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- [发明专利]在玻璃或金属基片上沉积铜铟镓硒吸收层的设备和方法-CN201210228953.4无效
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甘国工
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甘国工
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2012-07-04
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2014-01-22
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C23C14/22
- 本发明在玻璃或金属基片上沉积铜铟镓硒吸收层的设备,包括至少一组铜铟镓磁控溅射沉积系统、硒化系统,设备中至少有一套硒蒸发沉积装置,硒蒸发沉积装置中有贯通微孔和/或微缝对气体具渗透性的空心管状加热器、和与空心管状加热器同轴安装的管状加温保温隔热外罩,单质硒置于空心管状加热器内加热、产生的硒蒸气渗过空心管状加热器、在管状加温保温隔热外罩的约束下。从管状加温保温隔热外罩的条形开口喷出,并向邻近的基片沉积,改变管状加温保温隔热外罩的条形开口的安装方向,可实现硒蒸气的任意方向喷出和沉积。本发明还提供了大面积沉积铜铟镓硒吸收层的连续式生产的方法。本发明克服了多元共蒸法、硒化法固有的缺点。
- 玻璃金属基片上沉积铜铟镓硒吸收设备方法
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