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- [发明专利]原子层生长装置-CN201680030039.5有效
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松本龙弥;鹫尾圭亮
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株式会社日本制钢所
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2016-04-19
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2019-11-05
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C23C16/44
- 本发明的原子层生长装置具备安装到成膜容器开口部的喷射器和插入安装到开口部的喷射器防粘构件，在喷射器分隔设有喷射器原料气体供给路径、喷射器原料气体供给口、喷射器反应气体供给路径、喷射器反应气体供给口、喷射器惰性气体供给路径、喷射器惰性气体供给口，在喷射器防粘构件分隔设有防粘构件原料气体供给路径、防粘构件原料气体供给口、防粘构件反应气体供给路径、防粘构件反应气体供给口、防粘构件惰性气体供给路径、防粘构件惰性气体供给口，在喷射器防粘构件的外周侧和开口部的内周侧的间隙，设有防粘构件惰性气体供给路径，以使惰性气体流过。
- 原子生长装置
- [发明专利]燃料电池系统-CN200780032703.0无效
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森田纯司;菅原靖;柴田础一;浦田隆行;梅田孝裕
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松下电器产业株式会社
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2007-09-27
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2009-08-19
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H01M8/04
- 一种燃料电池系统(100)，具备：燃料气体生成装置(3)，供给燃料原料和水以及燃烧用燃料，利用该燃烧用燃料的燃烧热，生成燃料气体；燃料电池(1)，向燃料气体路径(b1、1a、c1)供给所述燃料气体，向氧化剂气体路径供给氧化剂气体，并进行发电；加热介质路径(b2、1d、c2)，不向所述燃料气体路径供给所述燃料气体；路径切换器(4)，在所述燃料气体路径和所述加热介质路径之间切换所述燃料气体的供给对象；以及控制装置(8)，所述控制装置构成为：控制所述路径切换器，使得在所述燃料气体生成装置的暖机运转时，燃料气体被供给至所述加热介质路径，随后作为所述燃烧用燃料，在暖机运转后，燃料气体不被供给至所述加热介质路径，而被供给至所述燃料气体路径，随后作为所述燃烧用燃料
- 燃料电池系统
- [发明专利]氢系统-CN202180001939.8在审
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尾沼重德
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松下知识产权经营株式会社
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2021-01-25
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2022-01-28
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C25B1/04
- 一种氢系统，具备压缩机、阳极气体供给路径、回收流路、排水路径、泵和控制器，压缩机通过在夹持电解质膜而配置的阳极与阴极之间施加电压，来使供给到阳极的含氢气体中的氢移动到阴极，生成被压缩的氢，阳极气体供给路径用于使向阳极供给的含氢气体流动，回收流路用于使从阳极排出后将要与阳极气体供给路径合流的阳极废气流动，排水路径设在回收流路、或者设在比阳极气体供给路径与回收流路合流的部位靠下游的阳极气体供给路径上，用于向回收流路外或阳极气体供给路径外排出液态水，泵设在回收流路、或者设在比阳极气体供给路径与回收流路合流的部位靠下游的阳极气体供给路径上，在停止压缩机的运转时，控制器在施加电压降低了的状态下使泵工作。
- 系统
- [发明专利]沉积膜形成装置-CN201080051961.5无效
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伊藤宪和;新乐浩一郎;稻叶真一郎
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京瓷株式会社
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2010-11-22
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2012-09-12
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H01L21/205
- 一种沉积膜形成装置，具有：腔室，第一电极，其位于该腔室内，第二电极，其位于腔室内，且与第一电极隔开规定间隔；第二电极具有：电极基体，多个电极板，它们配置在该电极基体上；该电极板具有：第一供给部，其将第一原料气体供给至第一电极和第二电极之间的空间，第二供给部，其将第二原料气体供给至空间，第一供给路径，其与第一供给部相连接，用于导入第一原料气体，第二供给路径，其与第二供给部相连接，用于导入第二原料气体；电极基体具有：加热单元，其对第一原料气体进行加热，第一导入路径，其将第一原料气体导入至第一供给路径，第二导入路径，其将第二原料气体导入至第二供给路径；第二供给路径具有：干流部，其从第二导入路径导入第二原料气体，且在该干流部上未设有第二供给部，多个支流部，它们从该干流部导入第二原料气体，且在这些支流部上设有第二供给部；用于连接第二导入路径和干流部的连接部，位于相邻的电极板的相邻部位。
- 沉积形成装置
- [发明专利]气体供给装置和基板处理装置-CN201380019330.9有效
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内田阳平
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东京毅力科创株式会社
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2013-05-09
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2016-10-19
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H01L21/3065
- 提供能够使等离子体在处理空间中更均匀地分布的气体供给装置。从处理气体供给源和附加气体供给源向处理空间(S)供给处理气体和附加气体的喷头(13)(气体供给装置)包括：多个气体分配板(28～31)、冷却板(32)和盖板(33)，将气体分配板(28～31)、冷却板(32)和盖板(33)层叠，在最下层的气体分配板(28)上形成周缘气体扩散室(35)和最外气体扩散室(36)，在各个气体分配板(28～31)上至少形成一个从处理气体供给源和附加气体供给源向周缘气体扩散室(35)和最外气体扩散室(36)的任意一个供给处理气体和附加气体的气体供给路径(52)(53、54或55)，例如，气体分配板(31)的气体供给路径(52)分支成多个分支路径(52b～52e)，从处理气体供给源至各个分支路径
- 气体供给装置处理
- [发明专利]气体处理装置-CN201810819824.X有效
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神尾卓史;布重裕
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东京毅力科创株式会社
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2018-07-24
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2021-04-13
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C23C16/455
- 本发明提供一种气体处理装置，其具备：载置部，其设置于真空气氛的处理室，用于载置基板；气体供给部，其位于载置部的上方侧且构成处理室的顶部，并形成有用于将所述处理气体以喷淋状供给的多个气体供给口；气体供给路径形成部，其具备从气体供给部的上方与该气体供给部相向且界定用于使处理气体沿横向扩散的扩散空间的平坦的相向面，该气体供给路径形成部形成处理气体的供给路径；凹部，其围绕相向面的中央部设置；以及气体分散部，沿该气体分散部的周向形成有多个气体喷出口以使从气体分散部供给路径供给的处理气体沿横向分散到扩散空间，围绕相向面的中央部设置有多个气体分散部，各气体分散部分别以不从该相向面突出的方式设置在所述凹部内。
- 气体处理装置
- [发明专利]树脂容器用涂敷装置-CN201380028064.6有效
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岛田清典
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日精ＡＳＢ机械株式会社
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2013-05-14
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2017-08-25
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C23C16/455
- 树脂容器用涂敷装置具有腔室（40），存放多个树脂容器（B），并为外部电极；多个内部电极（50），形成有引导原料气体的气体导通部（51），并分别插入到在腔室（40）存放的多个树脂容器（B）的内部；气体供给部（70），向腔室（40）供给原料气体，气体供给部（70）具有原料气体供给路径（P1）和从原料气体供给路径（P1）分支并分别与多个内部电极（50）的气体导通部（51）相连通的多个气体分支路径（P2），在原料气体供给路径（P1）上设置有调整原料气体的流量的质量流量控制器（74），在多个气体分支路径（P2）上分别设置有调整原料气体的流量的流量调整阀（78）。
- 树脂容器用涂敷装置
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