专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]颗粒表征-CN201680068213.5有效
  • 杰森·科拜特;埃里克斯·马尔姆 - 马尔文帕纳科
  • 2016-09-09 - 2021-10-12 - G01N15/02
  • 该方法包括:利用光束(103)照射样品池(104)中的样品(106),以便通过光束(103)与样品(106)的相互作用产生散射;从单个检测器(110)获得散射的测量的时间序列;从来自单个检测器(110)的测量的时间序列,确定哪些测量是在大颗粒对散射有贡献时所得到的;确定颗粒尺寸分布,包括校正由大颗粒散射的光。
  • 颗粒表征
  • [发明专利]暗场成像检测系统-CN202110976103.1在审
  • 马翔宇;吴晓斌;沙鹏飞;谢婉露;韩晓泉 - 中国科学院微电子研究所
  • 2021-08-24 - 2021-12-14 - G01N21/88
  • 本发明公开了一种暗场成像检测系统,暗场成像检测系统包括真空腔室、光源、光学组件和图像采集装置,真空腔室内设有检测位,检测位用于放置极紫外掩模,光源设于真空腔室内且用于向极紫外掩模发射极紫外光束,光学组件设于真空腔内,光学组件用于接收经极紫外掩模发出的散射线并将散射线形成光学图像,图像采集装置用于采集光学图像。进行检测时,启动暗场成像检测系统,光源发出极紫外光束,极紫外光束照射在极紫外掩模上,若极紫外掩模具有缺陷,会产生散射线,光学组件吸收散射线并将散射线形成光学图像,图像采集装置采集光学图像,实现暗场成像
  • 暗场成像检测系统
  • [发明专利]一种表面检测装置及方法-CN201911251911.0有效
  • 刘亮;韩晓荣 - 上海精测半导体技术有限公司
  • 2019-12-09 - 2021-07-30 - G01N21/95
  • 本发明实施例公开了一种表面检测装置及方法,该表面检测装置包括:发射模块、扫描模块、散射探测模块和定位模块;发射模块用于发射检测光束;扫描模块用于控制检测光束沿第一方向移动,以使入射至被测物体表面的检测光束沿第一方向形成一个单元扫描路径;散射探测模块用于接收检测光束经由被测物体表面散射散射;定位模块设置在检测光束在被测物体表面产生的反射光束的传播路径上,用于接收任一单元扫描路径内检测光束经由被测物体表面相应单元扫描路径中参考点的反射光束本发明实施例提供的表面检测装置实现散射探测信号和扫描位置的同步,提高了检测精确度。
  • 一种表面检测装置方法
  • [发明专利]一种具有低背景噪声的拉曼光谱采集系统-CN201510248904.0在审
  • 王慧捷;王洋;国宏伟;李奇峰 - 天津大学
  • 2015-05-15 - 2015-09-09 - G01N21/65
  • 本发明公开了一种具有低背景噪声的拉曼光谱采集系统,该拉曼光谱采集系统通过收集侧向拉曼散射,获得了具有低背景噪声的拉曼光谱。本发明通过激发光光路与拉曼散射收集光路的非共轴设计,克服了传统拉曼光谱采集系统收集前向或者后向拉曼散射时易受以激发光束为主的强背景噪声干扰的问题;同时,激发光束从样品上方垂直向下入射的形式,可以构造出线状受激发区域,该线状受激发区域与狭缝高度相匹配;本发明充分利用阵列式检测器的检测面的有效范围,增大入射到阵列式检测器的拉曼散射的光通量,提高了信噪比。
  • 一种具有背景噪声光谱采集系统
  • [实用新型]激光加工设备-CN201520667695.9有效
  • 成奎栋 - 伊欧激光科技(苏州)有限公司
  • 2015-08-31 - 2016-02-24 - B23K26/70
  • 一种激光加工设备,包括产生激光束的光源,还包括能够将激光束照射在加工对象时得到的散射和激光束进行分离的光分离系统、接收从所述光分离系统中发出激光束的第一镜子、用于集光并将激光束传达给加工对象的集光镜、用于对由光分离系统分离出的加工对象散射进行检查并实时发出加工状态信号的光电探测器。光源发出的激光通过光分离系统后再通过第一镜子、集光镜,照射在加工对象上完成加工,光分离系统再将接收由激光照射在加工对象时得到的散射,并将由光源发出的激光进行分离,光电探测器实时接受来自光分离系统的散射实时分析检测加工状态
  • 激光加工设备
  • [发明专利]一种缺陷检测装置-CN202010333954.X有效
  • 于凯航 - 上海御微半导体技术有限公司
  • 2020-04-24 - 2021-09-14 - G01N21/88
  • 本发明公开了一种缺陷检测装置,包括:光源,用于出射检测光束,并入射至待测物,待测物对检测光束进行透射、反射或散射,形成携带待测物的缺陷信息透射、反射或散射;成像单元,位于透射、反射或散射的传输路径上;成像单元至少包括一组成像组件,成像组件包括成像透镜、偏振微透镜阵列和光电探测器,透射、反射或散射经成像透镜之后,入射至偏振微透镜阵列,并经偏振微透镜阵列透射出待成像光束,光电探测器用于根据待成像光束形成待测物图像
  • 一种缺陷检测装置
  • [发明专利]一种光散射颗粒测量装置及方法-CN201110176897.X有效
  • 沈建琪;王华睿 - 上海理工大学
  • 2011-06-28 - 2012-02-15 - G01N15/02
  • 本发明公开了一种光散射颗粒测量装置及方法,装置依次设置发散光束模块、测量区、接收透镜、多元光电探测器、透射光探测器、信号处理电路和模数转换器,测量区中的颗粒被发散光束照射,散射与透射光同时被接收透镜收集,散射投射到多元光电探测器的各个探测单元,得到散射分布信号,入射光中未被散射的部分光被透射光探测器接收,得到透射光信号,信号处理电路和模数转换器对散射分布信号和透射光信号进行放大、采集和转换,根据散射分布信号和透射光信号计算得到颗粒粒径分布和浓度信息
  • 一种散射颗粒测量装置方法

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