“工艺误差”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1692516个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]电容打开层的套刻误差回补方法-CN201911015756.2有效
发明人：李卫;金若兰 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种电容打开层的套刻误差回补方法，包括获取当前批次器件的测试区域的轮廓图片；根据所述轮廓图片，获取所述测试区域的电容打开层与所述电容层之间的套刻误差；通过当前批次器件的所述套刻误差，回补曝光下一批次器件的电容打开层相邻批次的器件具有相似的制造工艺条件和材料条件，因此相邻批次的器件也具有相近的性能参数，本发明通过获取当前批次器件的套刻误差，并基于套刻误差回补曝光下一批次器件，实现了对电容打开孔的制作工艺制程的有效反馈和调控
电容打开误差方法

[发明专利]一种智能喷涂机器人系统及其喷涂方法-CN201910960106.9在审
发明人：林远长;唐晨;何国田;尚明生;刘东 -专利权人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院;重庆大学
申请日： 2019-10-10 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： B05B13/04 文献下载
摘要：得到模型数据；离线编程单元根据模型数据生成喷涂轨迹；驱动控制单元驱动机器人本体上的喷枪按喷涂轨迹运动并对工件进行喷涂作业；厚度检测单元检测涂层厚度数据并反馈给驱动控制单元，驱动控制单元根据检测数据校准喷涂工艺参数该智能喷涂机器人系统通过三维扫描建模生成喷涂轨迹，适用于各种工件的喷涂，且喷涂轨迹精度较高；通过涂层厚度检测引入喷涂工艺参数误差校准机制，有效降低了喷涂轨迹误差、喷涂工艺参数误差等误差引起的喷涂质量问题
一种智能喷涂机器人系统及其方法

[发明专利]一种锂电池盖帽成型工艺方法-CN202110079416.7在审
发明人：顾利明 -专利权人：滁州市汇能鑫新能源科技有限公司
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： H01M50/152 文献下载
摘要：本发明公开了一种锂电池盖帽成型工艺方法,涉及电池生产技术领域，针对一般电池盖帽冲压成型时误差大，冲压处容易损伤薄板，生产效率低的问题，提出如下方案包括以下步骤：S1、薄板的选取，要求表面无弧点，无裂痕，本发明通过对电池盖帽成型工艺做了改进，使之可以一次性冲压成型多个电池盖帽，而且可以保证误差范围，同时将超声振动软化材料这一技术运动到这里，可以减小误差，使冲压处的结构伤害更小，从而使得到的电池盖帽的误差和光滑度质量更好,同时将电池盖帽冲压成型的生产工艺，革新为一次可以冲压成型多个电池盖帽，提供了工作效率。
一种锂电池盖帽成型工艺方法

[发明专利]数据驱动的中医药制造过程工艺参数优化方法-CN202310413626.4在审
发明人：秦威;胡锦华;孙衍宁;郭良训;王勇 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：一种数据驱动的中医药制造过程工艺参数优化方法，通过计算中医药产品生产过程历史工艺参数和产品质量间的最大互信息系数(MIC)，同时构建质量预测模型(PM‑AdaBoost)，根据最大互信息系数和质量预测模型的均方误差计算适应度函数，通过粒子群的初始化、计算适应度函数、多次迭代更新粒子在工艺参数搜索空间的速度和位置，得到中医药产品生产过程中的关键工艺参数和优化质量预测模型，进一步将优化质量预测模型的均方误差作为适应度函数，利用粒子群优化算法得到优化关键工艺参数本发明通过最大信息系数衡量变量间的线性及非线性关系，选用最大信息系数和质量预测均方误差作为筛选关键工艺参数和构建质量预测模型的标准，在准确性上占有绝对优势；基于质量预测模型通过粒子群算法优化关键，粒子群作为工艺参数优化算法
数据驱动中医药制造过程工艺参数优化方法

[发明专利]一种对晶圆位置进行校准的装置及方法-CN202310886387.4在审
发明人：杜永超;史常龙;徐家庆;唐丽娜 -专利权人：大连皓宇电子科技有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种对晶圆位置进行校准的装置及方法，涉及半导体制造技术领域；其装置包括设置在PM工艺腔体入口处的第一对对射传感器，所述第一对对射传感器包括位于PM工艺腔体顶部的上对射传感器和位于PM工艺腔体底部的下对射传感器，所述上对射传感器与下对射传感器对称设置，通过VTM机械手传进PM工艺腔体的晶圆从上对射传感器与下对射传感器之间穿过。所述对射传感器用于获取基准数据和实际数据，通过对比基准数据与实际数据得到横向误差和纵向误差，进而通过VTM机械手进行补偿。本发明只需利用对射传感器和设备本身的VTM机械手进行定位矫正，引入的外部误差对精度影响极小，计算误差由于耗费算力极低且兼容性好可以布置在PLC等现成硬件中。
一种位置进行校准装置方法

[发明专利]数据处理方法、数据处理装置、终端设备及存储介质-CN202010329075.X有效
发明人：余豪路;姚丽丽 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： G06F30/392 文献下载
摘要：数据处理方法包括读取工艺表格、提取表格和标准表格，所述提取表格包括由第一寄生参数提取工具从所述集成电路版图提取的第一工艺参数和第一寄生参数，所述工艺表格包括第二工艺参数，所述标准表格包括由第二寄生参数提取工具提取的第三工艺参数和第二寄生参数确认所述第一工艺参数与所述第二工艺参数相同，确认所述第一工艺参数与所述第三工艺参数相同，输出所述第二寄生参数，计算对应的所述第一寄生参数与输出的所述第二寄生参数之间误差，输出所述误差。
数据处理方法装置终端设备存储介质

[发明专利]正交误差补偿电路、MEMS传感器读出装置以及MEMS传感器系统-CN201910424448.9在审
发明人：邹波;刘孟良 -专利权人：深迪半导体（上海）有限公司
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： G01C19/5776 文献下载
摘要：本发明提供了一种正交误差补偿电路、MEMS传感器读出装置以及MEMS传感器系统，所述正交误差补偿电路包括两个电荷提供单元，每个所述电荷提供单元对应向MEMS传感器的一个检测电极提供补偿电荷，所述补偿电荷与所述MEMS传感器的正交误差引起的误差电荷相互抵消。本发明提供的正交误差补偿电路、MEMS传感器读出装置以及MEMS传感器系统，可以消除所述MEMS传感器的正交误差干扰，实现利用信号处理过程补偿工艺误差的目的。
正交误差补偿读出装置电路电荷提供单元补偿电荷正交误差信号处理过程工艺误差检测电极误差电荷抵消

[发明专利]修正低陡度光学镜面误差的加工方法-CN200910042428.1无效
发明人：李圣怡;戴一帆;焦长君;解旭辉;周林;彭小强 -专利权人：中国人民解放军国防科学技术大学
申请日： 2009-01-06 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： C03C23/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种修正低陡度光学镜面误差的加工方法，具体包括以下步骤：首先通过实验获取去除函数，然后利用波面干涉仪获取元件的面形误差函数，对面形误差进行离散，同时对加工路径进行规划，然后将面形误差延拓，建立模型并求解加工的驻留时间，利用求解的驻留时间进行数控加工，再对加工结果进行误差辨识和精度控制，完成加工。本发明加工方法的工艺效率高、加工成本低、误差修正效果好，能有效修正低陡度光学镜面的面形误差。
修正陡度光学误差加工方法

[发明专利]基于试件特征分解的三轴数控机床几何误差与热误差逆向辨识方法-CN201910441585.3有效
发明人：刘超;项四通;房芳;吴钺洋 -专利权人：宁波大学
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： B23Q17/00 文献下载
摘要：基于试件特征分解的三轴数控机床几何误差与热误差逆向辨识方法，它属于数控机床加工精度技术领域，方法步骤包括：特征工件的设计；映射关系图的建立：特征工件的加工：在三轴数控铣床上将预先编写好的程序和优化后的工艺参数输入到数控面板中，进行特征工件的铣削加工；机床几何分离和误差辨识包括：定位误差、直线度误差、垂直度误差和热误差；特征工件的测量。本发明通过特征工件设计，反映出机床的几何误差和热误差，对提高三轴数控机床的整体加工精度具有重要意义。
基于特征分解数控机床几何误差逆向辨识方法

[发明专利]气门锁夹自动冲压工艺-CN201210349249.4无效
发明人：姚伟强 -专利权人：镇江中虎弹簧有限公司
申请日： 2012-09-20 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： B21D53/84 文献下载
摘要：一种气门锁夹自动冲压工艺,所述冲压工艺包括以下步骤：a）特制坯料：根据气门锁夹的外形和冲压成型的变形情况计算坯料的外形尺寸；b）自动冲压成型：采用63吨的冲床进行冲压，弧形误差0.05以内，表面粗糙度1.6，长度误差0.1,冲压速度≥100件/min。有益效果：本发明与传统的机械加工工艺相比提高了生产效率，降低了成本，提高了产品质量的稳定性和可靠性。
门锁自动冲压工艺

[发明专利]一种用于键合工艺微缺陷检测的方法-CN201310063950.4无效
发明人：谢历铭 -专利权人：苏州爱特盟光电有限公司
申请日： 2013-03-01 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：一种用于键合工艺微缺陷检测的方法，它涉及键合工艺微缺陷检测技术领域，它包含一种图形化软件工艺编程的“四要素法”和一套对键合丝连接性进行判别的图形处理方法，所述的“四要素法”包括对器件的中心位置、键合起始点及允许误差、键合终点及允许误差和键合路径。它克服了传统人工目检方法下容易出现的漏检、错检问题，极大的提升了键合工艺生产线的良率和效率。
一种用于工艺缺陷检测方法

[发明专利]基于学习算法的航空发动机薄壁叶片加工误差补偿方法-CN201611251817.1有效
发明人：张定华;王奇;杨建华;张莹;吴宝海;侯尧华 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于学习算法的航空发动机薄壁叶片加工误差补偿方法，用于解决现有薄壁叶片加工误差补偿方法加工效率低的技术问题。技术方案是采用泰勒展式、牛顿迭代、弦割法以及叶片工艺柔度相结合的算法，建立误差补偿算法，根据前一次加工后得到的测量数据通过误差补偿算法进行误差补偿的计算，能够快速减少加工误差，明显减少了补偿次数，提高了加工效率
加工误差补偿薄壁叶片航空发动机误差补偿算法加工效率学习算法测量数据加工误差牛顿迭代误差补偿一次加工柔度算法叶片加工

[发明专利]钢管校圆的工艺方法及设备-CN92113854.7无效
发明人：贾春德;徐万孚;薛航 -专利权人：贾春德;徐万孚;薛航
申请日： 1992-12-22 - 公布日： 1994-06-29 - 主分类号： B21D3/00 文献下载
摘要：钢管校圆的工艺方法及设备是属于钢管的冷加工的处理方法及设备。本发明主要是对钢管的最大直径或最小直径施加力，使其向误差相反的方向变形；钢管误差的检测及施加力的大小及部位由测试系统、伺服系统和计算机系统所完成。本发明具有工艺方法简单、适用，效果好等特点。
钢管工艺方法设备

[发明专利]一种RC振荡器装置及外部时钟频率校准方法-CN202310204667.2在审
发明人：褚洁;王帅利;张玉鑫;吴勇;蔡觉平;温凯林 -专利权人：西安电子科技大学芜湖研究院
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H03B5/04 文献下载
摘要：本发明涉及振荡器技术领域，一种RC振荡器装置，包括目标RC振荡器、存储模块、温度传感器、电流源阵列模块；所述目标RC振荡器以所述电流源阵列模块为充电电源，输出方波信号；所述存储模块内部存储有工艺误差校准码和温度误差校准码对照表；所述电流源阵列模块从温度传感器获得实时温度，从存储模块中获得工艺误差校准码和实时温度对应的温度误差校准码，修正其电流输出的大小，从而改变目标RC振荡器的电容充电速度，进而调整RC振荡器输出信号频率，使
一种 rc 振荡器装置外部时钟频率校准方法

[发明专利]制造半导体封装的方法-CN202211140501.0在审
发明人：李尚远;金贤基;金荣子;白亨吉 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：公开了一种制造半导体封装的方法，包括：估计焊球附接工艺中的误差、基于估计的误差来确定球工具的规格和焊球附接工艺的方法、基于焊球附接工艺的方法，根据确定的球工具的规格来制造球工具、以及基于焊球附接工艺的方法来执行焊球附接工艺确定球工具的规格和焊球附接工艺的方法包括：确定球工具中的多个保持器的数量以及多个保持器中的每一个的位置和宽度、确定基板的多个工作区的数量以及多个工作区中的每一个的位置和宽度、以及将基板划分为多个工作区。
制造半导体封装方法