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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基底传送设备和基底加工设备-CN201310572302.1有效
发明人：沈亨基;金贤中;安珍荣;车恩熙 -专利权人： AP系统股份有限公司;三星显示有限公司
申请日： 2013-11-13 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种基底传送设备以及一种基底加工设备，且更确切地说，涉及一种基底加工设备，其中当基底进行加工时，通过传送基底而使薄膜结晶于基底上。基底传送设备包含：通过空气轴承滑动的传送台；以及围绕空气轴承的吸收器，用来吸收从空气轴承喷射出之后折回的空气。
基底传送设备加工

[发明专利]激光热处理设备-CN201310572113.4有效
发明人：梁相熙;沈亨基;罗玉钧;安珍荣 -专利权人： AP系统股份有限公司;三星显示有限公司
申请日： 2013-11-13 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： C04B32/02 文献下载
摘要：本发明提供一种激光热处理设备。所述设备包含：反应腔室，允许晶片支撑件位于其内部空间中且包括设置在其顶面上的窗口；部分除氧模块(OPDM)，位于窗口与晶片支撑件之间且包括注射狭缝，惰性气体经由注射狭缝而注入；惰性气体注射管，插入到圆筒中且允许惰性气体经由注射狭缝流入；惰性气体供应管，分别向惰性气体注射管的一端和另一端供应惰性气体；以及注射控制单元，根据惰性气体的测量注射量来个别地控制惰性气体供应管的一端和另一端的注射量。本发明提供的激光热处理设备在使用激光束进行用于结晶的热处理的同时防止晶片暴露于氧之下。
激光热处理设备

[发明专利]激光处理装置及其控制方法-CN201210557488.9有效
发明人：沈亨基;苏二彬;李基雄;安珍荣 -专利权人： AP系统股份有限公司;三星显示有限公司
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本文提供一种激光处理装置及其控制方法，其能够仅对衬底的待进行激光处理的部分选择性地进行激光处理，并且能够防止由于其中产生的振动而造成的故障。该激光处理装置包括：反应室，包括上面放置衬底的平台；激光发生单元，发射激光束并包括激光束阻挡单元；光学单元，通过反射和折射所述激光束，将从该激光发生单元照射的激光束引入该反应室；振动检测单元，检测该反应室、该激光发生单元、该光学单元或该平台的振动；以及控制器，根据从该振动检测单元发送的振动信号确定是否操作该阻挡单元。
激光处理装置及其控制方法

[发明专利]退火装置-CN201210551881.7有效
发明人：梁相熙;李基雄;金圣进;安珍荣 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2012-12-18 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： C03B25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种退火装置。退火装置包括：底板单元，所述底板单元具有激光束透过的入射口；密封单元，所述密封单元固定至所述底板单元以通过气动压力膨胀；以及顶板单元，所述顶板单元放置在所述底板单元上且与所述密封单元紧密接触。所述密封单元可通过气动压力膨胀或收缩以防止所述密封单元卡在所述顶板单元上，从而允许所述底板单元平稳地与所述顶板单元分开。
退火装置

[发明专利]对接导向装置-CN201210560640.9有效
发明人：金圣进;金利镐;安珍荣;金廷奎 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请提供了一种对接导向装置。所述对接导向装置包括：底部框架单元；可移动单元，所述可移动单元可移动地安装在所述底部框架单元上；以及联接单元，所述联接单元放置在所述可移动单元上并且被联接到导向模块。对接导向装置可以调节导向模块的位置，使得导向模块被配置在光学模块附近，从而改善光学模块和导向模块的组装效率。
对接导向装置

[发明专利]激光退火装置-CN201210546553.8有效
发明人：梁相熙;李基雄;崔东奎;安珍荣 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2012-12-14 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： B23K26/08 文献下载
摘要：本公开提供一种激光退火装置。所述激光退火装置包括：底板单元，所述底板单元具有激光束透过的入射口；顶板单元，所述顶板单元放置在所述底板单元上且具有用于覆盖所述入射口的透明窗；第一切割器单元，所述第一切割器单元安装在所述顶板单元上且部分阻挡激光束；以及第二切割器单元，所述第二切割器单元安装在所述底板单元上且部分阻挡已经透过所述入射口的激光束。所述激光退火装置双重阻挡激光束以抑制激光束的衍射，从而允许激光束精确地扫描基板。
激光退火装置

[发明专利]可调节激光束线条长度的激光加工装置-CN201010594016.1有效
发明人：柳孝京;石俊英;权五成;安珍荣 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2010-12-17 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明的可调节激光束线条长度的激光加工装置，包括：向电路板照射线条状激光束的激光照射装置，用于放置上述电路板、以与上述激光束线条垂直的方向水平移动地设置的电路板支撑台，位于上述激光照射装置和上述电路板支撑台之间、屏蔽上述激光束线条两侧端的同时、以可按上述激光束线条长度方向水平移动的方式、相向地设置在上述激光束两侧端的第1光束屏蔽装置及第2光束屏蔽装置，对上述第1光束屏蔽装置及第2光束屏蔽装置的移动进行控制的光束屏蔽控制装置。本发明中，在需要旋转移动电路板的情况下，可以只对电路板的一部分，有所选择地进行热处理。
调节激光束线条长度激光加工装置

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