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- [发明专利]曝光机文件自动检查系统-CN201310506771.3有效
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赵静芬;马兰涛;陈力钧
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上海华力微电子有限公司
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2013-10-23
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2017-04-12
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G06F17/30
- 本发明涉及一种曝光机文件自动检查系统，系统包括光刻曝光机文件建立条件信息模块、光罩信息模块、曝光机文件建立/导出模块和数据处理模块；光罩信息模块中存储有光罩信息，曝光机文件建立/导出模块中存储有曝光机文件，曝光机文件建立条件信息模块中存储有建立曝光机文件时所需条件的参数信息；数据处理模块调取光罩信息模块中存储的光罩信息，并根据该光罩信息调取存储于曝光机文件建立/导出模块中的曝光机文件，数据处理模块同时调取曝光机文件建立条件信息模块中的参数信息后，将曝光机文件建立所需要更改的参数与调取的参数信息进行比对，并将比对结果进行输出。本发明系统能够提高曝光机文件的正确率和工作效率。
- 曝光文件自动检查系统
- [发明专利]提升油墨曝光效率的方法-CN202211355155.8在审
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王申
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合肥芯碁微电子装备股份有限公司
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2022-11-01
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2023-03-07
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G03F7/20
- 本发明公开了一种提升油墨曝光效率的方法，包括如下步骤：(一)、过前处理：将板件清洗、粗化、烘干处理得基板；(二)、涂敷固化：将防焊油墨涂覆在步骤(一)所得基板上，烘烤固化，得油墨板件；(三)、曝光：对步骤(二)所得油墨板件的油墨面进行曝光，所述曝光时，所述油墨面处于惰性气体氛围；(四)、显影和固化：对步骤(三)曝光后的油墨板件进行显影和后固化处理。根据本发明实施例的提升油墨曝光效率的方法，通过在曝光时同步吹出惰性气体，降低了曝光区域的含氧量，抑制氧气与自由基的反应，从而提升了油墨的曝光效率。
- 提升油墨曝光效率方法
- [实用新型]一种CT异构冗余曝光控制系统-CN202021869661.5有效
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陈牧;徐军;丁海波
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上海大骋医疗科技有限公司
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2020-08-31
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2021-09-03
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A61B6/03
- 本实用新型涉及一种CT异构冗余曝光控制系统，系统包括供电单元、主控制器、第一处理器、第二处理器和第三处理器，所述主控制器分别连接第一处理器和第二处理器，所述第三处理器分别连接第一处理器和第二处理器，所述第三处理器连接高压发生器，所述高压发生器连接球管，所述供电系统分别连接第一处理器、第二处理器、第三处理器和高压发生器，所述主控制器发送曝光参数设定指令和曝光开始指令至第一处理器和第二处理器，第三处理器对第一处理器和第二处理器传递的曝光参数设定指令和曝光开始指令进行逻辑运算与现有技术相比，提高曝光参数的准确性，提高曝光控制的安全性，保证曝光控制的可靠性。
- 一种ct冗余曝光控制系统
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