专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]智能传送腔取放片调度系统与方法-CN202310940081.2在审
  • 孙昊强;史常龙;徐家庆;唐丽娜 - 大连皓宇电子科技有限公司
  • 2023-07-28 - 2023-10-24 - H01L21/677
  • 本发明公开了一种智能传送腔取放片调度系统与方法,其系统包括多个Loadlock、第一真空机械臂、第二真空机械臂、Transfer存储平台、大气机械臂,所述大气机械臂一侧为多个晶圆盒,另一侧两端设有交互位置,每个交互位置上罗列有多个独立设置的Loadlock,在交互位置之间设有第一真空机械臂,所述第一真空机械臂与第二真空机械臂之间为Transfer存储平台,在第二真空机械臂外周设有多个工艺腔。每个Loadlock设有对应顺序编号,所述Loadlock为上下双层结构。多个独立的LoadLock不区分出入腔,每个LoadLock都有出入的可能性,大气机械臂、第一真空机械臂、第二真空机械臂每次可以做一套取片、放片动作;并且三个机械臂独立同时运行,互不影响,有一个良好的循环减少等待的情况发生,避免资源浪费。
  • 智能传送腔取放片调度系统方法
  • [实用新型]一种空调铜管固定件-CN202320598424.7有效
  • 徐家庆;姚玉英 - 常州市加豪制冷设备有限公司
  • 2023-03-24 - 2023-10-20 - F24F1/32
  • 本实用新型公开了一种空调铜管固定件,包括固定座,所述固定座的一侧壁上安装有承载板,所述承载板内开设有滑腔,所述滑腔内设置有滑块,所述滑块有两个,所述滑块的上端均安装有连接座,所述连接座的上端设置有载座,所述载座的上端安装有卡环,所述卡环的下端固定有转动座。有益效果在于:本实用新型通过固定座、承载板、滑腔、滑块、载座、卡环、转动座、转动腔、限位栓以及阻滑垫的设计,能够使铜管固定件采用活动可调节的结构,使空调铜管在安装于具有斜面墙壁上时,其承载铜管的固定件可以进行灵活的调节使用,从而无需对铜管进行折弯等处理措施,不仅节约了管道接头的使用,并且提高了铜管固定件的使用灵活性。
  • 一种空调铜管固定
  • [实用新型]用于空调制冷的防腐铜管-CN202320602301.6有效
  • 徐家庆 - 青岛佳豪制冷设备有限公司
  • 2023-03-24 - 2023-10-17 - F16L9/02
  • 本实用新型公开了用于空调制冷的防腐铜管,涉及空调制冷铜管领域,包括套管,所述套管的内壁滑动连接有两组一号密封圈。本实用新型,使得在将防腐铜管与空调外机上接头进行连接时,可以更加方便快捷地进行连接,提高了空调安装的速度,并且传统的安装方式需要将防腐铜管扩张成喇叭状然后用螺母拧紧,相较于传统的连接方式避免了再扩张防腐铜管的步骤,防止防腐铜管因为扩张导致损坏,使得在将防腐铜管与空调外机上接头进行连接时,可以更加方便快捷地进行连接,提高了空调安装的速度,并且传统的安装方式需要将防腐铜管扩张成喇叭状然后用螺母拧紧,相较于传统的连接方式避免了再扩张防腐铜管的步骤,防止防腐铜管因为扩张导致损坏。
  • 用于空调制冷防腐铜管
  • [发明专利]一种对晶圆位置进行校准的装置及方法-CN202310886387.4在审
  • 杜永超;史常龙;徐家庆;唐丽娜 - 大连皓宇电子科技有限公司
  • 2023-07-19 - 2023-10-10 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种对晶圆位置进行校准的装置及方法,涉及半导体制造技术领域;其装置包括设置在PM工艺腔体入口处的第一对对射传感器,所述第一对对射传感器包括位于PM工艺腔体顶部的上对射传感器和位于PM工艺腔体底部的下对射传感器,所述上对射传感器与下对射传感器对称设置,通过VTM机械手传进PM工艺腔体的晶圆从上对射传感器与下对射传感器之间穿过。所述对射传感器用于获取基准数据和实际数据,通过对比基准数据与实际数据得到横向误差和纵向误差,进而通过VTM机械手进行补偿。本发明只需利用对射传感器和设备本身的VTM机械手进行定位矫正,引入的外部误差对精度影响极小,计算误差由于耗费算力极低且兼容性好可以布置在PLC等现成硬件中。
  • 一种位置进行校准装置方法
  • [实用新型]半导体工艺腔室用的旋转密封台-CN202320992400.X有效
  • 包驷璋;徐家庆;唐丽娜 - 大连皓宇电子科技有限公司
  • 2023-04-27 - 2023-09-29 - H01L21/677
  • 本实用新型公开了半导体工艺腔室用的旋转密封台,包括:密封组件、旋转机构和Z向升降机构,所述密封组件包括用于实现Z向密封的波纹管组件和用于实现旋转密封的磁流体真空密封空心轴,所述磁流体真空密封空心轴套接在主轴上且位于波纹管组件与主轴之间,所述主轴下部与旋转机构连接,该旋转机构包括用于获取旋转量的测量部件,所述密封组件、旋转机构均与Z向升降机构相连,该Z向升降机构包括用于获取升降量的测量部件。本申请采用波纹管组件进行Z向密封及磁流体进行旋转真空密封的组合形式,其密封性极好,不会出现腔室泄漏现象,且能够获知旋转量和升降量。
  • 半导体工艺腔室用旋转密封
  • [发明专利]电动船舶智能机舱管理系统、方法和计算机存储介质-CN202310580303.4在审
  • 柯赟;徐家庆;宋恩哲;姚崇 - 烟台哈尔滨工程大学研究院
  • 2023-05-19 - 2023-09-22 - B63B79/00
  • 本发明涉及船舶技术领域,提供了一种电动船舶智能机舱管理系统、方法和介质,包括:数据库,存储有与机舱待监测设备的运行状态对应的故障数据;硬件采集单元,适于对机舱待监测设备的运行状态进行数据采集,得到运行状态数据信号并发送;智能管理单元,与硬件采集单元和数据库分别通讯连接,智能管理单元适于接收硬件采集单元发送的运行状态数据信号并对运行状态数据信号进行分析处理,得到数据处理结果,智能管理单元调用数据库的故障数据并与数据处理结果进行比较,得到故障诊断结果,智能管理单元根据故障诊断结果输出对应的维修建议。该系统无需采用人工经验的维修方案,提高了对电动船舶机舱的智能管理水平,提高了船舶运行的安全性。
  • 电动船舶智能机舱管理系统方法计算机存储介质
  • [实用新型]一种用于空调制冷系统的节流装置-CN202320831653.9有效
  • 徐家庆 - 常州市加豪制冷设备有限公司
  • 2023-04-14 - 2023-09-19 - F16K27/00
  • 本实用新型公开了一种用于空调制冷系统的节流装置,涉及空调制冷技术领域,包括节流阀本体,所述节流阀本体一端设有安装机构,所述安装机构上方设有限位机构,所述安装机构下方设有警报机构。本实用新型通过将左安装环与右安装环进行对接,顶块将辅助块顶入环形槽内部,同时二号胶条与一号胶条进行卡合,达到密封的效果,卡合环内部的圆头杆与限位孔对齐,随后滑动固定环,将二号正极磁石对准一号正极磁石,通过相斥将圆头杆挤压进入限位孔进行卡合固定,在通过限位机构固定固定环顶端的限位槽进行固定,反之将固定环移开的同时,一号弹簧会带动圆头杆进行复位,达到便于安装拆卸的目的。
  • 一种用于空调制冷系统节流装置
  • [实用新型]一种用于空调制冷密封性好的铜管-CN202320831381.2有效
  • 徐家庆 - 常州市加豪制冷设备有限公司
  • 2023-04-14 - 2023-09-19 - F16L37/244
  • 本实用新型公开了一种用于空调制冷密封性好的铜管,涉及空调管件技术领域,一种用于空调制冷密封性好的铜管,包括制冷管本体,所述制冷管本体的一端活动连接有凸台,所述凸台的一端活动连接有连接管,所述凸台位于制冷管本体和连接管中间,所述连接管的表面开设有固定槽,所述固定槽的左侧开设有气囊槽,所述气囊槽内部设置有气囊,所述连接管包括有气管,所述气管与气囊固定连接。本实用新型通过固定杆连接制冷管本体和连接管,通过旋转凸台,挤压扭簧,将滑块卡入固定槽,卡接制冷管本体和连接管,方法简单,操作便捷,凸台与连接管卡接的同时,滑块抵压推杆,从而带动活塞移动,向气囊输送气体,使气囊膨胀,密封铜管,提高空调的制冷效果。
  • 一种用于空调制冷密封性铜管
  • [实用新型]一种用于空调内外机的包漆铜管-CN202320752942.X有效
  • 徐家庆 - 常州市加豪制冷设备有限公司
  • 2023-04-07 - 2023-09-15 - F16L37/32
  • 本实用新型公开了一种用于空调内外机的包漆铜管,涉及空调内外机包漆铜管技术领域,包括公头和母头,所述公头内部设置有第一安装板,所述第一安装板一侧设置有第一导向柱,所述母头内部固定安装有第二安装板,所述第二安装板一侧设置有第二导向柱,所述第二导向柱一侧设置有第二推块,所述第二推块一侧与第二挡板活动连接。本实用新型通过设置的公头和母头,将包漆铜管通过螺纹套设在公头内部,继而将公头移动到母头内部,同时第一推块与第二推块,相互挤压,使其第一推块和第二推块脱离第一挡板和第二挡板,继而通过钢球对公头进行限位,即可完成安装,便于人员进行操作,防止空调内外机空间狭小,影响工人的操作。
  • 一种用于空调内外铜管
  • [实用新型]半导体镀膜喷淋头平面调节装置-CN202320435315.3有效
  • 王正国;包驷璋;徐家庆;唐丽娜 - 大连皓宇电子科技有限公司
  • 2023-03-09 - 2023-09-08 - C23C16/455
  • 本实用新型公开了一种半导体镀膜喷淋头平面调节装置,喷头高度调节板穿过三个均布的带肩铰链销,并通过三组均布的丝杆弹簧组连接到喷头轴密封垫板上,喷头高度调节板上均布安装有三个带锁紧千分尺头,带锁紧千分尺头的测头顶在喷头轴密封垫板上,喷头轴密封垫板的上端密封固定有喷头陶瓷连接件,喷头轴密封垫板的下端密封固定有喷头陶瓷套。本实用新型采用带锁紧千分尺头调节上下运动,千分尺本身精度在0.5mm/50=0.01mm,提高了整体调节精准度,另外,千分尺头本身带有轴心锁,锁紧调节杆位置稳定快捷,进一步提高了效率。
  • 半导体镀膜喷淋平面调节装置
  • [实用新型]一种硅晶片镀膜装置上腔体提升机构-CN202320529237.3有效
  • 包驷璋;徐家庆;唐丽娜 - 大连皓宇电子科技有限公司
  • 2023-03-17 - 2023-09-05 - C23C16/511
  • 本实用新型公开了一种硅晶片镀膜装置上腔体提升机构,包括架体和提升装置;所述架体为中空框架结构,所述架体内设有上腔体和下腔体;所述提升装置包括动力装置、传动装置、丝杠和与所述丝杠配合的螺母;所述动力装置设于所述架体顶部,且通过所述传动装置与所述丝杠连接;所述上腔体上固定有提升柱,所述提升柱固定设有所述螺母,所述提升柱能够与所述丝杠沿轴向相对运动;所述架体设有滑轨,所述上腔体安装有与所述滑轨配合的滑块,所述滑轨与所述丝杠方向相同,在检维修工作中通过该装置辅助提升上腔体,提高了工作效率的同时保证了工作安全。
  • 一种晶片镀膜装置上腔体提升机构
  • [发明专利]一种用于半导体设备的主轴可定位升降旋转装置-CN202310650769.7在审
  • 邓超;徐家庆;唐丽娜 - 大连皓宇电子科技有限公司
  • 2023-06-02 - 2023-09-01 - H01J37/32
  • 本发明公开了一种用于半导体设备的主轴可定位升降旋转装置,其包括主轴、主轴连接件、法兰座、弹簧销定位组件、顶升块、丝杠、丝母、旋转体、气动旋转卡盘和电机;所述气动旋转卡盘包括卡爪部,所述卡爪部包括卡爪,所述卡爪之间形成夹持空间,所述丝杆的一端设于夹持空间内;所述顶升块设有所述丝母;所述顶升块与所述主轴连接件的一端固定连接,所述主轴连接件的另一端与所述主轴固定连接;所述旋转体设有第一孔洞,所述卡爪设于所述第一孔洞内;所述法兰座的下部设有定位结构;所述弹簧销定位组件包括定位销,定位销能够与所述定位结构卡合。本发明采用一个动力源驱动主轴的升降旋转定位动作,节约了设备的占用空间,降低了设备的制造成本。
  • 一种用于半导体设备主轴定位升降旋转装置
  • [实用新型]一种斗式提升机提升带保护结构-CN202320834592.1有效
  • 徐家庆;邱兵;邱兰珍 - 巢湖市鼎昌输送机械有限公司
  • 2023-04-14 - 2023-08-29 - B65G17/12
  • 本实用新型提供一种斗式提升机提升带保护结构,包括提升机本体、进料口、出料口、传送轮、提升机带、料斗、PLC、激光发生器和激光接收器,所述进料口和出料口分别固定连接在提升机本体的两侧壁,所述进料口位于出料口的左下方,两个所述传送轮均设置在提升机本体的内部,所述提升机带套设在两个传送轮的外表面,多个所述料斗均等距固定连接在提升机带的外表面。本实用新型中,由于转动盘上的其中一个固定杆位于提升机带上两个料斗之间,使得传送轮带动提升机带上的料斗运转时,料斗会与固定杆发生碰撞,而此时料斗口朝向下方,从而使得料斗与固定杆碰撞可以将料斗壁上残留的物料震落,避免料斗内残留有余料。
  • 一种提升保护结构
  • [实用新型]用于空调制冷的卡接式铜管组件-CN202320602678.1有效
  • 徐家庆 - 青岛佳豪制冷设备有限公司
  • 2023-03-24 - 2023-08-29 - F16L9/02
  • 本实用新型公开了用于空调制冷的卡接式铜管组件,涉及铜管卡接领域,包括公头与母头,所述母头的内壁设有一号支架,所述一号支架的侧壁设有一号伸缩杆,所述一号伸缩杆的端部设有活动头,且一号活动头的外壁与母头的端部齐平,所述活动头的内壁设有一号弹簧,且一号弹簧的另一端连接于一号支架的侧壁。本实用新型通过活动头、固定头、活动环、限位块、限位槽以及挡块的相互配合,使得当公头与母头对插时,公头与母头可相互连通,液体可从内部通过,分离时活动头与活动环自动复位,防止液体流出,且在对插后滑动滑环后再转动滑环即可防止公头与母头分离,复位滑环后即可分离公头与母头,实现了快速拆卸与安装铜管的目的。
  • 用于空调制冷卡接式铜管组件

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