专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种NiTiO3纳米薄膜的微波水制备方法-CN200910218853.1无效
  • 黄剑锋;郝品;曹丽云;吴建鹏 - 陕西科技大学
  • 2009-10-30 - 2010-07-14 - C30B29/32
  • 一种NiTiO3纳米薄膜的微波水制备方法,将分析纯的六水硝酸镍加入乙醇所得溶液记为A;向A溶液中加入分析纯的钛酸四丁酯、柠檬酸、水、乙酰丙酮得溶液B;将基板放入双氧水中超声震荡后干燥;将B溶液倒入水反应釜中,将基片放置在水釜中,浸于镀膜液体中;然后密封水反应釜,将其放入MDS-8型温压双控微波水反应仪中;选择控温模式或者控压模式进行反应反应结束后自然冷却到室温;打开水反应釜,取出基片后分别采用去离子水本发明反应在液相中一次完成,不需要后期处理,且工艺设备简单,所得薄膜纯度较高,均一性好。
  • 一种nitiosub纳米薄膜微波制备方法
  • [发明专利]一种磷掺杂多晶膜、其制备方法和用途-CN202210886651.X在审
  • 周雨;董雪迪;张武;林佳继 - 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
  • 2022-07-26 - 2022-10-25 - C23C16/24
  • 本发明提供了一种磷掺杂多晶膜、其制备方法和用途,所述制备方法包括以下步骤:以正硅酸乙酯和磷烷作为反应气源,在反应腔内采用丝化学气相沉积法在硅片的表面沉积得到磷掺杂非晶膜;抽除反应腔内的气体,并通入保护气,调节丝化学气相沉积法中丝距离对所述的磷掺杂非晶膜进行加热退火,加热退火后制备得到所述的磷掺杂多晶膜。本发明以磷烷和正硅酸乙酯作为原料,采用利用丝化学气相沉积法制备磷掺杂多晶膜,通过热丝距离调节,实现催化沉积和退火加热激活,大大缩短了制备时间,且避免了大气对磷掺杂非晶膜的污染。
  • 一种掺杂多晶制备方法用途
  • [发明专利]金属硅化物的形成方法-CN202310809053.7在审
  • 高玉岐;刘峰松;吴茜 - 上海积塔半导体有限公司
  • 2023-07-03 - 2023-10-27 - H01L21/3205
  • 所述方法包括如下步骤:提供一衬底,所述衬底表面具有金属层;对所述衬底进行第一次快速退火,使得所述金属层与所述衬底反应形成金属硅化物层;去除所述衬底表面未反应的金属;对所述衬底在含氧气氛中进行第二次快速退火上述技术方案将所述衬底放置于含氧气氛中进行第二次退火,含氧气氛中的氧会与金属硅化物反应生成氧化物覆盖于发生相变的金属硅化物层的表面,避免了快速退火中金属硅化物表面的离子沾污,通过降低金属硅化物表面的离子沾污
  • 金属硅形成方法
  • [发明专利]三氯氢及四氯化锆的联合制备系统及方法-CN201910258053.6在审
  • 武珠峰;银波;范协诚;宋高杰;朱秀萍 - 新特能源股份有限公司
  • 2019-04-01 - 2020-10-13 - C01B33/107
  • 本发明公开了一种三氯氢及四氯化锆的联合制备系统及方法,该系统包括:三氯氢合成炉;排渣管道,设置于三氯氢合成炉与氯化反应炉之间,排渣管道的入口与排渣口连接,排渣管道的出口与氯化反应炉的进料口连接;氯化反应炉,与排渣管道的出口连接,在氯化反应炉内,渣中的与氯气反应放热为以锆英砂为原料与碳质还原剂反应合成四氯化锆补渣中的二氧化硅与氯气反应生成气态的四氯化硅。本发明一方面实现了渣中元素的回收利用,降低了多晶生产过程中的单耗,另一方面实现了四氯化锆氯化反应炉的补,降低了能耗,降低了三氯氢、四氯化锆的生产成本,降低劳动强度,杜绝了环境污染,改善了环境
  • 三氯氢硅氯化联合制备系统方法
  • [发明专利]氧化物及其氧化物中氧比的调控方法和应用-CN202210672314.0在审
  • 刘厅;万远鑫;孔令涌;朱成奔 - 深圳市德方纳米科技股份有限公司
  • 2022-06-14 - 2022-09-27 - C01B33/113
  • 本申请公开了一种氧化物及其所含氧比的调控方法和应用。本申请氧化物中氧比的调控方法包括步骤有:将金属与二氧化硅的混合物进行金属还原反应,制备SiM与MO的复合前驱体;构建含氧气的反应气氛,将所述复合前驱体于所述反应气氛中进行反应,生成SiOx与MO的复合中间体;将所述复合中间体进行酸刻蚀处理,除去所述复合中间体中所含的MO,得到氧化物。申请氧化物中氧比的调控方法能够实现对氧化物所含氧比进行精准调控,赋予氧化物具有较低的体积膨胀效应,高的活性位点和导电性。另外,氧化物中氧比的调控方法能够保证氧化物所含氧比稳定,二效率高,节约了生产成本。
  • 氧化物及其中硅氧调控方法应用
  • [发明专利]ASM机台延伸板结构、使用方法及清洗方法-CN202310386358.1在审
  • 顾广安;陈建纲;邹崇生;高璇 - 上海晶盟硅材料有限公司
  • 2023-04-12 - 2023-07-04 - C23C16/44
  • 本发明提出了一种ASM机台延伸板结构、使用方法及清洗方法,所述ASM机台延伸板结构包括分别设置在石英腔体内的支架和延伸板;所述延伸板位于反应组件的出气口与承载盘之间。本发明在原基座位置后方加上一块延伸板,加装的延伸板一方面聚热,减小了反应组件输出气流的温度降低幅度,使尾端温度不会过低,使得不容易发生沉积现象,让原先会沉积在后基座上方的腔体的非晶沉积延伸板上,并于每次做腔体刻蚀的时候,将延伸板上的非晶移除,以减少非晶在石英腔体上后方的淀积,降低非晶尘粒在石英腔体内沉积的情况,减少石英腔体因尘粒增加而须拆下清洗的时间。
  • asm机台延伸板结使用方法清洗方法
  • [发明专利]固化性有机组合物、其固化物以及层叠体-CN202180079286.5在审
  • 尼子雅章 - 陶氏东丽株式会社
  • 2021-12-14 - 2023-07-18 - B32B27/00
  • 本发明提供一种熔性的固化性有机组合物、其固化物及其用途,该固化性有机组合物实质上无需使用有机溶剂,能使用较少量的缩合反应催化剂而固化,抑制固化反应前后的副反应,具备良好的熔融固化性,因此能高速固化一种熔性的固化性有机组合物及其固化物的使用,该固化性有机组合物含有:具有熔性的缩合反应性的聚有机氧烷树脂;以及以特定的比率包含下述物质的含缩合反应催化剂的混合物:在25℃下为液态的缩合反应催化剂(优选为DBU等挥发性的超碱性物质)和液态的聚有机氧烷。
  • 固化有机硅组合以及层叠

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