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[发明专利]湿法刻蚀方法-CN201910689404.9在审
发明人：符德荣;林凤雏;高郁聪 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种湿法刻蚀方法，包括如下步骤：提供待处理基底，对待处理基底进行预热处理；使用湿法刻蚀溶液对预热处理后的待处理基底进行湿法刻蚀，湿法刻蚀溶液的温度大于待处理基底预热处理前的温度。本发明通过对待处理基底进行预热处理后再使用湿法刻蚀溶液对待处理基底进行湿法刻蚀，预热处理可以减小待处理基底与湿法刻蚀溶液之间的温差，甚至可以使得待处理基底的温度与湿法刻蚀溶液的温度相同，可以确保在湿法刻蚀过程中待处理基底表面的温度均匀分布，从而使得待处理基底表面不同区域具有相同的刻蚀速率；由于在湿法刻蚀之初所述待处理基底的温度已经与湿法刻蚀溶液的温度相近或相同，可以缩短湿法刻蚀的时间，提高湿法刻蚀的效率。
湿法刻蚀方法

[发明专利]智能可定制湿法处理系统-CN201980000227.7有效
发明人：吴功莲;杨永刚;吕相林;徐融;夏余平;刘开源;李君;张珍珍;白靖宇 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了用于进行一致的湿法处理的湿法处理系统和方法的实施例。本公开内容中描述的方法包括使用多个检测器测量晶圆的一个或多个晶圆特性，并基于测量的一个或多个晶圆特性确定晶圆的晶圆轮廓。该方法还包括基于晶圆轮廓为相应的第一晶圆区域和第二晶圆区域设置湿法处理系统的第一湿法处理参数集合和第二湿法处理参数集合，其中，至少一个湿法处理参数的值在第一湿法处理参数集合和第二湿法处理参数集合之间不同该方法还包括通过根据相应的第一湿法处理参数集合和第二湿法处理参数集合将一种或多种化学物质分配到第一晶圆区域和第二晶圆区域上来对晶圆执行湿法处理。
智能定制湿法处理系统

[发明专利]一种利用控制气体浓度的处理液湿法处理电子元件的方法-CN99803308.1无效
发明人：史蒂文·T·贝;凯文·R·杜尔;克里斯托夫·F·麦克康奈尔;史蒂文·维哈韦贝克 -专利权人： CFMT公司
申请日： 1999-02-23 - 公布日： 2001-04-18 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明涉及利用具有控制浓度(即量)气体的处理液湿法处理电子元件的方法。本发明提供用于湿法处理过程的至少两种处理液含不同浓度气体的湿法处理方法。任选地在湿法处理过程的一个或几个湿法处理步骤中使用声能,以加强效果。本发明的方法例如可以提高清洗效果,或降低湿法处理过程的颗粒污染。
一种利用控制气体浓度处理湿法电子元件方法

[发明专利]湿法黑硅硅片不良品的再处理工艺-CN201810355625.8在审
发明人：吉鑫;阮文娟;宫龙飞 -专利权人：苏州协鑫光伏科技有限公司
申请日： 2018-04-19 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种湿法黑硅硅片不良品的再处理工艺。包括以下步骤：判断湿法黑硅硅片不良品的绒面结构是否合格，若湿法黑硅硅片不良品的绒面结构合格，则采用步骤A；若湿法黑硅硅片不良品的绒面结构不合格，则采用步骤B；其中，步骤A包括如下步骤：将湿法黑硅硅片不良品依次经碱洗、纯水漂洗以及酸洗，以除去湿法黑硅硅片不良品表面的脏污，得到再处理之后的湿法黑硅硅片。其中，步骤B包括如下步骤：将湿法黑硅硅片不良品依次经碱抛光、金属沉积、金属诱导催化、金属祛除、扩孔、碱洗以及酸洗，得到再处理之后的湿法黑硅硅片。经过本发明的湿法黑硅硅片不良品的再处理工艺处理之后的湿法黑硅硅片减重较少，能够避免影响黑硅硅片后续使用。
硅片黑硅湿法不良品再处理绒面结构碱洗酸洗纯水漂洗工艺处理金属沉积金属诱导抛光减重扩孔脏污催化金属

[发明专利]一种用于湿法处理晶圆边缘的方法-CN201811125196.1有效
发明人：姚大平 -专利权人：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于湿法处理晶圆边缘的方法，包括：将晶圆放置在半导体装置的湿法处理腔体内；所述上部外罩向下移动并覆盖在下部外罩之上，上部密封圈和下部密封圈分别接触所述晶圆的上下两个表面，并形成密封，从而将晶圆边缘区域与中心区域隔离；向湿法处理腔体通入第一湿法处理流体；预定时间之后，切断第一湿法处理流体供应，并向湿法处理腔体通入惰性气体。
一种用于湿法处理边缘方法

[发明专利]湿法脱硫废水处理的方法及设备-CN201610694911.8有效
发明人：王稼帘 -专利权人：斯普瑞喷雾系统(上海)有限公司
申请日： 2016-08-19 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C02F1/04 文献下载
摘要：本发明涉及环境技术的废水处理领域，尤其涉及一种湿法脱硫废水处理的方法及设备。本发明提供一种湿法脱硫废水处理的方法，其特征在于，所述方法包括：将所述湿法脱硫废水加压至第一压力，所述第一压力大于烟道内的烟气压力；在所述第一压力下对所述湿法脱硫废水进行加热，以使得所述湿法脱硫废水的温度高于所述湿法脱硫废水在所述烟道内的烟气压力下的沸点；以及将经加热的所述湿法脱硫废水输送至烟道，以使得所述湿法脱硫废水蒸发。本发明还提供一种湿法脱硫废水处理的设备，与所述方法对应。本发明利用现有烟道系统，通过对湿法脱硫废水的加压、加热，使得湿法脱硫废水能够在烟道内完全蒸发，实现湿法脱硫废水的零排放。
湿法脱硫废水处理方法设备

[发明专利]一种湿法炼锌铁矾渣和污水处理污泥的资源化利用方法-CN201810280264.5有效
发明人：罗书亮;陈宏贵;吴旺顺;华绍广;李刚;钱晓峰;陈胜进;潘芝华 -专利权人：中钢集团马鞍山矿山研究院有限公司;安徽铜冠有色金属（池州）有限责任公司;华唯金属矿产资源高效循环利用国家工程研究中心有限公司
申请日： 2018-04-02 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： C04B28/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种湿法炼锌铁矾渣和污水处理污泥的资源化利用方法，以湿法炼锌铁矾渣和污水处理污泥为主要原料，制备混凝土实心砖。采用的原料组分及各组分的质量百分含量为：粗砂/碎石15.0～19.5％，粉煤灰4.5～6.5％，高炉渣4.5～6.5％，胶凝剂24.1～31.0％，湿法炼锌铁矾渣+湿法炼锌污水处理污泥：40.0～49.0％，湿法炼锌铁矾渣与湿法炼锌污水处理污泥的质量配比为：4:1～5:1。本发明“以废治废”，整体、大宗量处理和利用湿法炼锌铁矾渣和污水处理污泥，可实现湿法炼锌铁矾渣和污水处理污泥零排放，同时达到湿法炼锌铁矾渣和污水处理污泥减量化、无害化、资源化的目的。
一种湿法炼锌铁矾渣污水处理污泥资源利用方法

[发明专利]一种用湿法炼锌产生的固体废物制备实心砖的方法-CN201810280275.3有效
发明人：罗书亮;陈宏贵;吴旺顺;华绍广;李刚;钱晓峰;陈胜进;潘芝华 -专利权人：中钢集团马鞍山矿山研究总院股份有限公司;安徽铜冠有色金属（池州）有限责任公司;华唯金属矿产资源高效循环利用国家工程研究中心有限公司
申请日： 2018-04-02 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： C04B28/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用湿法炼锌产生的固体废物制备实心砖的方法，采用的原料组分及各组分的质量百分含量为：骨料15.5～18.5％，粉煤灰4.7～6.5％，高炉渣4.7～6.5％，水泥12.4～16.0％，碱激发剂12.4～16.0％，湿法炼锌铁矾渣+湿法炼锌污水处理污泥40.0～50.0％，湿法炼锌铁矾渣与湿法炼锌污水处理污泥的质量配比为：4:1～5:1。本发明“以废治废”，整体、大宗量处理和利用湿法炼锌铁矾渣和污水处理污泥，可实现湿法炼锌铁矾渣和污水处理污泥零排放，同时达到湿法炼锌铁矾渣和污水处理污泥减量化、无害化、资源化的目的。
一种湿法产生固体废物制备实心方法

[实用新型]湿法处理装置及湿法处理设备-CN202121453467.3有效
发明人：祝君龙;赖睿彬;李君;夏余平;杜明利 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种湿法处理装置和湿法处理设备。湿法处理装置包括：喷淋模块和保护模块。
湿法处理装置设备

[实用新型]一种湿法脱硫滤液水回收利用系统-CN202221231666.4有效
发明人：卫健;李杰奇;钟康慎之;施斌;刘世杰;肖嘉鸣;刘爱平;赵鹏勃;李楠;茹宇;胡坤;但振宇;汪涛;吉喆;钟修峰;张懿楠;黄福珠;巫伟 -专利权人：国家电投集团江西电力有限公司分宜发电厂;北京华能长江环保科技研究院有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B01D53/50 文献下载
摘要：本申请提供一种湿法脱硫滤液水回收利用系统，涉及废水处理回收领域。湿法脱硫滤液水回收利用系统，其包括：湿法脱硫机构、浆液处理机构、第一容器、第二容器、燃烧机构和至少一个喷枪。浆液处理机构处理湿法脱硫机构产生的石膏浆液得到滤液水，然后将得到的滤液水用于和脱硝剂溶液混合得到稀释脱硝溶液，稀释脱硝溶液能够通过喷枪重新回到燃烧机构中用于脱硝处理。本申请的湿法脱硫滤液水回收利用系统能够充分利用湿法脱硫机构产生的石膏浆液，在处理后用于脱硝工艺，节约了水资源，并且节省了处理湿法脱硫机构产生的石膏浆液的成本。且湿法脱硫滤液水回收利用系统是在现有结构上进行改进得到的，改进工作量小，改造成本低，易于推广应用。
一种湿法脱硫滤液回收利用系统

[发明专利]能自动拆卸的处理排放气体用涤气装置-CN01103960.4有效
发明人：金东秀 -专利权人：韩国M.A.T.有限公司
申请日： 2001-02-16 - 公布日： 2002-05-22 - 主分类号： B01D53/74 文献下载
摘要：本发明公开了一种能自动拆卸的处理排放气体用涤气装置,在湿法处理室的侧面设有移动导向机构,湿法处理室沿该导向机构能被推出箱体;燃烧室通过枢轴折页与湿法处理室连接,而在其侧面还设有一个转动轴,通过湿法处理室沿移动导向机构被推出箱体,可使燃烧室做90度的旋转;在湿法处理室背部下端设有螺杆,箱体的下端设有电动机,用来驱动旋转螺杆,通过电动机的驱动可以控制湿法处理室的水平移动,使涤气装置的清洗作业变得极为方便。
自动拆卸处理排放体用装置

[实用新型]湿法脱硫废水处理的设备-CN201620909774.0有效
发明人：王稼帘 -专利权人：斯普瑞喷雾系统(上海)有限公司
申请日： 2016-08-19 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： C02F1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及环境技术的废水处理领域，尤其涉及一种湿法脱硫废水处理的设备。本实用新型提供一种湿法脱硫废水处理的设备，用于对烟道中的烟气进行湿法脱硫后的废水进行处理，所述设备包括：增压装置，用于将所述湿法脱硫废水加压至第一压力，所述烟道中的烟气压力小于所述第一压力；加热装置，用于对第一压力下的所述湿法脱硫废水进行加热，以使得所述湿法脱硫废水的温度高于所述湿法脱硫废水在所述烟道内的烟气压力下的沸点；以及所述烟道，经加热的湿法脱硫废水被输送至所述烟道内蒸发。本实用新型利用现有烟道系统，通过对湿法脱硫废水的加压、加热，使得湿法脱硫废水能够在烟道内完全蒸发，蒸发余下的杂质被去除，实现湿法脱硫废水的零排放。
湿法脱硫废水烟道本实用新型废水处理加热蒸发烟气压力加压废水处理领域环境技术加热装置烟道系统增压装置零排放沸点去除烟气

[发明专利]湿法处理设备及其操作方法-CN201911310296.6在审
发明人： A.森;N.K.巴希拉坦 -专利权人： PYXISCF私人有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开涉及一种湿法处理设备，用于对基板进行湿法处理，所述湿法处理设备包括：槽体，适于容纳处理液，所述槽体包括至少一个侧壁，所述至少一个侧壁设置有连通所述槽体的内侧与外侧的开口；固定装置，配置为将所述基板固定于所述侧壁的开口处本公开还涉及一种湿法处理设备的操作方法，包括：将基板放置在所述侧壁的开口处，并操作所述固定装置将所述基板固定；以及对所述基板进行湿法处理。
湿法处理设备及其操作方法

[实用新型]湿法处理设备-CN201922284658.0有效
发明人： A.森;N.K.巴希拉坦 -专利权人： PYXISCF私人有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开涉及一种湿法处理设备，用于对基板进行湿法处理，所述湿法处理设备包括：槽体，适于容纳处理液，所述槽体包括至少一个侧壁，所述至少一个侧壁设置有连通所述槽体的内侧与外侧的开口；固定装置，配置为将所述基板固定于所述侧壁的开口处本公开还涉及一种湿法处理设备的操作方法，包括：将基板放置在所述侧壁的开口处，并操作所述固定装置将所述基板固定；以及对所述基板进行湿法处理。
湿法处理设备

[实用新型]分子束外延衬底处理装置-CN202222422131.1有效
发明人：顾溢;刘大福;李雪 -专利权人：无锡中科德芯感知科技有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： C30B23/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种分子束外延衬底处理装置，分子束外延衬底处理装置包括通过管道连接的进样室、等离子处理腔、湿法处理腔以及生长室；进样室、等离子处理腔、湿法处理腔以及生长室与管道之间分别设置有第一阀门；进样室、等离子处理腔、湿法处理腔以及生长室分别设置有对应的真空泵；管道内设置有送料装置，送料装置用于将衬底运送至进样室、等离子处理腔、湿法处理腔以及生长室中的任意一个。可以对衬底进行湿法处理以及等离子处理，并使衬底生长目标材料。
分子外延衬底处理装置

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