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[发明专利]晶硅太阳能电池多层膜的等离子体处理方法及太阳能电池-CN202011518571.6在审
发明人：崔美丽;刘俊稳;张大荣;赵福祥 -专利权人：韩华新能源（启东）有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开一种晶硅太阳能电池多层膜的等离子体处理方法及太阳能电池，处理方法为：先对硅片一面镀多层膜，每一层镀膜结束后进行氨气氛围的等离子体处理工序，等离子体处理工序如下：每一层膜沉积结束后，向反应炉管中通入预设流量的氨气，激发产生含氢的等离子体，对硅片进行氢钝化；再对硅片另一面镀多层膜，每一层镀膜结束后进行氨气氛围的等离子体处理，等离子体处理工序如下：每一层膜沉积结束后，向反应炉管中通入预设流量的氨气，激发产生含氢的等离子体本发明提供的多层膜沉积工序中，加入等离子体处理，氨气氛围的等离子体含有大量氢，对硅片表面起到很好的钝化效果，提高硅片少子寿命，从而提升电池光电转化效率。
太阳能电池多层等离子体处理方法

[发明专利]一种低温等离子体处理羊绒织物的方法-CN202210905553.6在审
发明人：邱雪芳;周嫦娥;王金玉;沈小叶;方秋雅;柯美虹 -专利权人：湖州珍贝羊绒制品有限公司
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： D06M10/02 文献下载
摘要：本发明提供一种低温等离子体处理羊绒织物的方法，属于羊毛加工技术领域。一种低温等离子体处理羊绒织物的方法，包括以下步骤；（1）将羊绒织物进行真空冷冻干燥，得到干燥羊绒织物；（2）将干燥羊绒织物以后的羊绒织物放入低温等离子体处理机，进行低温等离子体处理，得到低温等离子体处理羊绒织物，低温等离子体处理的气氛氧气、氮气、氨气中的两种或三种。本发明通过将冷冻干燥、等离子体处理技术相结合，采用氧气、氮气和或氨气气氛下进行低温等离子体处理，使得羊绒表面的鳞片收到蚀刻，增强染料的上色能力，不易出现毛毡。
一种低温等离子体处理羊绒织物方法

[发明专利]一种包括以氨气为载体风的等离子体发生装置的混燃系统及氨煤混燃方法-CN202211198574.5在审
发明人：邹鹏;蒋玉琳;龚泽儒;牛涛;李明;王晓娜;李冬;郑艳丽;王敏;田玉鹏 -专利权人：烟台龙源电力技术股份有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： F23K3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种以氨气为载体风的等离子体混燃系统，包括等离子体发生装置；与所述等离子体发生装置相连接的氨气管路；与所述等离子体发生装置相关联的燃烧装置；所述燃烧装置设置有煤粉风气流入口；所述等离子体发生装置出口位于燃烧装置内的煤粉风气流通道中本发明将等离子体发生装置与氨煤进行了融合设计，将氨气作为载体风，利用等离子体发生装置产生的电弧电离氨气为等离子体，形成高温射流，直接引燃氨气，实现氨与化石燃料的良好混烧效果。本发明采用氨气作为等离子体发生装置的载体风，既可以作为点火源点燃煤粉，又可以利用电离氨气本身形成的高温射流点燃氨气，使氨气兼具点火与燃料双重特性，并且维持氨气稳定、完全燃烧。
一种包括氨气载体等离子体发生装置系统氨煤混燃方法

[实用新型]一种等离子体活化氨气燃烧器-CN202220954750.2有效
发明人：程诚;兰彦;方世东;丁军;李海燕 -专利权人：合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室）
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： F23D14/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种等离子体活化氨气燃烧器，包括：等离子体炬电源系统、控制系统、供气系统、若干等离子体炬组件、燃烧腔体、等离子体炬与燃烧腔体的连接组件和等离子体炬喷口处混合气源的注入组件；等离子体炬组件与等离子体电源和控制系统连接，所述供气系统等离子体炬组件和等离子体炬喷口处混合气源的注入组件连接，所述等离子体炬组件与燃烧腔体通过等离子体炬与燃烧腔体的连接组件连接。本实用新型通过等离子体炬电离氨气，同时利用高温和高能粒子将氨气和空气混合气进一步活化，使得氨气的燃烧特性大幅提高，解决现有氨气直接燃烧困难的问题，实现氨替代煤粉或天然气用于煤电锅炉或重燃气轮机。
一种等离子体活化氨气燃烧

[实用新型]一种等离子体辅助氨直接还原冶炼装置-CN202221825239.9有效
发明人：王志伟;陈龙威;刘成周;林启富 -专利权人：合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室）
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： C21B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体辅助氨直接还原冶炼装置，该装置包括高频点火器系统、微波等离子体炬系统、第一级进料系统、第二级进料系统、氨气进料系统、样品支撑系统和尾气处理系统。高频点火器系统包括高频点火电源、高频点火等离子体装置，其设置有第一级进料系统，用于产生滑动弧等离子体；微波等离子体炬系统设置有第二级进料系统，用于产生微波等离子体；氨气进料系统将氨气送入微波等离子体反应器；样品支撑系统放置铁矿球团；尾气处理系统避免冶炼过程中产生的污染性气体对环境的污染。本实用新型利用低温等离子体引燃技术、微波产生及传输技术，实现高效耦合、稳定的微波等离子体装置，结构清晰、布局合理，操作方便，具有较好的稳定性，可实时观察矿石冶炼情况。
一种等离子体辅助直接还原冶炼装置

[实用新型]介质阻挡等离子体氨燃烧器和煤粉掺氨燃烧系统-CN202222747327.8有效
发明人：李海燕;孙王平;程宇;林启富;崖华青 -专利权人：合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室）
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： F23D14/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种介质阻挡等离子体氨燃烧器和煤粉掺氨燃烧系统，属于等离子体应用技术领域。所述介质阻挡等离子体氨燃烧器包括高频高压电源和介质阻挡等离子体发生器；所述介质阻挡等离子体发生器上设置有氨气入口以及裂解产物出口。所述煤粉掺氨燃烧系统，包括所述的介质阻挡等离子体氨燃烧器、氨燃料源、氨气/煤粉燃烧器和电厂锅炉；氨燃料源依次连接介质阻挡等离子体氨燃烧器、氨气/煤粉燃烧器和电厂锅炉。氨气通过设置在供氨管线上的介质阻挡等离子体氨燃烧器部分转化为氮气和氢气，有利于氨气的着火和稳定燃烧。
介质阻挡等离子体燃烧煤粉掺氨系统

[发明专利]一种透光性硬质氮化碳薄膜的制备方法-CN201711285578.6有效
发明人：姜礼华;彭宇;汪涛;肖婷;向鹏;谭新玉 -专利权人：三峡大学
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种透光性硬质氮化碳薄膜的制备方法，该方法包括以下步骤：清洗玻璃基片；以甲烷为反应气体，采用等离子体增强化学气相沉积技术在玻璃基片表面沉积一层非晶碳薄膜；采用等离子体增强化学气相沉积技术对玻璃基片表面沉积的非晶碳薄膜进行氨气等离子体处理；以甲烷和氨气为反应气体，采用等离子体增强化学气相沉积技术在氨气等离子体处理后的非晶碳表面沉积一层氮化碳薄膜；在高纯氮气气氛中低温热处理氮化碳薄膜。该方法通过修饰玻璃基片表面化学键、优化氮化碳薄膜中氮原子和氢原子含量以及在氮气氛围中采用低温热处理的方法调整薄膜内应力，从而使氮化碳薄膜具有良好的硬度和透光性。
氮化碳薄膜等离子体增强化学气相沉积玻璃基片表面透光性氨气等离子体处理非晶碳薄膜反应气体甲烷硬质沉积制备氨气低温热处理化学键热处理表面沉积玻璃基片氮气氛围方法调整高纯氮气氮原子非晶碳氢原子中低温薄膜修饰清洗优化

[发明专利]铜互联NDC制程中去除氧化铜的监测方法-CN202010359959.X有效
发明人：成旭;许隽;金立培 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： H01L23/528 文献下载
摘要：方法至少包括以下步骤：形成包括铜互连线的互连结构；使得铜互连线表面的氧化铜暴露在处理空间中；将氨气通入处理空间，使得氨气在处理空间中形成氨等离子体，氨等离子体能够去除铜互连线表面的氧化铜；未与氧化铜反应的氨等离子体在处理空间中被解离形成氢离子；实时获取氢离子浓度信息；根据氢离子浓度信息，确定氧化铜的反应程度；当氧化铜的反应程度为完全去除，停止将氨气通入处理空间。通过监测氢离子浓度，判断氧化铜的反应程度，可以解决相关技术中因氨等离子体处理时间过长使得铜互连线表面处于压应力状态进而导致形成更多的丘状凸起的问题。
铜互联 ndc 制程中去除氧化铜监测方法

[发明专利]太阳能电池的制造方法、以及通过该制造方法制造了的太阳能电池-CN201380042132.4有效
发明人：高桥光人;渡部武纪;大塚宽之 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2013-07-30 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：一种生产率良好地形成钝化效果优良的由氮化硅构成的反射防止膜的太阳能电池的制造方法，其特征在于，使用具备成膜室(101)、具有使氨气激发的激发部(111a、112a)和对激发了的氨气导入硅烷气体而活性化的活性化反应部(111b、112b)的等离子体室(111、112)、以及针对每个等离子体室(111、112)调整氨气和硅烷气体的流量比的流量控制器(113)的远程等离子体CVD装置(100)，在成膜室(101)中输送半导体基板(102)的同时，通过来自第一等离子体室(111)的等离子体流，在半导体基板(102)上形成第一氮化硅膜，接着通过来自导入了流量比与第一等离子体室(111)不同的氨气和硅烷气体的第二等离子体室(112)的等离子体流，形成组成与第一氮化硅膜不同的第二氮化硅膜。
太阳能电池制造方法以及通过

[发明专利]用于氨气发动机的等离子体预燃室点火系统、氨气发动机-CN202210578630.1在审
发明人：吴志军;冀蒙;邓俊;胡宗杰;李理光 -专利权人：同济大学
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： F02M27/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于氨气发动机的等离子体预燃室点火系统、氨气发动机，包括：等离子发生器(2)：用于对氨气‑空气进行电离产生氨气‑空气‑等离子体混合气；预燃室(8)：所述的预燃室连通氨气发动机的缸体(7)，所述的预燃室(8)设有用于点火的点火件(4)；气体流道：用于将氨气‑空气‑等离子体混合气输入至氨气发动机的缸体(7)以及预燃室(8)。与现有技术相比，本发明大大提高了氨气的燃烧效率，同时一定程度上减少了污染气体的生成。
用于氨气发动机等离子体预燃室点火系统

[发明专利]一种氨气等离子体增强硫化钴镍超级电容器性能的方法-CN202010123476.X在审
发明人：肖婷;肖锐;谭新玉;向鹏;姜礼华 -专利权人：三峡大学
申请日： 2020-02-27 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： H01G11/84 文献下载
摘要：本发明公开了一种氨气等离子体增强硫化钴镍超级电容器性能的方法，即采用等离子体化学气相沉积（PECVD）系统，以氨气为等离子体气源，在一定条件下对硫化钴镍进行处理。在1 M KOH电解液中对样品进行电化学性能评价，发现PECVD处理后，硫化钴镍的最大容量可达到3.32 F/cm2，约为PECVD处理前样品的3倍，循环稳定性提升了
一种氨气等离子体增强硫化超级电容器性能方法

[发明专利]一种大气压微等离子体反应体系制氨的装置及方法-CN202310930416.2在审
发明人：郝小龙;缪龙宇;石朝阳;王子俊 -专利权人：江南大学
申请日： 2023-07-27 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C01C1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种大气压微等离子体反应体系制氨的装置及方法，属于制氨技术领域。本发明提供一种大气压微等离子体反应体系制氨的方法，所述方法应用于一种大气压微等离子体反应体系制氨的装置，用于制备氨气，所述装置包括电源、等离子体射流反应器、三通管、氮气瓶、氢气瓶和氨气收集装置，所述等离子体射流反应器包括反应管、绝缘体和金属轴。本发明通过高能电子及活性粒子的作用在不使用催化剂的条件下将氮气和氢气分子转换为高活性和激发态的分子，从而在常温常压下能够在微等离子体体系中高效地合成氨气，提升了制氨效率。
一种大气压等离子体反应体系装置方法

[发明专利]太阳电池的增强等离子体化学气相沉积工艺-CN200910198972.5无效
发明人：张忠卫;许卓 -专利权人：上海太阳能科技有限公司
申请日： 2009-11-18 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种太阳电池的增强等离子体化学气相沉积工艺，是将硅片载于反应舟中置于平板式微波增强等离子体化学气相沉积设备内，向平板式微波增强等离子体化学气相沉积设备通入硅烷和氨气，通过微波激发等离子体在硅片表面反应生成氮化硅减反射膜；其特点是，在硅烷和氨气通入30min～45min后，停止通入硅烷和氨气，改为通入与硅烷和氨气气体体积总量相同的三氟化氮气体。本发明的太阳电池的增强等离子体化学气相沉积工艺由于NF3气体在等离子体环境下生成的F-离子会和氮化硅反应生产粉末状SiF4，通过泵抽走，从而达到了清洗出气口的效果。同时，残余的F-离子对硅片表面有钝化效果。
太阳电池增强等离子体化学沉积工艺

[发明专利]一种氢氨内燃机燃料预热装置及燃料供给系统-CN202311100913.6在审
发明人：陈全龙;孔维良;邓涛;居婷;王希理;吴益晓;丁菁菁;柴娇;王鹏旭 -专利权人：重庆交通大学绿色航空技术研究院
申请日： 2023-08-30 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： F02M31/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种氢氨内燃机燃料预热装置及燃料供给系统，属于内燃机技术领域，包括壳体和等离子体加热组件；壳体内设有环形预热室和容置空间；环形预热室包括外侧壁和内侧壁，壳体与外侧壁之间围成环状的第一通道；壳体上开设有至少一个连通第一通道的氨气进气口，氨气进气口用于将氨气从第一通道输入容置空间；容置空间通过内侧壁的内表面连通外界，容置空间内的氨气通过内侧壁向外界输出；等离子体加热组件设在环形预热室上，等离子体加热组件用于在环形预热室内产生高温等离子体，以利用高温等离子体的热量加热从第一通道输入容置空间的氨气和通过内侧壁向外界输出的氨气。本发明的预热装置能持续工作，无需定期更换，且对氨气预热均匀。
一种内燃机燃料预热装置供给系统

[实用新型]一种脉冲等离子体脱硫脱硝的系统-CN201720767706.X有效
发明人：冯玉;陈文臣;魏书杰 -专利权人：山东菲达生态环境科技有限公司
申请日： 2017-06-28 - 公布日： 2018-01-02 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种脉冲等离子体脱硫脱硝的系统，按烟气流向依次包括除尘器、脱硫塔、第一脉冲放电等离子体反应器和第二脉冲放电等离子体反应器；脉冲放电等离子体反应器内设有金属板，金属板之间设有金属棒，金属棒上设有放电针，第一脉冲放电等离子体反应器种的若干金属棒连接高频直流电源，第二脉冲放电等离子体反应器种的若干金属棒连接高压脉冲电源；脉冲放电等离子体反应器内的底部均设有水管，水管上均设有竖直向上的喷头；氨气源中的氨气分别输送至第一脉冲放电等离子体反应器和第二脉冲放电等离子体反应器内，水泵将水箱中的水输送至第一脉冲放电等离子体反应器和第二脉冲放电等离子体反应器内的水管。
一种脉冲等离子体脱硫系统

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