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[实用新型]一种进气端盖、进气组件和尾气处理装置-CN202321555583.5有效
发明人：杨国庆;郭潞阳;叶威;王福清;刘磊;陈佳明 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种进气端盖、进气组件和尾气处理装置，属于尾气处理技术领域，以解决工艺尾气无害化处理过程反应效率低的技术问题。该进气端盖用于盖设在反应腔的顶部，进气端盖包括盖体以及设在盖体上的至少一个进气管，每个进气管用于将工艺尾气导入反应腔中；盖体与反应腔共轴，每个进气管的中心轴线垂直于盖体的表面；盖体位于中心的区域还具有用于等离子体装置安装的安装孔，等离子体装置用于产生高温等离子火焰。本实用新型的尾气处理装置，尾气在其反应腔中同步进行热分解和氧化反应，反应效率更高。
一种进气端盖组件尾气处理装置

[发明专利]一种旋流水幕组件及尾气处理系统-CN202311000249.8有效
发明人：郭潞阳;叶威;张源源;王福清;刘磊;陈佳明 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-08-10 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B01D45/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋流水幕组件及尾气处理系统，属于尾气处理技术领域，用以解决现有技术中水汽返流对尾气处理系统内部的火焰发生器造成不必要的腐蚀破坏的问题。该旋流水幕组件包括沿尾气流动方向依次设置的气帘法兰和液体旋转法兰，气帘法兰包括气帘基体、内锥环和外锥环；外锥环、气帘基体同轴套设在内锥环外，外锥环与内锥环间隔设置，且均与气帘基体相连，气帘基体内部开设有供气通道，气帘基体与内锥环之间具有第一间隙，外锥环与内锥环之间具有第二间隙，供气通道、第一间隙、第二间隙连通成惰性气体环路；惰性气体环路的出气方向朝向液体旋转法兰且沿尾气流动方向形成封闭的锥形惰性气体保护帘。本发明可用于尾气处理。
一种流水组件尾气处理系统

[外观设计]氮氧化物处理器-CN202330321072.6有效
发明人：郭潞阳;丁宇;张源源;王福清;刘磊;陈佳明 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： 24-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：氮氧化物处理器。2.本外观设计产品的用途：用于氮氧化物的处理。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
氧化物处理器

[发明专利]一种进气法兰、尾气处理装置-CN202310722536.3在审
发明人：杨国庆;叶威;郭潞阳;王福清;刘磊;陈佳明 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： F16L23/032 文献下载
摘要：本发明提供了一种进气法兰、尾气处理装置，属于尾气处理技术领域，以解决废气反应腔混气不匀且易积尘的技术问题。该进气法兰包括内具有环形的腔体，沿着法兰的外圆周面，法兰具有至少一个通孔；腔体通过至少一个通孔与供气设备连通，腔体通过气流通道连通至反应腔；气流通道为环形的通道，沿着反应腔中尾气气流的方向，气流通道向靠近法兰中心轴的方向倾斜。本发明进气法兰用于为尾气处理的反应腔导入空气。本发明进气法兰通过进气通道的设计，可以使得空气与尾气在反应腔的中部区域充分混合均匀，同时不易使得空气反流到反应腔顶部区域形成积尘，防止反应腔堵塞，提高尾气处理效率。
一种法兰尾气处理装置

[发明专利]一种进气腔及尾气处理装置-CN202310722518.5在审
发明人：刘磊;郭潞阳;叶威;杨国庆;张源源;王福清;陈佳明 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种进气腔及尾气处理装置，属于尾气处理技术领域，用以解决现有技术中回流气流中的粉尘颗粒易黏附在进气管内造成进气管的堵塞的问题。该进气腔包括腔体、进气管、持续吹扫管和脉冲吹扫单元，进气管与腔体的内部空间连通，持续吹扫管和脉冲吹扫单元的出气口设于进气管的侧壁。本发明可用于尾气处理。
一种进气腔尾气处理装置

[发明专利]一种半导体制程废气中氟化物的净化装置-CN202110919202.6有效
发明人：郑洪 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B01D53/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其结构包括净化箱体，所述净化箱体的外部设置有报警器、密封盖板、进气管、排液阀、驱动电机和控制器，所述报警器固定连接在所述净化箱体上端的中间处，所述密封盖板密封连接在所述净化箱体正前方的上方，所述进气管固定连接在所述净化箱体右端的上方，所述排液阀固定连接在所述净化箱体右端的下方，所述驱动电机固定连接在所述净化箱体左端的上方。本发明实现了对净化装置内部反应物的量进行自动检测，并且报警提示，避免了净化装置内部反应物缺少操作人员及时发现和更换的现象，而且增加了反应物与废气的接触面积，防止反应物出现反应不充分的现象。
一种半导体废气氟化物净化装置

[实用新型]一种水幕导向法兰组件和尾气处理装置-CN202321325108.9有效
发明人：叶威;杨国庆;王福清;刘磊;陈佳明 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： F16L55/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水幕导向法兰组件和尾气处理装置，属于尾气处理技术领域，用以解决现有技术中水膜在反应腔内壁覆盖不均匀、水汽返流对热分解腔内的火焰发生器中的电子元件造成损害中的至少一个问题。该水幕导向法兰组件包括流体旋转法兰和导流挡板；流体旋转法兰的上表面开设溢流槽；导流挡板包括竖向环以及与竖向环连接的横向环，横向环设于溢流槽的上方且与溢流槽具有第一间隙，竖向环设于流体旋转法兰的侧壁且与流体旋转法兰的侧壁具有第二间隙，第一间隙和第二间隙连通构成流体旋转法兰的出水口与反应腔之间的流体通道。本实用新型可用于尾气处理。
一种水幕导向法兰组件尾气处理装置

[发明专利]一种大流量硅烷太阳能电池工艺尾气处理设备和工艺系统-CN202310723086.X在审
发明人：刘磊;郭潞阳;杨国庆;叶威;王福清;陈佳明 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种大流量硅烷太阳能电池工艺尾气处理设备和太阳能电池片工艺系统，涉及尾气处理技术领域，以解决现有尾气处理设备无法满足含大流量硅烷的尾气处理要求、处理含大流量硅烷的尾气时进气腔容易堵塞的问题。该设备包括进气管、加热单元和反应腔；太阳能电池片工艺系统的尾气排放口通过进气管直接供入反应腔；加热单元设于反应腔中，用于加热反应腔中的尾气；尾气在反应腔中进行氧化燃烧。本发明可用于大流量硅烷太阳能电池片制造工艺的尾气处理。
一种流量硅烷太阳能电池工艺尾气处理设备系统

[实用新型]一种便于加工的流体旋转法兰和尾气处理设备-CN202321325098.9有效
发明人：郭潞阳;丁宇;王福清;刘磊;陈佳明 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： F16L23/032 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于加工的流体旋转法兰和尾气处理设备，属于半导体尾气处理技术领域，用以解决现有技术中额外对溢流孔进行加工、加工去除量大、加工复杂导致加工效率低中的至少一个问题。该流体旋转法兰包括法兰基体、溢流槽和溢流孔，法兰基体的形状为四边形，溢流槽开设于法兰基体的上表面，溢流孔贯穿溢流槽远离法兰基体中心线一侧的侧壁上，溢流槽与流体供应单元通过溢流孔与溢流槽连通。本实用新型可用于半导体尾气处理。
一种便于加工流体旋转法兰尾气处理设备

[发明专利]一种防水汽反流的法兰组件和尾气处理系统-CN202310613876.2在审
发明人：叶威;杨国庆;王福清;刘磊;陈佳明 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： F16L23/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种防水汽反流的法兰组件和尾气处理系统，属于尾气处理技术领域，用以解决现有技术中水膜在反应腔内壁覆盖不均匀、水汽返流对热分解腔内的火焰发生器中的电子元件造成损害、额外对溢流支管进行加工、加工去除量大、加工复杂导致加工效率低的问题。该组件中，流体旋转法兰包括法兰基体，法兰基体上开设溢流槽，溢流孔贯穿溢流槽的侧壁，溢流槽与流体供应单元通过溢流孔与溢流槽连通；导流挡板包括竖向环和横向环，横向环设于溢流槽的上方且与溢流槽具有第一间隙，竖向环设于法兰基体的侧壁且与法兰基体的侧壁具有第二间隙，第一间隙和第二间隙连通构成流体旋转法兰的出水口与反应腔之间的流体通道。本发明可用于尾气处理。
一种水汽法兰组件尾气处理系统

[发明专利]一种旋流除尘除湿装置和方法、尾气处理器-CN202311000251.5在审
发明人：叶威;郭潞阳;张源源;王福清;刘磊;陈佳明 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-08-10 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B01D50/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋流除尘除湿装置和方法、尾气处理器，属于尾气处理技术领域，用以解决现有技术中外置的旋风分离器导致尾气处理器的结构紧凑性和空间布局合理性较差、喷淋塔和旋风分离器的连接管路容易堵塞的问题。该装置包括旋流内腔以及套设于旋流内腔外侧的喷淋外腔；喷淋外腔的顶端封闭，喷淋外腔的底端与尾气处理器的水箱液面上方空间连通；旋流内腔的侧壁靠近顶端的位置开设旋流入口，旋流入口的进气方向相对于旋流内腔的径向倾斜设置，喷淋外腔通过旋流入口与旋流内腔连通；旋流内腔的顶端与导气管的一端连接，旋流内腔的底端与尾气处理设备的水箱液面下连接。本发明可用于尾气处理。
一种除尘除湿装置方法尾气处理器

[实用新型]一种氮氧化物的处理系统-CN202320803457.0有效
发明人：郭潞阳;王福清 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B01D53/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氮氧化物的处理系统，属于半导体尾气处理技术领域，用以解决现有技术中臭氧与尾气的混合效果较差导致氮氧化物的去除率较低的问题。该处理系统包括制臭氧电源、变频器、变压器、电感器、反应管以及多个并联的放电管，制臭氧电源、变频器、变压器和电感器依次连接，电感器的输出端分别与多个放电管的输入端连接，反应管的侧壁不同位置开设多个臭氧进口，每个臭氧进口与至少一个放电管的臭氧输出端连接。本实用新型可用于氮氧化物的处理。
一种氧化物处理系统

[发明专利]一种除湿旋流装置和尾气处理系统-CN202310615677.5在审
发明人：郭潞阳;张源源;王福清;刘磊;陈佳明 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B01D45/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种除湿旋流装置和尾气处理系统，属于尾气处理技术领域，解决了现有技术中尾气处理设备在处理含粉尘废气时粉尘颗粒与水汽混合形成泥浆导致排气管易堵塞的问题。该装置包括旋流片，旋流片设于尾气处理系统的排气管进气口处或者与排气管进气口连接的装置中；旋流片包括外环、设于外环的环内区域的中心柱以及设于外环与中心柱之间的多个叶片，叶片的第一端与外环连接，叶片的第二端与中心柱连接，外环与排气管内壁或者与排气管进气口连接的装置内壁连接。本发明可用于处理后尾气的水汽分离。
一种除湿装置尾气处理系统

[发明专利]一种适用于半导体制造工艺的废气处理装置-CN202110920706.X有效
发明人：郑洪 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种适用于半导体制造工艺的废气处理装置，包括第一管道，其特征在于：所述第一管道的左端固定连通有废气进管，所述第一管道的内腔固定连接有第一过滤网。本发明废气通过废气进管进入到第一管道内，然后对正极套筒和负极柱分别接入高压正极电流和负极电流，从而正极套筒内废气中的尘粒与负离子结合带上负电后趋向正极套筒的内壁表面放电而除去气体的灰尘，从而减小燃烧室内壁的结垢，并且向下按压连接柱推动清洁盘在燃烧室内向下移动，同时配合限位块插接在螺旋限位槽内，从而在清洁盘向下移动的同时并旋转，从而能够对燃烧室内壁进行方便快速全面清洁，进一步的提高结垢清洁的效果。
一种适用于半导体制造工艺废气处理装置

[发明专利]一种NO去除器和半导体尾气处理设备-CN202210899633.5有效
发明人：王福清;郭潞阳 -专利权人： 上海协微环境科技有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B01D53/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种NO去除器和半导体尾气处理设备，属于半导体尾气处理技术领域，解决了现有技术中一氧化氮的去除率较低的问题。该NO去除器包括臭氧发生器、反应管和旋流器；旋流器包括支撑环、设于支撑环的环内区域的盲板以及设于支撑环与盲板之间的多个旋流叶片，旋流叶片的一端与支撑环连接，旋流叶片的另一端与盲板连接，支撑环支撑于反应管的内壁，旋流叶片的出气端、反应管的侧壁开设注入口，臭氧发生器的出气口与注入口连通。该处理设备包括沿尾气流动方向依次设置的燃烧反应单元、水箱、喷淋单元和NO去除器。该NO去除器和半导体尾气处理设备可用于半导体尾气处理。
一种 no 去除半导体尾气处理设备

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