艾威智能电子有限公司
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体专用超声波清洗设备领域，具体为一种半导体专用超声波清洗机。本实用新型，包括清洗机本体和夹持装置，清洗机本体的表面设有夹持装置，所述夹持装置包括若干个滑槽，若干个所述滑槽均匀开设在清洗机本体的表面，所述滑槽的内壁活动连接有夹持框架，所述夹持框架的圆弧面螺纹连接有螺杆解决现有技术中存在传统的清洗方法是将硅片放置在清洗槽内直接进行清洗，在半导体硅片的清洗过程中，震动会使硅片的表面与清洗槽持续地进行摩擦，导致硅片表面受损，即会影响硅片的性能和使用寿命，也降低了生产的良品率的问题
一种半导体专用超声波清洗

[实用新型]一种硅片清洗机用硅片清洗装置-CN202220576320.1有效
发明人：王志腾;黄婷婷;古再丽努尔·麦麦提尼亚孜;夏村村;钟喜琳 -专利权人：晶芯半导体（黄石）有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片清洗机用硅片清洗装置，属于硅片处理技术领域，包括硅片清洗机壳，所述硅片清洗机壳的外壁分别装配有控制器和超声波发生器，控制器位于超声波发生器的上方，所述硅片清洗机壳的内壁内嵌有换能器；本实用新型在现有装置升降清洗拿取的基础上添设进料台和出料台，同时进料台和出料台通过连接架随清洗台同时升降动作，而且清洗架与清洗台间通过夹持结构可移动连接，即清洗架内的一批硅片在清洗完成后，可将进料台上的另一清洗架推至清洗台上，推动过程中带动清洗架移动至出料台上，这样下一批硅片清洗时，前一批硅片随清洗架降至地面，下一批硅片清洗与上一批硅片拿取同时进行，杜绝时间浪费，提高装置的清洗效率。
一种硅片清洗装置

[实用新型]硅片清洗机排风口冷凝回流装置-CN201320568657.9有效
发明人：陈前兆;徐昌华;史才成;孟宪亮;郝子龙;郑银先;华贵俊;高超 -专利权人：江苏晶鼎电子材料有限公司
申请日： 2013-09-13 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括清洗机工艺槽一侧的排风管，由所述排风管的吸风口为起始端向下倾斜设置有一块回流板，所述回流板的末端与清洗机的内壁固定连接。本实用新型在排风口附近增设回流板，聚集在排风口附近的水汽就会顺着回流板流到机壁上，进而沿着机壁向下流到工艺槽内，不会直接滴落到硅片上，不会对已经完成工位操作的硅片表面造成污染，保证硅片制绒清洗的质量。
硅片清洗风口冷凝回流装置

[发明专利]一种硅片的超声波清洗装置-CN201810651679.9在审
发明人：许小兵;谢静;刘俊;龙婉蓉;罗华丽;王晨熹 -专利权人：中国振华集团永光电子有限公司（国营第八七三厂）
申请日： 2018-06-22 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片的超声波清洗装置，属于硅片清洗技术领域。该装置包括超声波清洗机、定位架、石英壶、放置架、进水管、排水管，所述定位架放置于超声波清洗机中，所述石英壶放置于定位架中，所述放置架放置于石英壶内，所述进水管设置于石英壶上方，所述超声波清洗机底部设置有排水管本发明提供的超声波清洗装置可以及时清理从硅片表面脱离后悬浮于去离子水中的杂质，避免给已清洗的硅片造成二次污染，且清洗效果好，操作方便，清洗期间不用人员看守，省时省力。
石英超声波清洗装置超声波清洗机定位架硅片排水管放置架进水管清洗二次污染硅片表面硅片清洗清洗效果去离子水人员看守省时省力悬浮脱离