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- [发明专利]一种MOCVD设备的喷淋结构-CN202110828994.6有效
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杜广煜;万亿;陈志立;梁帅;倪岩松
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东北大学
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2021-07-22
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2022-07-29
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C23C16/455
- 一种MOCVD设备的喷淋结构,包括反应室、上进气喷淋头、下进气喷淋头及可旋转载物台;反应室的顶板中部设有混合气体进气口;上进气喷淋头设在反应室内部,上进气喷淋头位于混合气体进气口下方;下进气喷淋头设在反应室内部,下进气喷淋头位于上进气喷淋头下方;可旋转载物台设在反应室内部,可旋转载物台位于下进气喷淋头下方;上进气喷淋头与反应室顶板之间构成混合气体初混腔;下进气喷淋头与上进气喷淋头之间构成混合气体精混腔;下进气喷淋头下方的反应室内部空间构成反应腔;上进气喷淋头圆盘上均布有若干进气通孔,下进气喷淋头圆盘上均布有若干出气通孔,进气通孔及出气通孔均采用锥孔结构,进气通孔大口端朝上,出气通孔大口端朝下。
- 一种mocvd设备喷淋结构
- [发明专利]半导体工艺设备及其匀气装置-CN202210617730.0在审
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郑帅;魏景峰
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2022-06-01
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2022-08-12
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F15D1/02
- 本发明提供一种半导体工艺设备及其匀气装置,匀气装置的上匀气件的第一匀气槽部与中匀气件的第二匀气槽部相对,形成连通上匀气件的第一进气通道,及中匀气件的第一排气通孔部的第一匀流通道部,上匀气件的第二进气通道连通中匀气件的第三进气通道,中匀气件的第三匀气槽部与下匀气件的第四匀气槽部部相对,形成与第一排气通孔部错位设置,并连通第三进气通道,及下匀气件的第三排气通孔部的第二匀流通道部,下匀气件的第二排气通孔部连通第一排气通孔,并与第三排气通孔部错位设置本发明提供的半导体工艺设备及其匀气装置能够降低匀气装置的加工难度,提高加工精度,提高洁净度,从而改善匀气装置的质量和使用寿命,并改善半导体工艺结果。
- 半导体工艺设备及其装置
- [实用新型]通风式粮仓-CN201720112787.X有效
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曹斌;谷溪;张新敏;杨德仁
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河南天工建设集团建筑设计有限公司
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2017-02-07
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2017-11-10
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E04H7/22
- 本实用新型公开一种通风式粮仓,包括仓体和仓盖,仓体内设置下通廊,下通廊为钢桁架结构,下通廊的底板为混凝土结构,仓体的内壁设置竖直方向的第一通气槽,第一通气槽的下端设置进风口,进风口为斜向设置,进风口靠的内端高于外端,仓盖的截面为弧形结构且其外壁设置出风口,出风口处设置多个排风机构,仓盖的内壁设置第二通气槽,第二通气槽的一端与出风口相连通,第二通气槽的另一端与第一通气槽相连通。本实用新型通过设置相连通的进风口、第一通气槽、第二通气槽和出风口,有效提高室内的通风效率。
- 通风粮仓
- [实用新型]座椅侧面安全气囊-CN202021637381.1有效
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嵇建军;陈国梁;李永强;常坤;李斌
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奥托立夫开发公司
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2020-08-07
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2021-04-09
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B60R21/231
- 本实用新型公开了一种座椅侧面安全气囊,包括第一气室、第二气室、充气机和回路扩散器,回路扩散器连通充气机并将充气机的气体从上方和下方导入到第一气室和第二气室中,还包括内气室和单向导通件,内气室上开设有出气孔,出气孔连通内气室与第一气室和第二气室,单向导通件设置在出气孔处;气体从内气室流向第一气室和第二气室时,单向导通件打开;气体从第一气室和第二气室流向内气室时,单向导通件关闭。本实用新型中当气体从内气室流入到第一气室和第二气室时,单向导通件是打开的,使得第一气室和第二气室充气展开;当安全气囊受到外部的撞击时,单向导通件关闭,防止安全气囊被击穿,提升了安全气囊的安全性。
- 座椅侧面安全气囊
- [实用新型]调节阀-CN202020945550.1有效
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廖东升;郭正柔;谢俊锋;黄忠林
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珠海优特智厨科技有限公司
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2020-05-28
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2021-01-08
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F16K11/10
- 本实用新型提供了一种调节阀,调节阀包括阀体,阀体内部具有内腔,阀体上设置有与内腔连通的第一气路、第二气路及进气通道,调节阀还包括阀芯,阀芯可转动地安装在内腔中,阀芯侧壁与阀体内壁之间形成第一通道,阀芯转动时第一气路与第一通道可通断地连通,或进气通道与第一通道可通断地连通;阀芯侧壁与阀体内壁之间形成第二通道,第一通道与第二通道在阀芯的轴线方向上间隔设置,阀芯转动时,第二通道可通断地与第二气路连通。通过在阀芯的侧壁与阀体之间形成的第一通道和第二通道,实现进气通道对第一气路、及第二气路的供给,由于第一通道与第二通道在轴线方向间隔设置,避免了阀芯内部通道的交叉,结构更加简洁,降低了加工成本,其中,第一气路可为小火气路,第二气路可为大火气路。
- 调节
- [实用新型]一种具有空气净化装置的洁净电梯-CN202223550128.4有效
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邱子源;肖维
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美迪斯电梯有限公司
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2022-12-26
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2023-05-30
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F24F8/22
- 本实用新型公开了一种具有空气净化装置的洁净电梯,涉及电梯领域,本实用新型包括电梯轿厢,电梯轿厢的内部安装有隔板,隔板的顶部分别设有消毒室、负离子发生器、活性炭层和抽气机,电梯轿厢的内部设有导气组件,导气组件包括安装于电梯轿厢内部的导气盘,导气盘的内部分别开设有第一通气通道和第二通气通道,第一通气通道和第二通气通道的内部均设有紫外线杀菌灯。本实用新型通过设置有导气组件,当空气进入至第一通气通道和第二通气通道的内部时,紫外线杀菌灯工作会发射紫外线,进而可对空气进行杀菌消毒,而空气可在第一通气通道和第二通气通道内部缓慢流动,使得紫外线能够充分与空气接触
- 一种具有空气净化装置洁净电梯
- [实用新型]一种中间体及气柱袋-CN202221305498.9有效
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聂会平;周珺璟
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浙江英纳威包装材料有限公司
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2022-05-27
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2022-11-11
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B65D81/05
- 本申请实施例涉及一种中间体及气柱袋,中间体包括公共通道、第一气柱帘和第二气柱帘,公共通道的第一端为开放端,第二端为封闭端,公共通道包括顺序连接的第一通道、连接通道和第二通道,第一气柱帘与第一通道连接,第二气柱帘与第二通道连接,第一通道和第二通道位于连接通道的同一侧。气柱袋包括公共通道、第一气柱帘和第二气柱帘,公共通道的第一端为开放端,第二端为封闭端,公共通道包括顺序连接的第一通道、连接通道和第二通道,第一气柱帘与第一通道连接,第二气柱帘与第二通道连接,第二气柱帘的两侧均与第一气柱帘连接并组成环形结构本申请实施例公开的中间体及气柱袋,能够使用自动化的方式进行生产,有助于提高生产效率。
- 一种中间体气柱袋
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