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- [发明专利]暗场成像检测系统-CN202110976103.1在审
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马翔宇;吴晓斌;沙鹏飞;谢婉露;韩晓泉
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中国科学院微电子研究所
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2021-08-24
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2021-12-14
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G01N21/88
- 本发明公开了一种暗场成像检测系统,暗场成像检测系统包括真空腔室、光源、光学组件和图像采集装置,真空腔室内设有检测位,检测位用于放置极紫外掩模,光源设于真空腔室内且用于向极紫外掩模发射极紫外光束,光学组件设于真空腔内,光学组件用于接收经极紫外掩模发出的散射光线并将散射光线形成光学图像,图像采集装置用于采集光学图像。进行检测时,启动暗场成像检测系统,光源发出极紫外光束,极紫外光束照射在极紫外掩模上,若极紫外掩模具有缺陷,会产生散射光线,光学组件吸收散射光线并将散射光线形成光学图像,图像采集装置采集光学图像,实现暗场成像
- 暗场成像检测系统
- [发明专利]一种表面检测装置及方法-CN201911251911.0有效
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刘亮;韩晓荣
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上海精测半导体技术有限公司
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2019-12-09
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2021-07-30
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G01N21/95
- 本发明实施例公开了一种表面检测装置及方法,该表面检测装置包括:发射模块、扫描模块、散射光探测模块和定位模块;发射模块用于发射检测光束;扫描模块用于控制检测光束沿第一方向移动,以使入射至被测物体表面的检测光束沿第一方向形成一个单元扫描路径;散射光探测模块用于接收检测光束经由被测物体表面散射的散射光束;定位模块设置在检测光束在被测物体表面产生的反射光束的传播路径上,用于接收任一单元扫描路径内检测光束经由被测物体表面相应单元扫描路径中参考点的反射光束本发明实施例提供的表面检测装置实现散射探测信号和扫描位置的同步,提高了检测精确度。
- 一种表面检测装置方法
- [实用新型]激光加工设备-CN201520667695.9有效
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成奎栋
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伊欧激光科技(苏州)有限公司
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2015-08-31
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2016-02-24
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B23K26/70
- 一种激光加工设备,包括产生激光束的光源,还包括能够将激光束照射在加工对象时得到的散射光和激光束进行分离的光分离系统、接收从所述光分离系统中发出激光束的第一镜子、用于集光并将激光束传达给加工对象的集光镜、用于对由光分离系统分离出的加工对象散射光进行检查并实时发出加工状态信号的光电探测器。光源发出的激光通过光分离系统后再通过第一镜子、集光镜,照射在加工对象上完成加工,光分离系统再将接收由激光照射在加工对象时得到的散射光,并将由光源发出的激光进行分离,光电探测器实时接受来自光分离系统的散射光实时分析检测加工状态
- 激光加工设备
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