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[发明专利]一种工艺腔室及半导体处理设备-CN202310118681.0在审
发明人：郭士选;王炳元;苏恒毅;李一曼 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请公开了一种工艺腔室及半导体处理设备，工艺腔室包括腔室本体，以及设置于腔室本体内的承载组件和隔离组件；承载组件包括基盘以及真空机械卡盘，真空机械卡盘叠设于基盘的底面，真空机械卡盘通过真空吸附将晶圆吸附固定于基盘的上方；隔离组件套设在承载组件的外侧，用于将承载组件与隔离组件的外侧环境进行绝缘隔离，隔离组件包括上隔离环，上隔离环套设在基盘和真空机械卡盘的外侧，并且上隔离环的底面低于真空机械卡盘的顶面，本申请上隔离环从侧面对真空机械卡盘进行了隔离，从而可以避免真空机械卡盘的顶角与外界环境直接正对，降低了真空机械卡盘的顶角发生放电的风险，从而可以提高晶圆边缘刻蚀的良率。
一种工艺半导体处理设备

[发明专利]基于多维视觉传感器的真空机械手防碰撞检测系统的检测方法-CN201810365980.3有效
发明人：吴成东;弓源;姜杨;贾子熙;于晓升;迟剑宁;高娜 -专利权人：东北大学
申请日： 2018-04-23 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于多维视觉传感器的真空机械手防碰撞检测系统的检测方法，包括：真空机械手设备系统；x‑y轴高清监测摄像头，用于检测真空机械手x‑y轴水平面运动位置和姿态的变化；z轴高清监测摄像头，于所述真空机械手侧面垂直放置，用于检测真空机械手伸缩轴方向上的位置变化。本发明所述的基于多维视觉传感器的真空机械手防碰撞检测系统的检测方法，通过建立视觉系统并向控制系统实时反馈真空机械手的位置、速度、加速度等信息，当真空机械手的位置状态异常出现在安全警戒区域时，视觉系统向控制系统发送异常警示信号，使控制系统能够及时控制停止当前机械手的运作，从而保证设备系统的安全，尽可能避免相应的潜在损失。
基于多维视觉传感器真空机械手碰撞检测系统方法

[发明专利]智能传送腔取放片调度系统与方法-CN202310940081.2在审
发明人：孙昊强;史常龙;徐家庆;唐丽娜 -专利权人：大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能传送腔取放片调度系统与方法，其系统包括多个Loadlock、第一真空机械臂、第二真空机械臂、Transfer存储平台、大气机械臂，所述大气机械臂一侧为多个晶圆盒，另一侧两端设有交互位置，每个交互位置上罗列有多个独立设置的Loadlock，在交互位置之间设有第一真空机械臂，所述第一真空机械臂与第二真空机械臂之间为Transfer存储平台，在第二真空机械臂外周设有多个工艺腔。多个独立的LoadLock不区分出入腔，每个LoadLock都有出入的可能性，大气机械臂、第一真空机械臂、第二真空机械臂每次可以做一套取片、放片动作；并且三个机械臂独立同时运行，互不影响，有一个良好的循环减少等待的情况发生
智能传送腔取放片调度系统方法

[实用新型]机械手机构及配药装置-CN201821236674.1有效
发明人：王志宏 -专利权人：河北盛世天昕电子科技有限公司
申请日： 2018-08-01 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本实用新型提供的机械手机构及配药装置，涉及配药机技术领域。该机械手机构包括安装架、真空机械手和真空电机；所述真空机械手能够升降地设置在所述安装架上，且与所述真空电机连接；所述真空机械手底部设置有吸盘，所述安装架上设置有用于检测所述真空机械手的传感器，所述传感器通过控制器控制所述真空电机转动或停止本实用新型提供的机械手机构通过传感器检测到真空机械手的位置，控制真空电机，从而缓解吸盘不能良好释放的问题，便于需要吸附的物体释放，具有使用方便和配药准确的优点。
真空机械手机械手机构真空电机安装架吸盘本实用新型配药装置传感器传感器检测控制器控制释放配药机配药吸附转动升降缓解检测

[发明专利]一种带真空机械臂的磁控溅射光学镀膜设备及镀膜方法-CN201810158684.6有效
发明人：孙宝玉;陈晓东;杨威力;段永利 -专利权人：沈阳中北真空技术有限公司
申请日： 2018-02-26 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种带真空机械臂的磁控溅射光学镀膜设备和镀膜方法，该设备包括真空镀膜室、真空机械臂室、磁控溅射靶组件、立式旋转鼓，在真空镀膜室侧壁上设置有与真空机械臂室连接的接口。多组磁控溅射靶设置在立式旋转鼓外围的真空镀膜室侧壁上。真空机械臂室内设置有真空机械臂，在真空状态下水平和竖直移动。镀膜方法包括对镀膜设备抽真空，转动立式旋转鼓达到设定的转速，启动射频离子源，按工艺要求交替镀制两种材料的膜层，还包括采用真空机械臂将装有基片的基板装卡到立式旋转鼓上以及将镀膜后的基板从立式旋转鼓上取下。
真空机械立式旋转镀膜真空镀膜室光学镀膜设备磁控溅射靶磁控溅射侧壁射频离子源垂直轴线镀膜设备工艺要求竖直移动真空状态中心设置抽真空基板装密封箱镀制基板膜层取下转动下水室内外围

[实用新型]一种真空机械手-CN201621325423.1有效
发明人：马哲国;徐升东 -专利权人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司
申请日： 2016-12-06 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：提供一种真空机械手，设置于真空设备进片腔或出片腔内，所述真空设备的反应腔内沿竖直方向堆叠多个子反应腔，所述进片腔或者出片腔相对的两端具有开合装置，所述真空机械手包括一对支架、固定设置于所述支架之间的多层横梁、固定设置于所述横梁上的若干真空机械臂、以及位于所述真空机械臂和横梁之间的垫块，所述横梁的层数与所述子反应腔的个数相对应，所述横梁的位置与所述子反应腔的位置相对应，所述同一层横梁上的任意相邻的两个真空机械臂之间的距离大于与之配合使用的大气机械手的大气机械臂的宽度该真空机械手能够一次性传输多片基板，提高设备产能。
一种真空机械手

[实用新型]一种真空吸附边皮抓取机构-CN202223421129.9有效
发明人：李正磊;刘秀坤;李斌全;唐学千;焦成军 -专利权人：大连连城数控机器股份有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空吸附边皮抓取机构，包括开合机构和两个真空机械手。开合机构和两个相对设置的真空机械手连接，用于驱动两个真空机械手沿水平方向张开或闭合。每个真空机械手均包括机械臂、伸缩臂和升降机构。升降机构连接机械臂和伸缩臂，升降机构用于驱动伸缩臂沿竖直方向移动。两个伸缩臂的相对侧壁均设置至少一个真空吸盘，真空吸盘能够与边皮之间形成负压环境以吸附于边皮。其有益效果是，通过真空吸盘吸附于边皮，由于真空吸盘采用负压吸附的原理吸附于边皮上，即使粘附硅泥等杂质也不影响真空吸盘的使用。同时，通过真空吸盘吸附于边皮的周向侧壁，也能避免边皮上的硅泥等杂质粘附于真空机械手上，影响真空机械手的正常使用。
一种真空吸附抓取机构

[实用新型]一种可靠性高的加热盘与真空机械手定位装置-CN202122841388.6有效
发明人：潘明元 -专利权人：成都华聚科技有限公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： B25J19/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种可靠性高的加热盘与真空机械手定位装置，属于半导体加工技术领域。该可靠性高的加热盘与真空机械手定位装置，包括加热盘本体、定位机构和真空机械手主体，所述加热盘本体外沿阵列安装有若干个L型卡板，所述定位机构包括定位块、连接支架、卡接头、螺纹管、螺杆和定位销，所述真空机械手主体包括机械手本体，通过三块L型卡板将加热盘本体与真空腔室的对中，将整个定位机构放置在加热盘本体上，通过连接滑杆、螺纹管与螺杆的配合使用，确保卡接头能够紧密卡接在加热盘本体的外沿上，通过定位销实现真空机械手主体与加热盘本体的定位，提升了真空机械手主体与加热盘本体定位的可靠性。
一种可靠性加热真空机械手定位装置

[发明专利]一种真空机械手-CN200910266114.X无效
发明人：卜俊鹏 -专利权人：卜俊鹏
申请日： 2009-12-30 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： B25J9/08 文献下载
摘要：一种真空机械手由真空腔体，变形盘及指状夹持杆组成，变形盘密封地固定在真空腔端面；夹持杆固定地安装在变形盘边缘。当抽真空时，变形盘在大气压作用下产生向内变形，这使固连在变形盘边缘上的指状夹持杆也向中心倾斜，使指状夹持杆端头凹槽或环形浅槽间的距离变小，从而实现对基片边缘的夹持；断开真空指状夹持杆端头间的距离变大，真空机械手释放基片由于夹持与释放基片，真空机械手都不与基片表面接触，因而不会对基片表面造成沾污；且本发明的真空机械手结构简洁，夹持可靠，控制、使用方便，因而本发明的真空机械手非常适合半导体自动生产线应用。
一种真空机械手

[实用新型]一种罗茨泵和真空机械泵的减震机构-CN201620195280.0有效
发明人：武志强 -专利权人：镭神东方激光技术（北京）有限公司
申请日： 2016-03-15 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： H01S3/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种罗茨泵和真空机械泵的减震机构，包括充气垫铁和气垫支撑板，罗茨泵和真空机械泵均固定在气垫支撑板上，罗茨泵的底部和真空机械泵的底部均安装有橡胶减震垫，橡胶减震垫位于罗茨泵底部及真空机械泵底部与气垫支撑板上表面之间；所述充气垫铁共多个，且均设置在气垫支撑板下侧，充气垫铁的底端固定连接激光器框架，顶端固定连接气垫支撑板；该罗茨泵和真空机械泵的减震机构，将激光器内的振动源与激光器框架分离，减震效果明显，且通过二级减震消除罗茨泵和真空机械泵的绝大部分振动
一种罗茨泵真空机械减震机构

[发明专利]一种真空机械臂螺纹孔的排污结构及其加工方法-CN202211715791.7在审
发明人：何俊;祝伟生;邓礼广;廖子剑 -专利权人：浙江先导精密机械有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B23D79/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空机械臂螺纹孔的排污结构，包括机械臂本体，所述机械臂本体上设置有螺纹孔，所述螺纹孔侧部设置有排污槽，所述螺纹孔通过排污槽连通外界。通过在螺纹孔侧部设置排污槽，确保真空机械臂加工完成后藏匿在死角的杂质能够全部排出，避免残留而影响真空机械臂工作。
一种真空机械螺纹排污结构及其加工方法

[发明专利]一种真空机械手及基板转运装置-CN201710470928.X有效
发明人：杜建华;王鑫 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-06-20 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： B25J15/08 文献下载
摘要：本发明公开一种真空机械手及基板转运装置，涉及装载技术领域，以减少基板在转移面的位置发生移动，甚至出现掉落的问题。所述真空机械手包括安装架体、机械手指和角度调节机构，安装架体上设有容纳机械手指的安装槽，机械手指的一端作为铰接端铰接在安装槽内，机械手指上设有与机械手指的转移面位于同一面的挡板，挡板位于机械手指的转移面与机械手指的铰接端之间，角度调节机构用于调节机械手指的转移面所在平面与安装槽的槽底所在平面的夹角。所述基板转运装置包括上述技术方案所提的真空机械手。本发明提供的真空机械手用于基板转运中。
一种真空机械手转运装置

[实用新型]一种真空上料机用过滤装置-CN202123329917.0有效
发明人：丁建民 -专利权人：江苏乐能电池股份有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B65G65/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空上料机用过滤装置，具体涉及真空上料加工技术领域，一种真空上料机用过滤装置，包括上料真空机过滤装置腔体，上料真空机过滤装置腔体内部顶端设置有过滤装置本体，上料真空机过滤装置腔体底部焊接有原材料盛放板，上料真空机过滤装置腔体底端电性连接有机械转轴，机械转轴内侧焊接有连接板，连接板顶端焊接有嵌合板，嵌合板插嵌在原材料盛放板底部，嵌合板内设置有气垫，通过机械转轴、连接板、嵌合板、挡板、气垫、缓冲槽、移动柱、第一弹簧、滑柱、辅助柱、缓冲柱、第二弹簧和缓冲球的相互配合，从而提高震动效率保障挡板表面残留吸附的原材料能够落入上料真空机过滤装置腔体下方。
一种真空上料机用过滤装置

[实用新型]一种加热盘与真空机械手定位装置-CN201120427856.9有效
发明人：李忠然;凌复华;刘忆军 -专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
申请日： 2011-11-02 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种加热盘与真空机械手定位装置。采用的技术方案是：包括加热盘和真空机械手，加热盘的外沿与加热盘定位块连接，加热盘中心校准工具置于加热盘上，加热盘中心校准工具末端的内弧面与加热盘的外沿连接，加热盘中心校准工具的中心处设有定位销，真空机械手通过定位销与加热盘固定本实用新型结构简单，精确度高，可靠性高，能够精确定位加热盘在腔体里的中心的位置和真空机械手相对于加热盘的位置。
一种加热真空机械手定位装置

[实用新型]自动茶叶真空机-CN201020128986.8无效
发明人：庄梅兰 -专利权人：庄梅兰
申请日： 2010-03-04 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： B65B31/04 文献下载
摘要：一种自动茶叶真空机，其机械部件由真空腔、座台、电热压条、步进电机、稳压器、控制器、设定台、真空机、密封圈、压盖、拉杆组成。其特征是：一种自动茶叶真空机，其机械部件由真空腔、座台、电热压条、步进电机、稳压器、控制器、设定台、真空机、密封圈、压盖、拉杆组成，其特征是：控制器的第三线路与步进电机连接，控制器与稳压器连接，控制器的第一线路与真空机连接所述自动茶叶真空机具有解决成品茶叶真空包装过程中压盖的自动开启与关闭功能。
自动茶叶真空机

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