专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种防震型晶圆研磨机-CN202221899749.0有效
  • 夏村村;钟喜琳;曾根;席欣梅;张丙勇;黄敏慧;马强;李席席 - 晶芯半导体(黄石)有限公司
  • 2022-07-21 - 2022-12-27 - B24B37/10
  • 本实用新型公布了一种防震型晶圆研磨机,包括工作台、研磨组件和转动盘,工作台的顶部左右两侧对称固接有竖板,研磨组件设置在竖板的顶部,研磨组件包括研磨盖和研磨盘,各竖板的顶部均设置有支撑板,支撑板的顶部之间固接有横板,横板的底部中心处固定安装有液压缸,研磨盖的上表面与液压缸的活塞杆头部固定连接,研磨盖内设置有研磨盘,转动盘设置在工作台的上表面,转动盘的上表面圆周均匀开设有复数个研磨腔;本实用新型的有益效果是,使晶圆在研磨盘与转动盘之间研磨的过程中,增加对转动盘的转动稳定性,避免进行长时间的晶圆研磨中出现偏斜、抖动的现象,进而提高研磨机对晶圆的研磨质量与研磨的合格率。
  • 一种防震型晶圆研磨机
  • [实用新型]一种晶圆表面检测机-CN202220060740.4有效
  • 王志腾;黄婷婷;古再丽努尔·麦麦提尼亚孜;夏村村;钟喜琳 - 晶芯半导体(黄石)有限公司
  • 2022-01-11 - 2022-07-22 - G01N21/95
  • 本实用新型公开了晶圆加工技术领域的一种晶圆表面检测机,包括底座,所述底座的顶部固定安装有竖梁,所述竖梁的右侧滑动连接有横梁,所述横梁的底部固定安装有检测机本体,所述底座顶部的右侧固定安装有平台,所述底座内腔的右侧设置有负压机构,本实用新型通过负压机构将晶圆牢固的吸附在平台上,并且辅助设置有夹板来对晶圆进一步固定,避免在检测的过程中晶圆产生挪动位移现象,而且在检测的过程中,清理机构能够持续不断的向晶圆表面吹送气体,通过气流的作用将晶圆表面的附着物吹散,以达到清理的目的,并且能够在持续检测的过程中,防止浮灰落在晶圆表面,达到了提升检测精确性的优点,十分值得推广。
  • 一种表面检测
  • [实用新型]一种硅片清洗机用硅片清洗装置-CN202220576320.1有效
  • 王志腾;黄婷婷;古再丽努尔·麦麦提尼亚孜;夏村村;钟喜琳 - 晶芯半导体(黄石)有限公司
  • 2022-03-11 - 2022-07-22 - B08B3/12
  • 本实用新型公开了一种硅片清洗机用硅片清洗装置,属于硅片处理技术领域,包括硅片清洗机壳,所述硅片清洗机壳的外壁分别装配有控制器和超声波发生器,控制器位于超声波发生器的上方,所述硅片清洗机壳的内壁内嵌有换能器;本实用新型在现有装置升降清洗拿取的基础上添设进料台和出料台,同时进料台和出料台通过连接架随清洗台同时升降动作,而且清洗架与清洗台间通过夹持结构可移动连接,即清洗架内的一批硅片在清洗完成后,可将进料台上的另一清洗架推至清洗台上,推动过程中带动清洗架移动至出料台上,这样下一批硅片清洗时,前一批硅片随清洗架降至地面,下一批硅片清洗与上一批硅片拿取同时进行,杜绝时间浪费,提高装置的清洗效率。
  • 一种硅片清洗装置

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