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[发明专利]掩膜集成框架及其组装方法-CN202010680145.6在审
发明人：张国梦;嵇凤丽;吴建鹏;黄琰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜集成框架，包括框架，固定于框架上的多个精细金属掩膜板、多个间隔设置的支撑条和多个间隔设置的遮挡条；精细金属掩膜板包括有效蒸镀区和无效蒸镀区；多个遮挡条与精细金属掩膜板平行设置，且相邻两个精细金属掩膜板之间设置有一个遮挡条；多个支撑条与多个遮挡条相交设置，且多个支撑条支撑于精细金属掩膜板的无效蒸镀区；精细金属掩膜板具有与其延伸方向相垂直设置的第一中心线，在每个精细金属掩膜板的至少两个对称设置于第一中心线两侧的无效蒸镀区内设置有焊接部，焊接部用于将精细金属掩膜板与相应的支撑条进行焊接。本发明还涉及一种掩膜集成框架的组装方法。
集成框架及其组装方法

[发明专利]一种对位掩膜板、掩膜板及制作方法-CN201910905406.7在审
发明人：韩冰;李伟丽;刘明星;王水俊 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种对位掩膜板、掩膜板及制作方法，其中，对位掩膜板包括：对位主体，包括对位部和遮挡部，对位部与遮挡部一体成型，对位部与遮挡部之间设置有第一刻蚀线，对位部包括对位标记，对位标记用于对位掩膜板与掩膜框架对位，遮挡部用于遮挡待蒸镀基板上的非蒸镀区域。其中，通过将对位部和遮挡部一体成型，降低了张网时长，提高了对位部和遮挡部在张网过程中的抗形变能力，有利于窄化对位部与遮挡部，适应于高排版率需求；张网后沿第一刻蚀线切割，避免了移动掩膜板过程中遮挡部对对位部的影响
对位部遮挡对位掩膜板张网对位标记一体成型抗形变能力蒸镀基板刻蚀线线切割后沿刻蚀时长掩膜窄化蒸镀排版移动申请制作

[发明专利]一种掩膜板及制作方法、显示面板及显示装置-CN202010092628.4有效
发明人：潘晟恺;熊腾青;乔永康 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2020-02-14 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G03F1/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜板及制作方法、显示面板及显示装置，其中，所述掩膜板包括：所述掩膜板包括第一完全遮挡区域，包围所述第一完全遮挡区域的部分遮挡区域，以及包围所述部分遮挡区域的第二完全遮挡区域，所述第一完全遮挡区域设置有第一遮挡结构，所述部分遮挡区域设置有部分遮挡结构，所述第二完全遮挡区域设置有第二遮挡结构，其中，所述部分遮挡结构由网格状镂空结构形成。通过该掩膜板能够实现对非规则显示屏的制作。
一种掩膜板制作方法显示面板显示装置

[发明专利]掩膜板及掩膜组件-CN201810454597.5有效
发明人：李金库;康梦华;王梦凡 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板及掩膜组件，所述掩膜板包括掩膜板主体；设置于所述掩膜板主体上的至少一个子掩膜板，所述子掩膜板包括蒸镀区和遮挡部；在所述子掩膜板的厚度方向上，所述蒸镀区设置有贯穿所述子掩膜板的第一蒸镀孔；所述遮挡部包括隔离区和虚设区，所述虚设区与显示屏的异形区对应，所述隔离区位于所述虚设区与所述蒸镀区之间，在所述子掩膜板的厚度方向上，所述虚设区设置有第二蒸镀孔，所述第二蒸镀孔贯穿所述子掩膜板，和/或所述虚设区开设有至少一个第一凹槽，所述第一凹槽的深度小于所述子掩膜板的厚度。如此，降低了遮挡部的应力集中，从而使掩膜板主体在张网过程中受力均匀，进一步降低了掩膜板主体在张网过程中的褶皱现象。
掩膜板蒸镀虚设遮挡掩膜组件隔离区张网受力均匀应力集中褶皱现象异形区贯穿显示屏

[发明专利]掩膜组件及其制造方法-CN201811005162.9有效
发明人：林治明 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供一种掩膜组件及其制造方法，其包括异型条状掩膜体，异型条状掩膜体包括异型遮挡片和支撑条，支撑条之间形成一间隔第二掩膜板和异型遮挡片接触的间隔空间。本申请通过异型条状掩膜体的间隔空间的设置，避免了第二掩膜板和第一掩膜板的异型条状掩膜体存在非线性接触的情况，提高了玻璃基板和第二掩膜板贴合的均匀性。
组件及其制造方法

[发明专利]一种便于利用台阶仪进行膜厚测量的掩膜板-CN201910910919.7在审
发明人：刘幼航;刘强;聂鸿飞 -专利权人：山东浪潮人工智能研究院有限公司
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种便于利用台阶仪进行膜厚测量的掩膜板，所述掩膜板的结构包括三层子掩膜板：第一层子掩膜板包括两个区域：膜厚测量遮挡区域，开口区域；第二层子掩膜板分为两个区域：膜厚测量区域，基片盛放区域；第三层子掩膜板为一个平板结构，为上述两层子掩膜板以及待镀膜基片提供支撑。主要解决对传感器进行镀膜后无法利用台阶仪直接对传感器等基片表面金属电极镀膜厚度进行测量的问题，通过对膜厚测量遮挡区域，膜厚测量遮挡滑块的尺寸设计可以为台阶仪的探针移动提供足够的距离，便于在每次镀膜实验后利用台阶仪对遮挡区域边缘进行测量，以得到遮挡区域边缘的台阶高度差。
掩膜板膜厚测量遮挡区域台阶仪镀膜传感器测量台阶高度差尺寸设计镀膜基片基片表面金属电极开口区域平板结构遮挡滑块第三层第一层两层三层盛放探针移动支撑

[发明专利]掩膜板支撑框架和掩膜板-CN201710735856.7在审
发明人：杨凡;莫再隆 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2017-08-24 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及显示器制备技术领域，公开了一种掩膜板支撑框架和掩膜板，用以减少掩膜板褶皱现象的发生，减少混色现象的发生，提高掩膜效果。掩膜板支撑框架，包括外框；焊接于外框上的多个间隔分布的遮挡条和多个间隔分布的支撑条，其中，多个支撑条和多个遮挡条相交设置，任一支撑条与任一遮挡条相交的位置处支撑条上设有容纳遮挡条的缺口，遮挡条朝向缺口的底部的一面与缺口的底部之间设有焊接点
掩膜板支撑框架

[实用新型]一种掩膜版-CN202021934150.7有效
发明人：张敏;刘飞;卢刚;马昀锋;杜娟 -专利权人：黄河水电光伏产业技术有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司
申请日： 2020-09-07 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜版，用于制备HIBC电池的异质结非晶硅层，异质结非晶硅层包括横向呈叉指状排列的P区和N区，其中，P区与N区之间的间隔区为G区，掩膜版包括：板体，板体上设有开口，开口上方设有多个横向间隔排列的遮挡件，多个遮挡件可相对板体横向移动，每一遮挡件包括第一遮挡件和容置于第一遮挡件内的第二遮挡件，第二遮挡件可横向伸出第一遮挡件，第一遮挡件用于遮挡N区、及与N区相邻的G区，第一遮挡件和伸出第一遮挡件的第二遮挡件共同用于遮挡本实用新型的掩膜版，以提升掩膜版的使用性能，简化掩膜沉积工艺过程，避免由于更换掩膜板对P层区域造成的污染。
一种掩膜版

[发明专利]掩膜板的制备方法及掩膜板-CN202011135282.8有效
发明人：刘景涛 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种掩膜板的制备方法及掩膜板。掩膜板的制备方法包括：固定支撑条，具有开口的框式框架上固定多个支撑条；设置第一掩膜条，提供第一组遮挡条和多条第一掩膜条连接于上边框和下边框设置，并通过第一组遮挡条保持第一掩膜条不产生变形；设置第二掩膜条，提供第二组遮挡条及多条第二掩膜条进行张网对位连接于上边框和下边框，通过第二组遮挡条向上边框和下边框提供相互靠拢的拉力，至少使部分第一掩膜条沿远离框式框架在第一方向X上的中心线的方向变形。旨在改善掩膜板在蒸镀过程中因发生形变而导致蒸镀材料镀偏的问题，提高蒸镀精确度。
掩膜板制备方法

[发明专利]掩膜版-CN202310195715.6在审
发明人：张丁成;王盼盼;韩冰;李慧 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供一种掩膜版。该掩膜版包括：掩膜框架、遮挡掩膜、支撑掩膜以及拉力机构；其中，掩膜框架围设形成中空区域；交叉设置的遮挡掩膜和支撑掩膜，遮挡掩膜的至少部分和支撑掩膜的至少部分在掩膜框架所在平面上的正投影分别位于中空区域内，且与掩膜框架接触；拉力机构设置于掩膜框架上，并与遮挡掩膜和/或支撑掩膜连接，用于施加作用力于遮挡掩膜和/或支撑掩膜，以张紧或松弛遮挡掩膜和/或支撑掩膜。该掩膜版可以匹配不同的目标基板以及同一目标基板的不同位置对遮挡掩膜和/或支撑掩膜的张紧程度的需求，有效改善了掩膜版与目标基板之间的贴合效果，提升了产品良率。
掩膜版

[发明专利]掩膜板组件、显示装置的蒸镀方法及显示装置-CN202111576345.8在审
发明人：赵成雨;王守坤;秦韶阳;孙增标 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种掩膜板组件、显示装置的蒸镀方法及显示装置，掩膜板组件包括第一掩膜板和第二掩膜板。第一掩膜板包括第一边框、位于第一边框内的第一遮挡部、连接第一边框和第一遮挡部的第一连接部、以及第一蒸镀开口，第一蒸镀开口对应于至少部分像素开口位置，第一遮挡部对应于透光区的位置；第二掩膜板与第一掩膜板配合使用，第二掩膜板包括第二边框、位于第二边框内的第二遮挡部、连接第二边框和第二遮挡部的第二连接部、以及第二蒸镀开口，第二蒸镀开口对应于至少两个像素开口之间位置，第二遮挡部对应于透光区的位置。
掩膜板组件显示装置方法

[发明专利]掩膜板、掩膜装置及其应用方法-CN201910540107.8在审
发明人：肖世艳 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-06-21 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：为实现OLED CUP技术，本发明提供一种掩膜板、掩膜装置及掩膜板的应用方法，掩膜板用于基板成膜，所述基板包括一预设的开孔区，所述掩膜板被一分隔线分为遮光区和开口区两部分；所述掩膜板包括一遮挡区；当所述掩膜板与所述基板被对位设置时，所述遮挡区在所述基板表面的投影位于所述开孔区内；本发明提供一种掩膜板、掩膜装置及掩膜板的应用方法，使用两种不同的掩膜板对同一基板表面先后进行二次沉积处理，使得基板上表面除被遮挡区外的每处位置都被涂覆成膜，且不会产生附膜重叠的现象，可以提高有机材料在通孔周边区域成膜的均匀性，防止基板表面的同一位置存在多个不同色的子像素，从而可以防止混色或者色偏的现象产生，提高显示面板的质量。
掩膜板掩膜装置遮挡区基板表面成膜基板应用基板上表面二次沉积基板成膜通孔周边同一基板同一位置显示面板有机材料均匀性开孔区开口区遮光区子像素对位附膜隔线混色开孔色偏涂覆预设投影

[实用新型]一种掩膜板组件及掩膜板-CN202222848962.5有效
发明人：张麒麟;吴晟远 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜板组件及掩膜板，涉及TFT基板蒸镀技术领域。本实用新型的掩膜板组件应用于高精细掩膜板，包括：多个遮挡条，用于遮挡所述精细掩膜条间缝隙，避免材料蒸镀到TFT基板；多个镂空部，用于形成每一蒸发源对应的膜厚监控区域，对应不同蒸发源设置于所述遮挡条的不同位置上，且不位于所述遮挡条与支撑条重叠部分；所述镂空部的位置均分别映射于TFT基板的非电路区，且每一所述镂空部的面积至少大于光学薄膜量测设备的光斑。本实用新型实施例通过一种新型的掩膜板组件和掩膜板，实现了在生产过程中对各个蒸发源镀膜均匀性进行在线测量及监控。
一种掩膜板组件

[实用新型]一种高精度蒸镀金属掩膜板结构-CN201621351499.1有效
发明人：周扬川;柯贤军;吴俊雄;冉应刚;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2016-12-10 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高精度蒸镀金属掩膜板结构，由掩膜板框架、金属掩膜基板、支撑条和遮挡条组成，所述金属掩膜基板安装在所述掩膜板框架上，所述金属掩膜基板和所述掩膜板框架之间安装所述支撑条，所述金属掩膜基板之间安装所述遮挡条，用于遮挡相邻掩膜基板之间的缝隙，所述掩膜基板上设置有蒸镀区和设置在所述蒸镀区两端的刻蚀区，本实用新型所提供的一种高精度蒸镀金属掩膜板结构具有使用方便、结构精巧、便于操作等优点，可以使得蒸镀空间区域变形均匀
一种高精度镀金属掩膜板结

[发明专利]一种掩膜板及其制作方法-CN201810382953.7有效
发明人：罗程远 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种掩膜板及其制作方法，涉及电子元器件领域，能够解决现有的掩膜板较难清洗的问题。所述掩膜板包括：掩膜基板，掩膜基板包括开口区域和遮挡区域；设置在掩膜基板的第一表面上的可失粘胶层，可失粘胶层覆盖遮挡区域；设置在可失粘胶层远离掩膜基板的表面上的保护层，保护层覆盖可失粘胶层。本发明用于制作膜层。
一种掩膜板及其制作方法