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[实用新型]一种用于快速扫描样品表面颗粒物的显微镜-CN201820869647.1有效
发明人：陈宏成 -专利权人：无锡联发易创科技有限公司
申请日： 2018-06-06 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于快速扫描样品表面颗粒物的显微镜，包括：分别产生不同波长的连续激光的多台激光器，激光分别入射到数字微镜晶片的微镜阵列；数字微镜晶片将不同波长的连续激光转化为具有不同相位和/或不同角度的衍射光斑，同一组的衍射光斑组具有相同的周期；掩模位于数字微镜晶片的光路的下游；色彩检测系统具有：第一光路上设置有白光光源，第二光路上设置有获取样品色彩信息的相机，白光光源位于第一光路的末端，相机位于第二光路的末端；衍射光斑组通过掩模，经过反射镜和透镜进入物镜；而第一光路和第二光路的一端也均经过物镜。
光路数字微镜衍射光斑颗粒物晶片本实用新型白光光源快速扫描连续激光样品表面波长物镜掩模显微镜检测相机透镜多台激光器色彩检测微镜阵列样品色彩反射镜入射激光失败转化

[发明专利]用于微发光器件阵列的电流驱动数字像素装置-CN201910837595.9有效
发明人：萧圣文 -专利权人：联咏科技股份有限公司
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： G09G3/32 文献下载
摘要：本公开提供一种用于微发光器件阵列的电流驱动数字像素装置，所述电流驱动数字像素装置包括电源轨、共用轨、微发光器件以及电流驱动器。电源轨被配置成供应源电流。微发光器件电耦合到共用轨。电流驱动器包括：第一开关器件，电耦合到电源轨；以及电流镜器件，电耦合在第一开关器件与微发光器件之间。电流镜器件通过第一开关器件从电源轨接收源电流并向微发光器件供应电流。第一开关器件是低电压器件且电流镜器件是中等电压器件。
用于发光器件阵列电流驱动数字像素装置

[发明专利]显示系统及其适用的头戴式显示器-CN201510584880.6有效
发明人：黄俊杰 -专利权人：台达电子工业股份有限公司
申请日： 2015-09-15 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： G02B27/01 文献下载
摘要：本发明关于一种显示系统，包括光积分柱、固态发光元件、第一全内反射棱镜、反射镜、第二全内反射棱镜、数字微镜装置及目镜。固态发光元件设置于光积分柱的入口端。反射镜设置于第二表面。第二全内反射棱镜具有第四表面、第五表面及第六表面，且第四表面与第三表面相接触；数字微镜装置邻设于第五表面。目镜邻设于第六表面。光线沿照明光路径入射至数字微镜装置，再沿成像光路径投射至成像面。藉此，可使显示系统的体积有效地被缩减。
显示系统及其适用头戴式显示器

[外观设计]数字微镜件调制器-CN202230212405.7有效
发明人：张钱松;陈明;童傲梅;陈振霖 -专利权人：国仪行云(合肥)教育科技有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：数字微镜件调制器。2.本外观设计产品的用途：本产品用于控制数字微镜件进行机械运动。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
数字微镜件调制器

[发明专利]一种近红外光谱仪及其控制方法和系统-CN202210357233.1有效
发明人：张洪明;胡乃银 -专利权人：安徽中科谱康科技有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：本发明公开了一种近红外光谱仪及其控制方法和系统，光谱仪包括数字微镜DMD和单点探测器；数字微镜DMD，根据各波长光谱强度对样品指标影响的权重系数和DMD中各波长位置有效反射微镜数量的关系，控制DMD中各波长位置的有效反射微镜的数量和角度，以将经过有效反射微镜的近红外光全部反射到单点探测器；单点探测器，根据接收到的近红外光计算其光谱强度以得到样品指标。
一种红外光谱仪及其控制方法系统

[发明专利]一种基于双光束的高通量超分辨三维刻写方法与系统-CN202310698595.1在审
发明人：丁晨良;匡翠方;苏晨怡;杨顺华;徐良;刘勇;刘旭 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种超分辨激光纳米直写光刻技术，具体涉及一种基于双光束的高通量超分辨三维刻写方法与系统，该方法为，合束光平行入射数字微镜器件并经数字微镜器件反射后入射微透镜阵列，于微透镜阵列焦平面处形成聚焦点阵，使该聚焦点阵成像于双光束光刻胶表面形成激发光束与抑制光束重合的刻写点阵，对双光束光刻胶进行曝光；合束光由激发光束与抑制光束合束得到；通过调节数字微镜器件区域微镜的开关状态，调控刻写点阵中各点处的能量；
一种基于光束通量分辨三维刻写方法系统

[发明专利]适用于数字光源投影系统的散热模块-CN201210222457.8有效
发明人：王晖雄 -专利权人：台达电子工业股份有限公司
申请日： 2012-06-29 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： G03B21/16 文献下载
摘要：本发明关于一种散热模块，适用于数字光源投影系统，该散热模块包含：导热装置、至少一热管及多个散热鳍片；导热装置具有连接部，连接部具有第一表面及与第一表面相对应的第二表面，且第一表面与数字光源投影系统的数字微镜装置相接触；热管具有贯穿部及与贯穿部连接的悬臂，且贯穿部自连接部的第二表面纵向贯穿连接部至第一表面，并与数字微镜装置相接触；多个散热鳍片与悬臂相连接；其中，数字微镜装置于运作时所产的热可由导热装置及热管的贯穿部直接传递至热管的悬臂
适用于数字光源投影系统散热模块

[发明专利]一种多通道无线激光通信设备-CN201710762441.9在审
发明人：易敏 -专利权人：合肥新文远信息技术有限公司
申请日： 2017-08-30 - 公布日： 2017-12-26 - 主分类号： H04B10/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种多通道无线激光通信设备，包括发射机、接收机以及连接激光收发机的无线光路由器；发射机包括发射机控制电路、激光源及数字微镜器件，发射机控制电路分别与激光源和数字微镜器件连接，激光源和数字微镜器件之间连接有入射光路，数字微镜器件的输出端与出射光路相连；发射机控制电路包括总电源模块、电压转换模块、手动控制模块、中央数据处理模块、步进电机驱动模块、激光发射机模块、无线数据传输模块；手动控制模块的信号输出端与中央数据处理模块的信号输入端连接
一种通道无线激光通信设备

[发明专利]一种双分镜头直写式曝光机系统-CN201610973547.9在审
发明人：俞庆平 -专利权人：俞庆平
申请日： 2016-11-07 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明在DMD下安装了一个分光系统，将数字微镜装置上的反射光分向两边，成倍地提高了单个数字微镜装置（DMD）所覆盖的面积。同等条件下，本发明所需要的数字微镜装置（DMD）的数量只有现有技术的一半。由于大幅降低了数字微镜装置（DMD）的使用量，系统的复杂性得到降低、也提高了系统运行的稳定性；同时DMD投入量减半，也大幅降低了设备成本。
数字微镜装置曝光机直写扫描式激光系统稳定性分光系统激光曝光激光直写曝光能量曝光装置设备成本同等条件系统成本系统运行反射光覆盖面投入量条带两边镜头曝光输出覆盖

[发明专利]一种基于数字微镜阵列的光栅对准测量装置-CN202310182378.7在审
发明人：王伟波;黄康胜;宋培宇;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于光刻系统的基于数字微镜阵列的光栅对准测量装置，属于光刻技术领域；本发明采用双波长激光光束进行照明，利用调制系统对照明光束进行调制，使用空间滤波器允许光栅对准标记的特定级次衍射光束透过，并利用数字微镜阵列对透过空间滤波器的衍射光束进行偏折，最后利用多通道光电探测模块对透过参考光栅标记的干涉信号进行同步探测与处理，实现了数字微镜阵列替代传统对准测量中的光楔阵列或光楔板来对多级次衍射光束进行偏折本发明结合数字微镜阵列、多通道光电探测模块和空间滤波技术，解决了复杂光束偏转光路影响探测信号稳定性和一致性的问题，从而提高了系统的对准性能。
一种基于数字阵列光栅对准测量装置

[发明专利]线路板曝光机校准方法、装置、电子设备及存储介质-CN202211499142.8在审
发明人：郭耀强;陈黎阳 -专利权人：广州兴森快捷电路科技有限公司;深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司;宜兴硅谷电子科技有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：根据本申请的第一方面，提出了一种线路板曝光机校准方法，应用于线路板曝光机，线路板曝光机包括相机、平台和数字微镜，方法包括：基于测试板的标准靶点移动相机，对相机进行校准；基于标准靶点移动平台，对平台进行校准；获取数字微镜的第一曝光结果，根据第一曝光结果，对数字微镜进行校准；获取数字微镜的第二曝光结果，根据第二曝光结果，对线路板曝光机进行校准。
线路板曝光校准方法装置电子设备存储介质

[发明专利]数字微镜阵列编码闪光三维成像方法及装置-CN201410593913.9有效
发明人：王新伟;李友福;周燕 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2014-10-29 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： H04N5/225 文献下载
摘要：本发明公开了一种数字微镜阵列编码闪光三维成像装置及方法。脉冲激光器产生激光脉冲；照明镜头视场内的成像目标进行照明；成像镜头收集所述成像目标经过所述激光脉冲照射后形成的目标回波信号；选通快门采集目标回波信号并放大；整形透镜将所述选通快门放大后的目标回波信号进行光学整形后耦合至数字微镜阵列；数字微镜阵列将所述目标回波信号的一部分反射至耦合透镜，将其余部分将所述目标回波信号反射至吸光板；耦合透镜将数字微镜阵列反射的目标回波信号进行整形，并耦合至图像传感器；图像传感器根据所接收到的目标回波信号成像
数字阵列编码闪光三维成像方法装置

[发明专利]基于数字微镜阵列的原子荧光光谱仪的波长校准方法-CN201810477183.4有效
发明人：田地;王宏霞;张雅茹;李春生;陶琛;刘可 -专利权人：吉林大学
申请日： 2018-05-18 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于数字微镜阵列的原子荧光光谱仪的波长校准方法，该方法包括下述步骤：计算得到数字微镜列位置与标准波长间的基本函数关系式；计算拟合误差并将其存到“波长误差”Column中的对应位置；针对待测样品，用户选择要测量的预检荧光波长，利用“波长误差”Column中存储的波长误差对预检荧光波长进行校正得到已校准波长，带入步骤二中的基本函数关系式中反算出数字微镜应翻转的列，从而得到待测样品的测量波长，获得准确荧光强度值带入步骤二中的基本函数关系式中反算出数字微镜应翻转的列位置，从而测量待测样品的测量波长，获得准确荧光强度值。利用本发明能够准确测量待测样品波长位置的荧光强度信息。
基于数字阵列原子荧光光谱仪波长校准方法

[发明专利]一种相位差法波前传感器-CN201210162454.X有效
发明人：王帅;杨平;许冰 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2012-05-23 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： G01J9/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种相位差法波前传感器，由成像单元、数字微镜器件、第一、第二阵列型光电探测器组成，数字微镜器件位于成像单元及焦面位置之间，目标发出光束经过成像单元后，数字微镜器件对光束偏转调制，使光束分别往两个方向反射，并在两个反射方向上分别形成目标图像；第一、第二阵列型光电探测器分别位于数字微镜器件的两个反射方向上，且第一阵列型光电探测器位于成像单元的焦面，探测目标被成像单元成像后的焦面图像，第二阵列型光电探测器位于成像单元的离焦面上
一种相位差法波前传感器

[发明专利]一种基于数字微镜LDI的装置及倾斜扫描方法-CN201910319941.4有效
发明人：蔡文涛;邱田生;陈振才 -专利权人：东莞市多普光电设备有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于数字微镜LDI的装置及倾斜扫描方法，通过两组成像镜头和倾斜掩模完成倾斜扫描。本发明包含有DMD数字微镜，DMD数字微镜与第一组成像镜头之间设有全内反射TIR棱镜，第一组成像镜头远离DMD数字微镜的一端设有倾斜掩模，倾斜掩模远离第一组成像镜头的一端设有第二组成像镜头，第二组成像镜头远离倾斜掩模的一端设有目标面
一种基于数字 ldi 装置倾斜扫描方法