[发明专利]一种对位掩膜板、掩膜板及制作方法在审
| 申请号： | 201910905406.7 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN110527949A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 韩冰;李伟丽;刘明星;王水俊 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司： | 11606 北京华进京联知识产权代理有限公司 | 代理人： | 颜潇<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种对位掩膜板、掩膜板及制作方法，其中，对位掩膜板包括：对位主体，包括对位部和遮挡部，对位部与遮挡部一体成型，对位部与遮挡部之间设置有第一刻蚀线，对位部包括对位标记，对位标记用于对位掩膜板与掩膜框架对位，遮挡部用于遮挡待蒸镀基板上的非蒸镀区域。其中，通过将对位部和遮挡部一体成型，降低了张网时长，提高了对位部和遮挡部在张网过程中的抗形变能力，有利于窄化对位部与遮挡部，适应于高排版率需求；张网后沿第一刻蚀线切割，避免了移动掩膜板过程中遮挡部对对位部的影响，提高了对位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 对位部 遮挡 对位 掩膜板 张网 对位标记 一体成型 抗形变能力 蒸镀基板 刻蚀线 线切割 后沿 刻蚀 时长 掩膜 窄化 蒸镀 排版 移动 申请 制作 | ||
【主权项】：
1.一种对位掩膜板，其特征在于，所述对位掩膜板包括对位主体，所述对位主体包括对位部和遮挡部，所述对位部与所述遮挡部一体成型，所述对位部与所述遮挡部之间设置有第一刻蚀线，所述对位部包括对位标记，所述对位标记用于所述对位掩膜板与掩膜框架对位，所述遮挡部用于遮挡待蒸镀基板上的非蒸镀区域。/n
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