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[实用新型]一种光阻保护装置及光阻供应装置-CN202223375904.1有效
发明人： 闵燕军;徐丹 -专利权人：中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本申请提供一种光阻保护装置及光阻供应装置，所述光阻保护装置包括：惰性气体容器，包括出气口和进气口，所述出气口连接至所述光阻供应装置中的存储罐；进气管路，连接所述进气口和惰性气体源，用于运输惰性气体；调节阀，设置于所述进气管路，用于调节所述惰性气体的流量。本申请提供一种光阻保护装置及光阻供应装置，可以避免光阻被污染，提高光刻工艺效果。
一种保护装置供应装置

[实用新型]设备内部阳压监控系统-CN201621430972.5有效
发明人： 闵燕军;黄宽信;袁德贵;胡晓明 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种设备内部阳压监控系统，所述设备内部阳压监控系统包括至少一阳压采样点、阳压检测单元、风量调节单元和控制单元，所述阳压采样点设置于所述设备内，所述阳压检测单元用于检测所述阳压采样点处的阳压，所述控制单元根据所述阳压检测单元的检测结果，控制所述风量调节单元，从而调节所述设备内风量，可以自动调节设备内部的阳压，以减少晶圆在所述设备内作业时产生颗粒。
设备内部监控系统

[实用新型]一种过滤器预湿系统-CN201520788450.1有效
发明人： 闵燕军;黄宽信;袁德贵;胡晓明 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2015-10-12 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： B01D61/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种过滤器预湿系统，包括：连接于厂务供液端，输送预湿液体的送液装置；若干待预湿的过滤器，各过滤器包括进液口、出液口以及出气口，各过滤器通过进液口和出液口串联于所述送液装置的输出端和输入端之间的回路中，各过滤器之间设置有控制阀，各过滤器的出气口经控制阀后连接厂务废液端；控制所述预湿液体流速的压力控制装置。本实用新型通过压力控制来调节预湿液体的流速，进而对过滤器进行气泡排放和过滤膜浸润的操作，实现较高的预湿效果；本实用新型可同时处理多个过滤器的预湿处理，通过回路对预湿液体进行过滤、循环利用，节省了预湿液体，且由于预湿效果好进而可减少光阻的使用量，大大节省了生产成本。
一种过滤器系统