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- [实用新型]工艺开关和工艺插座-CN89202122.5无效
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任晓平
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任晓平
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1989-03-02
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1990-01-24
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H01H9/02
- 本实用新型的工艺开关及插座是将开关面板、按键(钮)与装饰板组合装成各种动物形状、人体形状、建筑形状、字、画形状、花卉盆景形状等具有装饰效果图案的工艺开关插座电气装置件与装饰板组合制成各种动物、人体、建筑、字、画、花盆景形状等具有装饰效果图案工艺插座。工艺开关和插座可以和温度计、电子表、塑料花草树木、夜光塑料眼睛,制成各种多功能和立体装饰效果的工艺开关及插座。
- 工艺开关插座
- [发明专利]工艺腔室及工艺方法-CN202210389035.3在审
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韩为鹏;李强;黄其伟;邓斌
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2022-04-13
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2022-07-29
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C23C14/54
- 本发明提供一种工艺腔室及工艺方法,工艺腔室包括腔体、内衬、温控部件和控制件,内衬呈环状,并沿腔体的内周壁的周向设置,用于对腔体的内周壁进行遮挡;温控部件设置在内衬上,用于对内衬的温度进行检测,并对内衬进行加热;控制件与温控部件电连接,用于根据温控部件检测到的内衬在半导体工艺中的稳定温度和实时温度,在内衬的实时温度未达到稳定温度时控制温控部件对内衬进行加热,以能够对内衬的温度进行控制。本发明提供的工艺腔室及工艺方法,能够减小内衬在工艺进行中和未进行工艺时的温差,减少沉积物的剥落,从而能够提高工艺稳定性及工艺结果。
- 工艺方法
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