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[发明专利]一种间苯二甲腈工艺尾气处理系统及处理方法-CN202111641130.X在审
发明人：黄金硕;王海波;刘建伟;王晴 -专利权人：江苏新河农用化工有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种间苯二甲腈工艺尾气处理系统及处理方法，所述处理系统包括工艺尾气收集单元、工艺尾气混合单元、应急处理单元、RTO单元、尾气脱硝单元、尾气降温单元以及尾气排放单元；所述工艺尾气收集单元、所述工艺尾气混合单元、RTO单元、尾气脱硝单元、尾气降温单元以及尾气排放单元依次相连；所述工艺尾气收集单元还通过所述应急处理单元与所述尾气排放单元直接相连；所述处理系统安全性能高，处理效率高，氮氧化物产生少，并有效利用尾气中的余热
一种二甲工艺尾气处理系统方法

[发明专利]一种应用于化工粗氨废气处理替代焚烧的资源化工艺及系统-CN202010579398.4在审
发明人：杜建吉;张蕴;靳庆麦;张清奎;郑辉;房会伟;杜建芳 -专利权人：山东同智创新能源科技股份有限公司
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： C01B3/04 文献下载
摘要：一种应用于化工粗氨废气处理替代焚烧的资源化工艺及系统，所述工艺包括粗氨废气处理主工艺、分解尾气处理工艺、硫磺尾气处理工艺和锅炉系统工艺；粗氨废气经所述粗氨废气处理主工艺生成氢气，所述粗氨废气处理主工艺产生的尾气经分解尾气处理工艺后组成分解废气，硫磺尾气经所述硫磺尾气处理工艺进行二级H2S脱除，脱除H2S后的脱硫尾气、分解尾气处理工艺后组成分解废气和燃料气通过锅炉系统工艺生成副产蒸汽。本发明同时提供实施上述工艺的系统。采用本发明的工艺和系统可产出纯度高达99.99％的氢气产品，可副产产品蒸汽(180℃，1.0MPa)。
一种应用于化工废气处理替代焚烧资源系统

[发明专利]一种组合式含硫工艺尾气处理方法-CN201110458082.0无效
发明人：王信;褚宏春;王冬;宋淑群;马训华;石金田;王洪记;赵忠萍;徐先宝;陈永献;张成祥 -专利权人：兖矿国宏化工有限责任公司
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： B01D53/83 文献下载
摘要：本发明属于工艺尾气综合治理的技术领域，具体涉及一种含有硫的工艺尾气治理方法，更具体为一种组合式含硫工艺尾气处理方法，采用将含硫工艺尾气与锅炉炉内烟气喷钙脱硫工艺相结合的方法，有效处理了目前的含硫工艺尾气，并且工艺简单、成本低。
一种组合式工艺尾气处理方法

[发明专利]一种三聚氰胺生产中工艺尾气的处理方法-CN202211438357.9在审
发明人：袁玉冰;黎鹏飞;王志洲;潘二勇;张小青 -专利权人：安徽金禾实业股份有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B01D47/00 文献下载
摘要：一种三聚氰胺生产中工艺尾气的处理方法，包括以下步骤：三聚氰胺工艺尾气从尿洗塔顶部进入尿洗塔，工艺尾气经液尿泵送来的液尿洗涤降温至130~143℃，经过柱状旋风后进入冷气风机进一步降温；从冷气风机排出的工艺尾气再经过换热器，将工艺尾气温度再降低10~20摄氏度；从换热器排出的工艺尾气分为三路，第一路去尾气吸收系统、第二路进入结晶器参与后续工艺、第三路经载气压缩机送至流化床用作反应载气。该方法改变了原有的工艺尾气的处理流程，不仅滤除了工艺尾气中部分三聚氰胺粉末，防止在冷气风机进口管道和叶轮出现结壁堵塞影响生产，而且降低了冷气风机的进气温度，降低了电耗。
一种三聚生产工艺尾气处理方法

[发明专利]一种硅烷净化提纯工艺尾气的处理方法及装置-CN201310032371.3有效
发明人：桑艳青;耿金成;史东旭;于伟 -专利权人：六九硅业有限公司
申请日： 2013-01-28 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅烷净化提纯工艺尾气的处理方法包括以下步骤：11）将硅烷净化提纯工艺尾气通过工艺管道，输送到第一吸收装置中，第一吸收装置中填充有浓度为20%-45%的碱性吸收液；12）通过第一吸收装置中搅拌器的搅拌使硅烷净化提纯工艺尾气被碱性吸收液充分吸收；13）将硅烷净化提纯工艺尾气和碱性吸收液反应后的生成物排出。本发明所提供的硅烷净化提纯工艺尾气的处理方法，利用碱性溶液吸收硅烷净化提纯工艺过程中产生的工艺尾气中的硅烷，安全且无污染的处理硅烷净化提纯工艺尾气，提高硅烷精馏工艺过程的安全性和环保性。
一种硅烷净化提纯工艺尾气处理方法装置

[实用新型]一种尿素工艺尾气处理装置-CN201920840523.5有效
发明人：沈永伦;肖昌润;任海洋;薛飞 -专利权人：湖北三宁化工股份有限公司
申请日： 2019-06-04 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：一种尿素工艺尾气处理装置包括低压吸收塔、常压吸收塔、尾气酸洗塔，低压吸收塔给料泵、常压吸收塔循环泵、尾气酸洗塔上部循环泵、尾气酸洗塔下部循环泵、氨水贮槽等设备，通过工艺管道将这些设备有序连接起来，组成该尾气处理装置采用本实用新型提供的尿素工艺尾气处理装置是十分必要的，其工艺流程简单，运行维护方便，安全环保系数高，尾气处理效果好，能将各类尿素装置的工艺尾气中的氨处理干净，使得尾气达标排放，保护环境，节约生产成本，还可以避免因为工艺尾气排放达不到环保要求而被罚款甚至被迫停产的不良现象
一种尿素工艺尾气处理装置

[发明专利]一种硫化促进剂M生产中的硫化氢尾气处理工艺-CN202210977567.9在审
发明人：李宪索;曹永军;李世梅;马亚敏;卢杰;刘清海;刘晓乐;张荣军;翟登现 -专利权人：山东戴瑞克新材料有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本发明属于尾气处理技术领域，公开了一种硫化促进剂M生产中的硫化氢尾气处理工艺。该硫化氢尾气处理工艺，包括以下步骤：（1）制硫工艺；（2）加氢还原工艺；（3）胺洗工艺；（4）烟气脱硫工艺。本发明硫化氢尾气处理工艺依次采用Claus法、加氢还原、胺洗循环再生以及钠法烟气脱硫处理过程，实现硫化氢尾气的充分利用，使得硫的收率超过99%，最终排放的尾气中硫元素含量极低，符合排放标准，十分环保。
一种硫化促进剂生产中的硫化氢尾气处理工艺

[实用新型]一种半导体工艺设备的尾气处理装置及半导体工艺设备-CN202222259529.8有效
发明人：杨帅;黄嵘彪;杨慧萍 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体工艺设备的尾气处理装置及半导体工艺设备，涉及半导体技术领域，包括尾气进气管路、冷凝腔体、用于冷却冷凝腔体的冷却结构以及气液分离组件，尾气进气管路用于与半导体工艺设备的工艺腔室的排气口连接；冷凝腔体的一端与尾气排气管路连通，冷凝腔体的另一端连接气液分离组件，尾气处理装置还包括用于加热冷凝腔体的加热结构以及与尾气进气管路连通的吹扫管路，其中，加热结构能够在半导体工艺设备的非工艺期间加热冷凝腔体，吹扫管路用于在半导体工艺设备的非工艺期间向尾气进气管路中通吹扫气体；解决现有尾气处理装置可持续处理时间短、清洗维护时间长、处理能力有限的问题。
一种半导体工艺设备尾气处理装置

[发明专利]一种大流量硅烷太阳能电池工艺尾气处理设备和工艺系统-CN202310723086.X在审
发明人：刘磊;郭潞阳;杨国庆;叶威;王福清;陈佳明 -专利权人：上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种大流量硅烷太阳能电池工艺尾气处理设备和太阳能电池片工艺系统，涉及尾气处理技术领域，以解决现有尾气处理设备无法满足含大流量硅烷的尾气处理要求、处理含大流量硅烷的尾气时进气腔容易堵塞的问题。该设备包括进气管、加热单元和反应腔；太阳能电池片工艺系统的尾气排放口通过进气管直接供入反应腔；加热单元设于反应腔中，用于加热反应腔中的尾气；尾气在反应腔中进行氧化燃烧。本发明可用于大流量硅烷太阳能电池片制造工艺的尾气处理。
一种流量硅烷太阳能电池工艺尾气处理设备系统

[发明专利]一种基于臭氧技术的工业外排尾气的处理工艺-CN202211653290.0在审
发明人：李航;胡燕武;刘占飞 -专利权人：北京天普世纪科技股份有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B01D53/76 文献下载
摘要：本发明提供一种基于臭氧技术的工业外排尾气的处理工艺，包括如下步骤：将工业外排尾气通入到喷淋吸收尾气溶剂的喷淋塔内进行尾气吸收，去除大部分尾气内的有害气体；对喷淋塔喷淋后排出的尾气注入臭氧进行氧化处理，根据喷淋塔实时的出气量动态调节臭氧的出气量，利用臭氧与尾气混合反应进一步氧化逃逸尾气中的有害气体；有害气体被氧化成能被次级喷淋塔溶剂吸收的低阶气体，次级喷淋塔吸收后残存有害气体低于国家有组织排放尾气标准，处理后的尾气达标排出。本发明将臭氧工艺与传统的外排工业尾气喷淋工艺有机结合，实现了尾气的高效节能处理并达标排放，解决了许多工业部门使用传统多级喷淋工艺尾气排放不达标的难题。
一种基于臭氧技术工业外排尾气处理工艺

[发明专利]半导体工艺设备及其工艺腔室-CN202210345546.5在审
发明人：徐柯柯 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种半导体工艺设备及其工艺腔室。该工艺腔室包括：工艺管、腔室组件及尾气装置；腔室组件设置于工艺管内，腔室组件的两端分别形成有传输口及尾气口；尾气装置设置于工艺管内，并且位于尾气口的一侧，尾气装置的壳体上开设有导入口及导出口，导入口与流体通道的一端连通，流体通道与竖直方向形成第一预设夹角，流体通道的另一端与缓冲腔连通，缓冲腔与导出口连通，导出口用于将缓冲腔内的尾气排出；止挡台阶设置于缓冲腔内的与流体通道的连接处，用于防止缓冲腔内的尾气倒流至流体通道内本申请实施例能避免尾气及颗粒倒灌对晶圆造成污染，从而大幅提高外延工艺质量。
半导体工艺设备及其工艺

[发明专利]一种含NOx工艺尾气的处理方法-CN201510740291.2有效
发明人：张雁玲 -专利权人：中国石油化工股份有限公司大连石油化工研究院;中国石油化工股份有限公司
申请日： 2015-11-05 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： B01D53/75 文献下载
摘要：本发明公开了一种含NOx工艺尾气的处理方法，包括如下内容：（1）将含NOx的工艺尾气引入一级氧化器进行氧化处理；（2）将一级氧化后的工艺尾气和来自一级循环罐的吸收液分别引入超重力旋转床反应器，在超重力旋转床反应器中，工艺尾气与吸收液混合反应，工艺尾气中部分NOx被吸收，吸收液返回一级循环罐循环使用；（3）经吸收处理后的剩余尾气引入二级氧化器进行氧化处理，二级氧化后的尾气和来自二级循环罐的吸收液引入高效吸收塔，尾气经吸收液吸收处理，吸收液进入二级循环罐循环使用，经处理后的尾气经除雾后达标排放。该方法尿素吸收效果好，经处理后的高浓度NOx工艺尾气满足达标排放要求，高效且无“三废”排放。
一种 nox 工艺尾气处理方法

[发明专利]一种用燃气轮机尾气加热工艺加热炉进料的工艺-CN201810728845.0在审
发明人：李国庆;陆志颖;杜玲;王亚丽 -专利权人：华南理工大学;惠州大亚湾石化动力热力有限公司
申请日： 2018-07-05 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： F28D21/00 文献下载
摘要：本发明属于石油、化工工业领域，公开了一种用燃气轮机尾气加热工艺加热炉进料的工艺。所述工艺包括如下步骤：(1)在热电站燃气轮机尾气进余热锅炉的合适位置，新增燃气轮机尾气～工艺加热炉进料换热器，燃气轮机尾气部分或全部进入换热器与工艺加热炉进料换热后再进余热锅炉；(2)敷设工艺加热炉进料管线，将工艺加热炉进料送入步骤(1)新增的换热器与燃气轮机尾气换热后，送回原工艺加热炉入口。本发明通过能量系统集成，提供了尾气能量高效利用的新机会，提高了尾气的能量利用效率，减少了工艺加热炉的燃料消耗。流程改动小，易于实施，适于新工厂建设和老企业改造。
燃气轮机尾气工艺加热炉加热炉进料加热工艺余热锅炉换热器换热能量利用效率进料换热器高效利用工厂建设合适位置化工工业进料管线流程改动能量系统燃料消耗尾气能量老企业热电站敷设尾气送入石油改造

[发明专利]一种高纯砷工艺尾气回收循环利用的工艺及尾气回收系统-CN202110108549.2在审
发明人：曲胜利;张俊峰;邹琳;李辉;于守贵;周君祺;修振东;于丕永;曲振强;曲兴启;孙净洋 -专利权人：山东恒邦冶炼股份有限公司;烟台恒邦高纯新材料有限公司
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： C01B7/01 文献下载
摘要：本发明提供了一种回收再利用高纯砷工艺尾气的工艺，将高纯砷生产中所产生的尾气经过滤、水洗、喷淋、干燥、增压，将氯化氢和氢气回收并用于生产高纯砷。本发明还提供了一种尾气回收系统，前述的回收再利用高纯砷工艺尾气的工艺，通过尾气回收系统实现，这样能回收利用废气、节省成本、降低排放。
一种高纯工艺尾气回收循环利用系统

[发明专利]一种二氧化铀氢氟化工艺尾气中氟化氢的再利用工艺-CN202110709971.3有效
发明人：魏刚;任先锋;田红安;孙玉鹤;马治军;冯秀燕;任喜彦;蒙金红;薛彦成;周文涛;王伟;黄灼升;王多明;强斌;包国强 -专利权人：中核四0四有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B01J8/00 文献下载
摘要：一种二氧化铀氢氟化工艺尾气中氟化氢的再利用工艺，属于铀转化生产技术领域。本发明为了提高氢氟化工艺尾气中氟化氢的利用率，减少四氟化铀制备过程中含氟废弃物的产生率。本发明是将二氧化铀氢氟化的工艺尾气采用逆流方式输入到反应床内，并在反应床内连续输入二氧化铀粉末，使二氧化铀粉末在反应床内与二氧化铀氢氟化工艺尾气中的氟化氢逆流接触，通过二氧化铀对二氧化铀氢氟化工艺尾气中的氟化氢进行吸收，实现二氧化铀氢氟化工艺尾气中氟化氢的再利用。本工艺一方面有效避免了用于吸收氢氟化工艺尾气工艺中HF的石灰渣等二次废物的产生；另一方面，对氢氟化工艺尾气中HF气体的有效利用显著降低尾气中的HF和铀元素含量。
一种氧化氟化工艺尾气氟化氢再利用

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