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[发明专利]智能传送腔取放片调度系统与方法-CN202310940081.2在审
发明人：孙昊强;史常龙;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能传送腔取放片调度系统与方法，其系统包括多个Loadlock、第一真空机械臂、第二真空机械臂、Transfer存储平台、大气机械臂，所述大气机械臂一侧为多个晶圆盒，另一侧两端设有交互位置，每个交互位置上罗列有多个独立设置的Loadlock，在交互位置之间设有第一真空机械臂，所述第一真空机械臂与第二真空机械臂之间为Transfer存储平台，在第二真空机械臂外周设有多个工艺腔。每个Loadlock设有对应顺序编号，所述Loadlock为上下双层结构。多个独立的LoadLock不区分出入腔，每个LoadLock都有出入的可能性，大气机械臂、第一真空机械臂、第二真空机械臂每次可以做一套取片、放片动作；并且三个机械臂独立同时运行，互不影响，有一个良好的循环减少等待的情况发生，避免资源浪费。
智能传送腔取放片调度系统方法

[发明专利]一种对晶圆位置进行校准的装置及方法-CN202310886387.4在审
发明人：杜永超;史常龙;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种对晶圆位置进行校准的装置及方法，涉及半导体制造技术领域；其装置包括设置在PM工艺腔体入口处的第一对对射传感器，所述第一对对射传感器包括位于PM工艺腔体顶部的上对射传感器和位于PM工艺腔体底部的下对射传感器，所述上对射传感器与下对射传感器对称设置，通过VTM机械手传进PM工艺腔体的晶圆从上对射传感器与下对射传感器之间穿过。所述对射传感器用于获取基准数据和实际数据，通过对比基准数据与实际数据得到横向误差和纵向误差，进而通过VTM机械手进行补偿。本发明只需利用对射传感器和设备本身的VTM机械手进行定位矫正，引入的外部误差对精度影响极小，计算误差由于耗费算力极低且兼容性好可以布置在PLC等现成硬件中。
一种位置进行校准装置方法

[发明专利]一种具有清洁能力的晶圆传输装置及多站式沉积腔的清洁方法-CN202311045264.4在审
发明人：刘广睿;徐家庆;唐丽娜;付佳明 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有清洁能力的晶圆传输装置及多站式沉积腔的清洁方法，其中一种具有清洁能力的晶圆传输装置，包括旋转装置和吹扫结构，旋转装置包括晶圆载具、主轴和升降旋转装置，晶圆载具固设于主轴的端部，晶圆载具用于承载多个晶圆，升降旋转装置能够驱动主轴做升降运动和旋转运动；在晶圆移出沉积腔后，晶圆载具带动吹扫结构同步旋转至设定的旋转角度，吹扫结构能够在设定的位置进行吹扫。本发明公开的一种具有清洁能力的晶圆传输装置及多站式沉积腔的清洁方法，通过旋转轴喷气产生气墙来减少腔室主轴下方的沉积，在清洁时能够控制晶圆传输装置旋转到恰当的角度，同时从喷气孔中喷出吹扫气体，使腔室内的颗粒物污染尽可能低。
一种具有清洁能力传输装置多站式沉积方法

[实用新型]半导体工艺腔室用的旋转密封台-CN202320992400.X有效
发明人：包驷璋;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了半导体工艺腔室用的旋转密封台，包括：密封组件、旋转机构和Z向升降机构，所述密封组件包括用于实现Z向密封的波纹管组件和用于实现旋转密封的磁流体真空密封空心轴，所述磁流体真空密封空心轴套接在主轴上且位于波纹管组件与主轴之间，所述主轴下部与旋转机构连接，该旋转机构包括用于获取旋转量的测量部件，所述密封组件、旋转机构均与Z向升降机构相连，该Z向升降机构包括用于获取升降量的测量部件。本申请采用波纹管组件进行Z向密封及磁流体进行旋转真空密封的组合形式，其密封性极好，不会出现腔室泄漏现象，且能够获知旋转量和升降量。
半导体工艺腔室用旋转密封

[实用新型]半导体镀膜喷淋头平面调节装置-CN202320435315.3有效
发明人：王正国;包驷璋;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体镀膜喷淋头平面调节装置，喷头高度调节板穿过三个均布的带肩铰链销，并通过三组均布的丝杆弹簧组连接到喷头轴密封垫板上，喷头高度调节板上均布安装有三个带锁紧千分尺头，带锁紧千分尺头的测头顶在喷头轴密封垫板上，喷头轴密封垫板的上端密封固定有喷头陶瓷连接件，喷头轴密封垫板的下端密封固定有喷头陶瓷套。本实用新型采用带锁紧千分尺头调节上下运动，千分尺本身精度在0.5mm/50＝0.01mm，提高了整体调节精准度，另外，千分尺头本身带有轴心锁，锁紧调节杆位置稳定快捷，进一步提高了效率。
半导体镀膜喷淋平面调节装置

[实用新型]一种硅晶片镀膜装置上腔体提升机构-CN202320529237.3有效
发明人：包驷璋;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C16/511 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅晶片镀膜装置上腔体提升机构，包括架体和提升装置；所述架体为中空框架结构，所述架体内设有上腔体和下腔体；所述提升装置包括动力装置、传动装置、丝杠和与所述丝杠配合的螺母；所述动力装置设于所述架体顶部，且通过所述传动装置与所述丝杠连接；所述上腔体上固定有提升柱，所述提升柱固定设有所述螺母，所述提升柱能够与所述丝杠沿轴向相对运动；所述架体设有滑轨，所述上腔体安装有与所述滑轨配合的滑块，所述滑轨与所述丝杠方向相同，在检维修工作中通过该装置辅助提升上腔体，提高了工作效率的同时保证了工作安全。
一种晶片镀膜装置上腔体提升机构

[发明专利]一种用于半导体设备的主轴可定位升降旋转装置-CN202310650769.7在审
发明人：邓超;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于半导体设备的主轴可定位升降旋转装置，其包括主轴、主轴连接件、法兰座、弹簧销定位组件、顶升块、丝杠、丝母、旋转体、气动旋转卡盘和电机；所述气动旋转卡盘包括卡爪部，所述卡爪部包括卡爪，所述卡爪之间形成夹持空间，所述丝杆的一端设于夹持空间内；所述顶升块设有所述丝母；所述顶升块与所述主轴连接件的一端固定连接，所述主轴连接件的另一端与所述主轴固定连接；所述旋转体设有第一孔洞，所述卡爪设于所述第一孔洞内；所述法兰座的下部设有定位结构；所述弹簧销定位组件包括定位销，定位销能够与所述定位结构卡合。本发明采用一个动力源驱动主轴的升降旋转定位动作，节约了设备的占用空间，降低了设备的制造成本。
一种用于半导体设备主轴定位升降旋转装置

[实用新型]一种半导体晶圆的承载托盘-CN202320603642.5有效
发明人：邓超;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体晶圆的承载托盘，属于半导体技术领域。包括托盘本体边缘均布若干个晶圆槽和让位口，晶圆槽与让位口连通，晶圆槽内侧设有若干个与转台定位柱配合的定位孔，所述的托盘本体中心还设有通孔。该托盘结构简单，操作方便，该托盘边缘均布若干个晶圆槽和让位口，由于让位口是开口状态，机械手执行动作时只需找准定位落下后撤回即可，无需在托盘下方加设顶升装置，减少相应的顶升机械结构，从而减少故障率及设备成本，提高了传送效率。该托盘结构简单，易于制造，方便拿取。
一种半导体承载托盘

[发明专利]一种用于半导体设备的搬运架-CN202310681912.9在审
发明人：付佳明;包驷璋;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于半导体设备的搬运架，属于沉积覆膜设备技术领域。包括架体，架体上还设有若干优弧，优弧上固定有锁紧机构，锁紧机构另一端固定在用于承托晶圆的承载环上。承载环分为内圈和外圈，内圈低于外圈，内圈上设有突出于内圈表面的用于支撑晶圆的支撑件；外圈上设有用于凸鞘部插入的凸鞘孔。通过承载环与搬运架架体之间增设锁紧机构，保证了搬运架在加速或者减速过程中晶圆位置的稳定性，以满足沉积的质量及均匀性，保证产品质量；通过在承载环上设有支撑件，降低了晶圆与承载环的接触面积，保障晶圆的品质。
一种用于半导体设备搬运

[实用新型]一种电源快接插头-CN202320389871.1有效
发明人：梁玉涛;徐家庆 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01R13/639 文献下载
摘要：本实用新型涉及插头技术领域，且公开了一种电源快接插头，包括下壳体、插片、上壳体，所述下壳体的内侧固定安装有固定台，所述固定台的上端开设有两个对称的U形槽，所述固定台U形槽内固定安装有贴合的弧形铜块，所述弧形铜块和上壳体固定连接，所述固定台的上方设置有凹形盖板，所述凹形盖板的下端固定安装有两个U形柱，所述U形柱和弧形铜块相互贴合，所述凹形盖板凹槽内侧活动安装有转轴，本实用新型通过设有固定台、凹形盖板、U形柱、螺丝、弧形铜块，通过将导线放置在弧形铜块内部，实现导线和弧形铜块的快速连通，并通过下压的U形柱和弧形铜块之间的挤压将导线的位置固定，从而实现插头的快速接线。
一种电源插头

[实用新型]半导体镀膜喷淋头精便平面调节器-CN202320435318.7有效
发明人：王正国;包驷璋;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体镀膜喷淋头精便平面调节器，调节盘上均布有三个带锁紧千分尺头，带锁紧千分尺头的底部与连接轴连接，连接轴压接到深沟球轴承上，深沟球轴承安装在陶瓷垫环内，陶瓷垫环的底部安装有带螺纹连杆，带螺纹连杆上套装有密封单元，密封单元安装在调整杆陶瓷套上。本实用新型将调节部分放在腔体外面，隔绝了腔体内部高温影响，提高了调节效率；采用带锁紧千分尺头直连上下运动，提高了整体调节精准度，另外千分尺头本身带有轴心锁，锁紧调节杆位置稳定快捷，进一步提高了效率；调节器和上腔体之间采用了绝缘件隔绝装配，避免了设备开启过程腔体放电，而且陶瓷件的精度稳定性都很好，提高了设备本身的稳定性。
半导体镀膜喷淋头精便平面调节器

[发明专利]工艺腔室内多工位硅片搬运机构-CN202310470022.3在审
发明人：包驷璋;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了工艺腔室内多工位硅片搬运机构，包括主轴，顶部设有晶圆传输托盘；密封组件，套接在主轴上部，实现Z向密封和旋转密封；旋转机构，与主轴下部连接，实现主轴旋转运动；Z向升降机构，与旋转机构连接，实现主轴升降运动。所述密封组件包括用于实现Z向密封的波纹管组件和用于实现旋转密封的磁流体真空密封空心轴，所述磁流体真空密封空心轴位于波纹管组件与主轴之间，在波纹管组件与磁流体真空密封空心轴端部设有磁流体防护盖。本申请通过旋转机构和Z向升降机构集成实现适用于多工位的往复旋转及升降运动，整体紧凑合理，并采用波纹管组件进行Z向密封及磁流体进行旋转真空密封的组合形式，其密封性极好，不会出现腔室泄漏现象。
工艺室内多工位硅片搬运机构

[发明专利]一种化学气相沉积设备用的多工位硅片搬运装置-CN202310470024.2在审
发明人：包驷璋;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学气相沉积设备用的多工位硅片搬运装置，包括：密封组件，套接在主轴上部，实现Z向密封和旋转密封；旋转机构，与主轴下部连接，用于获取旋转量实现主轴旋转运动；Z向升降机构，分别与密封组件、旋转机构连接，实现主轴升降运动；该Z向升降机构包括用于获取升降量的测量部件。所述旋转机构包括位于搬运壳体下部的DD马达、圆光栅、读数头，所述Z向升降机构，包括音圈电机、Z向滑块主体、滑块和导轨，所述测量部件包括直线光栅尺和Z向读数头。本装置结构紧凑，采用垂直驱动方式，重心与动力在同一条垂直线上，能够保证往复旋转和升降移动的稳定性，且能够获知旋转量和升降量。
一种化学沉积备用多工位硅片搬运装置

[发明专利]一种晶圆托盘-CN202310297702.X在审
发明人：邓超;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆托盘，属于半导体技术领域。包括托盘本体边缘均布若干个晶圆槽和让位口，晶圆槽与让位口连通，晶圆槽内侧设有若干个与转台定位柱配合的定位孔。该托盘结构简单，操作方便，该托盘边缘均布若干个晶圆槽和让位口，由于让位口是开口状态，机械手执行动作时只需找准定位落下后撤回即可，无需在托盘下方加设顶升装置，减少相应的顶升机械结构，从而减少故障率及设备成本，提高了传送效率。本发明结构简单，易于制造，方便拿取。
一种托盘

[发明专利]用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器-CN202310222498.5在审
发明人：王正国;包驷璋;徐家庆;唐丽娜 -专利权人： 大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器，调节盘上均布有三个带锁紧千分尺头，带锁紧千分尺头的底部与连接轴连接，连接轴压接到深沟球轴承上，深沟球轴承安装在陶瓷垫环内，陶瓷垫环的底部安装有带螺纹连杆，带螺纹连杆上套装有密封单元，密封单元安装在调整杆陶瓷套上。本发明将调节部分放在腔体外面，隔绝了腔体内部高温影响，提高了调节效率；采用带锁紧千分尺头直连上下运动，提高了整体调节精准度，另外千分尺头本身带有轴心锁，锁紧调节杆位置稳定快捷，进一步提高了效率；调节器和上腔体之间采用了绝缘件隔绝装配，避免了设备开启过程腔体放电，而且陶瓷件的精度稳定性都很好，提高了设备本身的稳定性。
用于半导体镀膜喷淋平面性便携精微位置调节器

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