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[发明专利]一种原子层沉积在线监控系统-CN201810507330.8在审
发明人：黎微明;李翔;赵昂璧;左敏;糜珂 -专利权人：江苏微导纳米装备科技有限公司
申请日： 2018-05-24 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种原子层沉积在线监控系统，所述监控系统设有检测元件、信号转化装置、信号处理系统和工艺控制系统；所述检测元件设置在原子层沉积设备的气流流动处；所述检测元件与信号转化装置连接，信号转化装置将检测元件的信号进行转化处理；信号处理系统与信号转化装置和工艺控制系统连接，信号转化装置将实时工艺状态传送到信号处理系统；工艺控制系统将实时的理论工艺状态传送到信号处理系统，信号处理系统将实时工艺状态和理论工艺状态的拟合，实时监控工艺状态
信号处理系统信号转化装置工艺控制系统工艺状态在线监控系统原子层沉积检测实时工艺原子层沉积设备监控系统气流流动实时监控元件设置拟合转化

[实用新型]一种原子层沉积在线监控系统-CN201820782003.9有效
发明人：黎微明;李翔;赵昂璧;左敏;糜珂 -专利权人：江苏微导纳米装备科技有限公司
申请日： 2018-05-24 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种原子层沉积在线监控系统，所述监控系统设有检测元件、信号转化装置、信号处理系统和工艺控制系统；所述检测元件设置在原子层沉积设备的气流流动处；所述检测元件与信号转化装置连接，信号转化装置将检测元件的信号进行转化处理；信号处理系统与信号转化装置和工艺控制系统连接，信号转化装置将实时工艺状态传送到信号处理系统；工艺控制系统将实时的理论工艺状态传送到信号处理系统，信号处理系统将实时工艺状态和理论工艺状态的拟合，实时监控工艺状态
信号处理系统信号转化装置工艺控制系统工艺状态在线监控系统原子层沉积检测实时工艺原子层沉积设备本实用新型监控系统气流流动实时监控元件设置拟合转化

[发明专利]半导体装置和层叠半导体存储装置-CN201110039647.1有效
发明人：朴日光;朴起德 -专利权人：海力士半导体有限公司
申请日： 2011-02-17 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： G11C11/34 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体装置，包括：参考延迟值检测单元，被配置为接收源信号并将源信号延迟以产生参考延迟信号；工艺延迟值检测单元，被配置为接收源信号并将源信号延迟以产生工艺延迟信号；以及信号发生单元，被配置为接收参考延迟信号和工艺延迟信号，接收输入信号，并且基于参考延迟信号和工艺延迟信号而以可变的方式将输入信号延迟以产生输出信号。
半导体装置层叠存储

[发明专利]半导体工艺的自动化运作方法-CN201910016452.1在审
发明人：陈赞仁;郭中一;吴至钦 -专利权人：东捷科技股份有限公司
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体工艺的自动化运作方法，包括下列步骤，首先，提供多台工艺设备，多台工艺设备是进行相同的工艺作业；接着，依据多台工艺设备的闲置信号自进料位置取得待测基板；然后，输送待测基板至多台工艺设备中产生闲置信号的工艺设备，工艺设备接收待测基板后执行工艺作业；之后，依据多台工艺设备的完成信号，自产生完成信号的工艺设备上搬送待测基板至出料位置，而使工艺设备再次产生闲置信号，也就是重新接收新的待测基板。
半导体工艺自动化运作方法

[发明专利]一种注塑机控制装置及其控制方法-CN200410081266.X无效
发明人：侯金来 -专利权人：侯金来
申请日： 2004-11-12 - 公布日： 2006-05-03 - 主分类号： B29C45/76 文献下载
摘要：本发明公开了一种注塑机控制装置，包括数据采集处理装置，用于采集锁模装置，射胶装置，熔胶装置，冷却装置，开模装置和顶出装置的工作状态信号并将此工作状态信号运算为数字信号；本发明同时公开了一种注塑机控制方法，其特征在于：包括实时监控步骤，用于采集工艺的工作状态信号，并对此工作状态信号进行处理，并根据处理后的工作状态信号发出控制信号来控制工艺，所述工艺依次为锁模工艺、射胶工艺、熔胶工艺、冷却工艺、开模工艺和顶出工艺
一种注塑控制装置及其方法

[发明专利]终点检测系统及其运行状态监测方法-CN201410231985.9有效
发明人：陈国动 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-05-28 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种终点检测系统及其运行状态监测方法，其中方法包括如下步骤：读取参照样本中的第一工艺信号曲线，并实时监测设置有终点检测系统的工艺机台进行工艺时的第二工艺信号曲线；比对第一工艺信号曲线和第二工艺信号曲线，判断终点检测系统运行状态；当终点检测系统运行状态正常时，控制工艺机台继续进行工艺；当终点检测系统运行状态异常时，控制工艺机台停止当前工艺。其通过实时监测到的第二工艺信号曲线与参照样本的第一工艺信号曲线进行对比，判断终点检测系统运行状态，有效解决了现有终点检测系统工作状态判断方法不能实时体现当前终点检测系统运行状态，导致对工艺机台状态的判断滞后或错误的问题，降低晶片工艺风险及废弃成本。
终点检测系统及其运行状态监测方法

[实用新型]闪光焊参数测试系统-CN200520139633.7无效
发明人：俞孟蕻;陈红卫;何祖军;李彦 -专利权人：江苏科技大学
申请日： 2005-12-13 - 公布日： 2007-03-21 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：其包括工控机、A/D转换模块和信号处理模块，其中电流、位置传感器与信号处理模块相连，再经A/D转换模块与工控机相连。闪光焊工艺参数经现场采样后，信号送到信号变换处理模块，该模块将工艺参数信号处理后转化为标准的电压信号。所有工艺参数信号经变送后送到A/D转换模板变化为数字信号送到计算机。采集时屏幕显示所有工艺参数的实时值，同时显示工艺参数的变化曲线。软件能记录所有工艺参数，并根据要求回放工艺参数曲线和某时间的工艺参数值，以方便管理，同时对产品的质量进行分析。
闪光参数测试系统

[发明专利]多工艺角延时电路、相位调节电路、时钟控制电路和芯片-CN202210511771.1在审
发明人：吴丽丽;何永松;余金金;顾东华 -专利权人：上海燧原科技有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H03K5/131 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种多工艺角延时电路、相位调节电路、时钟控制电路和芯片。多工艺角延时电路包括第一延时选择器和n个延时单元，其中，一个延时单元对应一种工艺角，各延时单元分别对应不同的工艺角，延时单元用于根据第一选择信号控制自身的第一信号输出端输出第一延时信号，第一延时信号为待延迟信号发生对应工艺角的第一延时或者第二延时后的信号；第一延时选择器包括n个与延时单元的第一信号输出端一一对应的选择输入端，第一延时选择器的选择输入端与对应的延时单元的第一信号输出端连接，第一延时选择器用于根据第二选择信号控制自身的选择输出端输出对应的选择输入端的信号；本发明实施例由此实现了待延迟信号分别在n种工艺角下的相位偏移，相位偏移包括对应工艺角的第一延时或者对应工艺角的第二延时。
工艺延时电路相位调节时钟控制电路芯片

[发明专利]基于大信号等效电路模型的GaN器件工艺参数统计分析方法-CN201680014212.2有效
发明人：徐跃杭;闻彰;徐锐敏;延波 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G06F30/30 文献下载
摘要：提出一种基于GaN器件等效电路模型的工艺参数分析方法，所述分析方法包括：步骤一：建立GaN器件小信号等效电路模型，提取小信号模型参数；步骤二：建立GaN器件大信号等效电路模型，提取大信号模型参数，即非线性电流源模型参数和非线性电容模型参数；步骤三：以器件的实测微波特性为目标，调谐优化大信号模型参数；步骤四：基于建立的大信号模型提取多批次GaN器件的工艺参数，并对所述工艺参数进行统计分析。上述GaN器件模型的工艺参数的统计分析方法首先建立GaN器件小信号等效电路模型，然后建立工艺参数关联的GaN器件大信号等效电路模型，通过多批次器件建模最终获得工艺参数统计分布，有用于器件成品率分析和工艺参数优化
基于信号等效电路模型 gan 器件工艺参数统计分析方法

[发明专利]同步脱氮除硫工艺的原位电信号指示装置-CN202011301712.9有效
发明人：蔡靖;王凯权;孙月 -专利权人：浙江工商大学
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种同步脱氮除硫工艺的原位电信号指示装置，该装置主要由电信号转化系统、电信号采集系统、同步脱氮除硫工艺反馈调控系统组成；电信号转化系统由具有同步脱氮除硫功能的活性污泥、电信号激发端、刚性框架、电信号基准端和负载组成；电信号采集系统由数据采集器和电脑组成；同步脱氮除硫工艺反馈调控系统由回流进出口、水泵、自动反馈控制器组成。本发明利用电信号对同步脱氮除硫工艺进行原位监测，能够实时掌握工艺运行状况并进行自动调控。本发明实施方式简单，成本低廉，能够大大提高工艺的实际运行效果，对于同步脱氮除硫工艺的稳定运行具有极强的辅助作用。
同步工艺原位电信号指示装置

[实用新型]具有整合式信号电源线路的设备-CN201921331225.X有效
发明人：林文彬 -专利权人：联策科技股份有限公司
申请日： 2019-08-16 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本实用新型通过一种具有整合式信号电源线路的设备，包括一工艺线、一信号电源线路以及至少一信息整合器。工艺线可对多个加工物进行加工，而信号电源线路则延伸设置于整个工艺线上，其中所述信号电源线路上分布有多个接点。信息整合器耦合至所述信号电源线路，用以接收接点所传输的各种信号并供使用者分析与控制所述工艺线。因此，本实用新型提供的具有整合式信号电源线路的设备，能简化布线并且更为精准地取得整段工艺线的信息。
具有整合信号电源线路设备

[发明专利]半导体工艺腔室及其管路检测方法-CN202210517868.3在审
发明人：桑强强;汤中海;戚利;谢梦雨;张建坤;赵尊华 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-12 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种管路检测方法，包括：等离子体形成步骤、控制半导体工艺腔室的一根进气管路向腔体中提供工艺气体，并控制启辉组件电离腔体中的工艺气体以形成等离子体；识别步骤、控制光信号检测装置检测等离子体产生的光信号，并将光信号对应于各波长的幅值与各工艺气体对应的标准光信号进行比较，若光信号对应于各波长的幅值与某一工艺气体对应的标准光信号匹配，则判定对应的进气管路状态正常；重复上述步骤，以对多根进气管路进行检测。本发明提供的管路检测方法根据气体电离形成的等离子体的光信号判断工艺气体纯度，进而识别管路对应的工艺气体并检测各进气管路的气密性，提高了半导体工艺腔室的维护效率。本发明还提供一种半导体工艺腔室。
半导体工艺及其管路检测方法

[发明专利]一种射频信号垂直传输结构及其制备方法-CN201911258710.3在审
发明人：王刚;李杨;朱召贤;明雪飞;夏晨辉;周立彦 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十八研究所
申请日： 2019-12-10 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： H01L23/48 文献下载
摘要：本发明公开一种射频信号垂直传输结构及其制备方法，属于半导体晶圆级封装技术领域。射频信号垂直传输结构包括衬底和绝缘隔离结构；其中，所述衬底上形成有信号传输结构和信号屏蔽结构；所述绝缘隔离结构包裹所述信号传输结构和信号屏蔽结构形成平面结构层。本发明通过制造平面结构层，形成金属‑绝缘层同心圆柱嵌套结构；用增材工艺替代刻蚀工艺，可以提高射频性能，简化工艺难度，提高工艺良率，降低工艺成本。
一种射频信号垂直传输结构及其制备方法

[发明专利]等离子体启辉的检测装置及方法、工艺腔室-CN201810586846.6在审
发明人：叶华;刘红义 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-06-08 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体启辉的检测装置、方法和工艺腔室。包括光电转换元件和控制单元，其中，光电转换元件的感光面用于与工艺腔室的出光侧对应，以检测工艺腔室内的光信号并将光信号转换为电信号后发送至控制单元；控制单元，用于接收电信号后与预设的临界启辉电信号进行比较，当电信号满足临界启辉电信号时，判定工艺腔室内的等离子体发生启辉。通过检测工艺腔室内的光信号并将光信号转换为电信号，之后根据电信号确定等离子体是否发生启辉。检测等离子体是否启辉的装置简单、有效，能够有效地降低检测等离子体启辉的成本。此外，还便于工艺开发人员进行预判，无需复杂的控制算法与数据处理，可以更好地进行推广应用。
启辉工艺腔等离子体等离子体启辉光电转换元件光信号转换检测工艺腔室室内等离子体发生接收电信号工艺开发检测装置控制算法数据处理感光面有效地预判预设判定发送

[发明专利]一种基于滑动窗口的幅频时变工艺信号分割方法-CN201910069256.0有效
发明人：要义勇;胡宇涛;赵丽萍 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于滑动窗口的幅频时变工艺信号分割方法：(1)对需要分析的幅频时变工艺信号设置一个滑动窗口；(2)求取滑动窗口内各工艺信号点的均值，根据均值动态设置工艺曲线下分割阈值点，从而得到下分割线；(3)根据下分割线确定工艺曲线各下分割点，并依据下分割点进行工艺曲线的分割；(4)利用分割曲线中的工艺信号，求取分割曲线相似度，进行分割有效性判断。本发明针对幅频时变工艺曲线，对其进行工艺周期分割，且能适应工艺参数的改变，具有较强的自适应性、稳定性与鲁棒性。
一种基于滑动窗口幅频时变工艺信号分割方法

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