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[发明专利]气体回收设备-CN96110281.0无效
发明人：野沢成祯;富田伸二 -专利权人：缔酸株式会社
申请日： 1996-07-16 - 公布日： 1997-05-21 - 主分类号： F25J3/08 文献下载
摘要：本发明的气体回收设备有一CVD装置，它包括具有惰性气体供应通道以及清洗气体供应通道的气体输入部分，这些通道都与CVD装置相连；还设有废气排放部分，废气循环部分，冷却部分以及回收部分；稀释惰性气体包括沸点低于清洗气体的气体；供应成分与稀释惰性气体相同的液态冷惰性气体的供应部分、由冷惰性气体的汽化热冷却的惰性气体循环部分以及惰性气体排放部分构成冷却部分；惰性气体排放部分连接惰性气体供应通道。
气体回收设备

[发明专利]包括安全装置的惰性化装置-CN200780038596.2有效
发明人： E-W·瓦格纳 -专利权人：艾摩罗那股份公司
申请日： 2007-08-02 - 公布日： 2009-09-09 - 主分类号： A62C39/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于设定并保持被监控的保护空间(2)内的可预定惰性化等级的一种惰性化装置(1)。为此目的，惰性化装置(1)包括供应惰性气体的可控惰性气体系统(10，11，12)、连于惰性气体系统(10，11，12)且可连于保护空间(2)以将惰性气体系统(10，11，12)供应的惰性气体供给至保护空间(2)的供给管路系统(20)、以及设计成控制惰性气体系统(10，11，12)的惰性气体系统控制单元(30)，控制方式使得惰性气体系统(10，11，12)供应惰性气体的速率为适于设定和/或保持保护空间(2为确保即使惰性气体系统(10，11，12)控制紊乱时或惰性气体系统控制单元(30)发生故障时供给惰性气体至保护空间(2)的速率原则上可被相应调节，使得保护空间(2)内被设定和/或保持第二可预定惰性化等级，提供了根据本发明相应设计的安全装置(40，41，42，43)。
包括安全装置惰性化装

[发明专利]用于制造惰性气体氛围的方法、惰性化设备和惰性气体箱-CN202210511868.2在审
发明人： J·利奥波德;K·科赫;G·施普赖策;C·格罗塞尔;P·哈本沙登;H·科尔布尔;H·魏萨切尔 -专利权人：布劳恩惰性气体系统有限公司;布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B01J19/14 文献下载
摘要：用于制造惰性气体箱100中的惰性气体氛围的方法，包括以下步骤：‑提供所述惰性气体箱100，所述惰性气体箱被气体充注，该气体应通过惰性气体被替换，以及‑将所述惰性气体供应到所述惰性气体箱100中，直到将待替换气体从所述惰性气体箱100中移除，并且所述惰性气体箱100被充注所述惰性气体，其中，‑所述惰性气体的供应以这样高的、分布在所述惰性气体箱100的横截面上的体积流进行，使得产生所述惰性气体的定向的置换流1，所述置换流将所述待替换气体从所述惰性气体箱也公开了惰性化设备200，配置为用于制造惰性气体箱100中的惰性气体氛围，和一种配备有惰性化设备200的惰性气体箱。
用于制造惰性气体氛围方法惰性设备

[发明专利]加料装置及熔盐电解过程中的加料方法-CN201611075583.X有效
发明人：孙宁磊;王玮玮;杜尚超;王魁珽;刘国 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2016-11-28 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： C25C3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种加料装置及熔盐电解过程中的加料方法。该加料装置包括：定量装料管，加料管以及惰性气体供应装置；其中，定量装料管上设置有出料口；加料管上设置有进料口、惰性气体进口以及加料口，进料口与出料口连接；惰性气体供应装置与惰性气体进口连接。利用上述加料装置，先将原料放入定量装料管中，然后将定量装料管与加料管连接。在实际的加料过程中，将加料管与待加料的体系之间进行密封连接。随后，可以先开启惰性气体供应装置，通过惰性气体进口向加料管内部进行吹气。而后开启定量装料管，在惰性气体的携带作用下，向体系中进行加料。由于该加料过程处于惰性气氛下，因而能够有效避免向反应体系引入空气。
加料加料管装料管加料装置惰性气体供应装置惰性气体进口熔盐电解出料口进料口惰性气体密封连接加料口吹气放入携带引入

[发明专利]用于通过金属沉积进行三维打印的装置-CN202010089619.X有效
发明人：特伦斯·格雷尔;塞德里克·皮埃尔·雅克·科拉斯;雨果·西斯塔赫 -专利权人：赛峰航空器发动机
申请日： 2020-02-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B23K26/34 文献下载
摘要：本发明公开了用于通过金属沉积进行三维打印的装置(10b)，包括用于在惰性气氛下将金属丝(18)引导到外壳(12)中的引导管(16b)，其特征在于，该装置包括注入设备(30)，用将惰性气体(32)注入到引导管(16b)中，所述注入设备(30)包括惰性气体供应管道(36)，其下游端(362)通向导管(16b)，并且其上游端(361)连接惰性气体供应设备(34)，引导管(16b)基本上是直的，在通向引导管(16b)的惰性气体供应管道(36)的出口处，惰性气体供应管道(36)的下游端(362)在与引导管的延伸方向(X)形成严格地小于90°的方向延伸。惰性气体供应管道的布置限制了将空气引入到外壳的惰性空气中。
用于通过金属沉积进行三维打印装置

[实用新型]晶圆存储装置-CN202021527368.0有效
发明人：杨富可;杨浩;兰升友;张嘉修 -专利权人：重庆康佳光电技术研究院有限公司
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆存储装置。该装置包括箱体、门体及惰性气体供应单元：箱体具有腔体，且箱体设置有惰性气体进口和开口，开口用于使晶圆进出；门体设置在箱体的开口处，门体用于控制开口的开闭；惰性气体供应单元与惰性气体进口相连通，且惰性气体供应单元用于向箱体内吹扫惰性气体本实用新型提供的晶圆存储装置，通过设置可开闭的门体，能够在晶圆装入箱体后起到隔离外界空气的作用。通过设置惰性气体供应单元，能够在晶圆装入箱体、门体关闭后对晶圆表面进行惰性气体吹扫，以吹掉晶圆表面的灰尘等脏污，进一步提高晶圆表面的洁净度。因此，采用本实用新型的晶圆存储装置能够有效减少晶圆与外界空气的接触时长，降低晶圆被污染的可能。
存储装置

[发明专利]功率产生装置、具有功率产生装置的运输工具和用于调节惰性气体压力的方法-CN201680044737.0在审
发明人： M.博格;W.菲姆尔;J.G.普伦鲍尔 -专利权人： MTU腓特烈港有限责任公司
申请日： 2016-07-07 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： F02M21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种功率产生装置（1），所述功率产生装置具有内燃机（3）；为了输送燃烧气体与内燃机（3）连接的燃烧气体供应装置（5），其中燃烧气体供应装置（5）至少在内燃机（3）的区域中具有至少双壁的管路（9），所述管路具有针对燃烧气体的内管路体积（11）和外管路体积（13），其中外管路体积（13）与惰性气体供应装置（15）流体连接；燃烧气体压力调节装置（17），其设定用于调节内管路体积（11）中的燃烧气体压力；和惰性气体压力调节装置（19），其设定用于调节外管路体积（13）中的惰性气体压力，其中燃烧气体压力调节装置（17）和惰性气体压力调节装置（19）设定用于选择惰性气体压力和燃烧气体压力，从而使惰性气体压力高于燃烧气体压力
功率产生装置具有运输工具用于调节惰性气体压力方法

[发明专利]燃料电池发电系统及控制该系统的方法-CN02143214.7无效
发明人：上田哲也;宮内伸二;尾関正高;麻生智倫 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2002-09-19 - 公布日： 2003-04-09 - 主分类号： H01M8/04 文献下载
摘要：一种燃料电池发电系统，包括重整炉，通过从原料气体供应装置所提供的原料气体中产生富氢气体；燃料电池，在其中引起在所述重整炉中产生的富氢气体和氧化剂气体彼此反应以产生电功率；惰性气体供应装置，将特定惰性气体至少供应给所述重整炉；以及替代气体供应装置，将除所述特定惰性气体外的替代气体至少提供给所述重整炉，其中当所述燃料电池操作停止时，如果所述燃料电池操作停止是普通的停止，就使用所述替代气体供应装置来排放至少留在所述重整炉中的富氢气体，并且如果所述燃料电池操作停止是紧急停止，就使用所述惰性气体供应装置执行所述排放。
燃料电池发电系统控制方法

[实用新型]一种光阻保护装置及光阻供应装置-CN202223375904.1有效
发明人：闵燕军;徐丹 -专利权人：中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本申请提供一种光阻保护装置及光阻供应装置，所述光阻保护装置包括：惰性气体容器，包括出气口和进气口，所述出气口连接至所述光阻供应装置中的存储罐；进气管路，连接所述进气口和惰性气体源，用于运输惰性气体；调节阀，设置于所述进气管路，用于调节所述惰性气体的流量。本申请提供一种光阻保护装置及光阻供应装置，可以避免光阻被污染，提高光刻工艺效果。
一种保护装置供应装置

[发明专利]激光热处理设备-CN201310572113.4有效
发明人：梁相熙;沈亨基;罗玉钧;安珍荣 -专利权人： AP系统股份有限公司;三星显示有限公司
申请日： 2013-11-13 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： C04B32/02 文献下载
摘要：所述设备包含：反应腔室，允许晶片支撑件位于其内部空间中且包括设置在其顶面上的窗口；部分除氧模块(OPDM)，位于窗口与晶片支撑件之间且包括注射狭缝，惰性气体经由注射狭缝而注入；惰性气体注射管，插入到圆筒中且允许惰性气体经由注射狭缝流入；惰性气体供应管，分别向惰性气体注射管的一端和另一端供应惰性气体；以及注射控制单元，根据惰性气体的测量注射量来个别地控制惰性气体供应管的一端和另一端的注射量。
激光热处理设备

[发明专利]一种甲醇供应装置及系统-CN202310196939.9在审
发明人：张志华 -专利权人：安庆泰邦船舶科技有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本发明公开一种甲醇供应装置及系统，所述装置包括甲醇单元、惰性气体单元和泄放单元，所述甲醇单元能够输出具有稳定的压力、温度和流量的甲醇；所述惰性气体单元的输出端与所述甲醇单元连接，能够对所述甲醇单元进行泄露检测和降低甲醇燃烧爆炸的危险性；所述泄放单元与所述惰性气体单元的输出端和所述甲醇单元连接，能够泄放所述甲醇单元和惰性气体单元的管路中残留的惰性气体和甲醇。通过本发明公开的甲醇供应装置及系统，能够保证甲醇的安全使用。
一种甲醇供应装置系统

[实用新型]电子级三氟化氯的充装装置-CN202120295239.1有效
发明人：李纪明;陈施华;申黎明;华小林;周玉川 -专利权人：福建德尔科技有限公司
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： F17C5/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种电子级三氟化氯的充装装置。装置包括：罐装单元，包括充装罐，以及用于检测充装罐重量的电子秤以及用于给充装罐降温的降温组件；充装检测单元，分别与充装罐连接的三氟化氯供应管路、氟气供应管路、氮气供应管路以及排空检测管路，设置于各个管路中的过滤器以及自动阀门；防护单元，包括用于容置充装检测单元的内防护层、外防护层、冷凝组件、惰性气体入口、惰性气体出口，内防护层以及外防护层之间形成容置惰性气体的保护腔，冷凝组件设置于保护腔中，惰性气体入口以及惰性气体出口分别与保护腔联通
电子氟化装置

[实用新型]用于中间包盖的防氧化装置-CN202223115349.9有效
发明人：刘晓利;卢淑艳 -专利权人：吕梁建龙实业有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B22D41/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于中间包盖的防氧化装置，包括：中间包，所述中间包为长方体槽型容器；中间包盖，所述中间包盖位于所述中间包顶部与所述中间包相连接，所述中间包盖顶部设有孔洞；以及惰性气体供应装置，所述惰性气体供应装置为中空的长方形结构，所述长方形结构面向中心的一侧设有多个排气孔，所述排气孔用于释放出惰性气体，所述惰性气体供应装置设置在所述中间包顶部并嵌套在所述中间包盖底部内。本实用新型通过设置惰性气体供应装置，防止钢水氧化，大大提高了钢水的纯净度，提高了钢的质量，减少了钢中夹杂物的产生，增加了年创效益。
用于中间氧化装置

[发明专利]板干燥器-CN201110042809.7有效
发明人：朴志香;宋官燮;许经宪;安善爀 -专利权人：三星SDI株式会社
申请日： 2011-02-21 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： H01M4/04 文献下载
摘要：所述板干燥器包括热处理炉，所述热处理炉容纳上面形成有活性物质的板，并具有惰性气体供应口和惰性气体排气口；测量所述热处理炉的内部温度的温度传感器；测量所述热处理炉的内部氧气浓度的氧气传感器；惰性气体供应单元，当所述热处理炉的内部温度在预定范围内或当所述热处理炉的内部氧气浓度在预定范围内时，所述惰性气体供应单元供应惰性气体；以及控制所述惰性气体供应单元的控制器。
干燥器

[发明专利]气体注射单元以及包含所述气体注射单元的热处理设备-CN201410563556.1有效
发明人：梁相熙;李基雄;严泰骏 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2014-10-21 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：提供一种气体注射单元以及一种包含气体注射单元的热处理设备。经配置以将惰性气体注射到衬底上的气体注射单元包含：气体注射块，气体注射块具有气体注射空间，惰性气体穿过气体注射空间，并且气体注射块具有注射狭缝，注射狭缝界定在下侧中、具有在衬底的一个方向上延伸的线形状，并且允许惰性气体穿过注射狭缝，以便朝向衬底引导惰性气体；以及气体供应部件，气体供应部件包含第一储箱，第一储箱在注射狭缝的延伸方向上延伸，并且在第一储箱的中心方向上具有从第一储箱的两个端逐渐地减小的内径，惰性气体是通过两个端被引入，气体供应部件布置在气体注射块内并且连接到气体注射空间，以将惰性气体供应到气体注射空间中。
气体注射惰性气体注射储箱狭缝气体供应部件衬底热处理设备延伸惰性气体供应穿过中心方向线形状减小界定引入配置

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