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- [发明专利]制造半导体器件的方法-CN201710968649.6有效
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卢侑炫
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爱思开海力士有限公司
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2017-10-18
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2022-01-07
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H01L27/11556
- 该方法可包括以下步骤:形成第一堆叠,在第一堆叠中依次限定第一焊盘区域、第二焊盘区域和第一虚拟区域;在第一堆叠上形成第二堆叠;通过对第二堆叠进行构图来形成第一焊盘结构和第一基准图案,第一焊盘结构设置在第一堆叠的第一焊盘区域上并具有阶梯形状,第一基准图案设置在第一堆叠的第一虚拟区域上;在第一堆叠上形成第一焊盘掩模图案,第一焊盘掩模图案覆盖第一焊盘区域和第二焊盘区域,并且通过测量从第一基准图案到第一焊盘掩模图案的距离使第一焊盘掩模图案对齐;以及在使第一焊盘掩模图案缩小的同时,通过对第一堆叠的第二焊盘区域进行构图来形成具有阶梯形状的第二焊盘结构。
- 制造半导体器件方法
- [发明专利]焊盘结构和电子器件-CN202211625257.7有效
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吕慧瑜;罗杰馨;柴展
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上海功成半导体科技有限公司
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2022-12-16
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2023-10-27
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H01L23/498
- 本申请的实施例提出了一种焊盘结构和电子器件。焊盘结构包括衬底、第一绝缘膜层、BPSG绝缘膜、阻隔层、金属电极和打线,第一绝缘膜层设置衬底的一侧;BPSG绝缘膜设置在第一绝缘膜层远离衬底的一侧,BPSG绝缘膜上形成有槽结构,槽结构贯穿BPSG绝缘膜;一部分阻隔层设置在BPSG绝缘膜远离衬底的一侧,另外一部分阻隔层设置在槽结构内并与第一绝缘膜层贴合;金属电极设置在阻隔层远离衬底的一侧,打线设置在金属电极远离衬底的一侧。根据本申请实施例中的焊盘结构,其在BPSG绝缘膜上形成多个槽结构,如此,能够减少BPSG绝缘膜与阻隔层的接触面积,并以此减少金属电极从第一绝缘膜层剥离的风险,提高焊盘结构的可靠性。
- 盘结电子器件
- [发明专利]显示面板-CN202111159119.X有效
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刘佳擎;赵柯;韦冬;李庆;于波
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苏州芯聚半导体有限公司
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2021-09-30
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2023-06-16
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H01L33/54
- 本发明提供一种显示面板,包括:驱动基板;位于所述驱动基板一侧的多个六边形发光二极管芯片,所述多个六边形发光二极管芯片阵列排列成蜂巢结构,每一六边形发光二极管芯片包括第一电极和第二电极;位于所述驱动基板一侧的多个焊盘结构,所述焊盘结构包括第一焊盘和第二焊盘,每一第一焊盘和对应的第一电极连接,每一第二焊盘和对应的第二电极连接;以及层叠于所述多个焊盘结构一侧走线结构,所述走线结构包括电性隔离的第一导电图案和第二导电图案,所述多个第一焊盘分别连接所述第一导电图案,所述多个第二焊盘分别连接所述第二导电图案;每个六边形发光二极管芯片在所述驱动基板上的投影覆盖对应的所述第一导电图案和对应的所述第二导电图案。
- 显示面板
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