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- [发明专利]工艺腔室及工艺方法-CN202210389035.3在审
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韩为鹏;李强;黄其伟;邓斌
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2022-04-13
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2022-07-29
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C23C14/54
- 本发明提供一种工艺腔室及工艺方法,工艺腔室包括腔体、内衬、温控部件和控制件,内衬呈环状,并沿腔体的内周壁的周向设置,用于对腔体的内周壁进行遮挡;温控部件设置在内衬上,用于对内衬的温度进行检测,并对内衬进行加热;控制件与温控部件电连接,用于根据温控部件检测到的内衬在半导体工艺中的稳定温度和实时温度,在内衬的实时温度未达到稳定温度时控制温控部件对内衬进行加热,以能够对内衬的温度进行控制。本发明提供的工艺腔室及工艺方法,能够减小内衬在工艺进行中和未进行工艺时的温差,减少沉积物的剥落,从而能够提高工艺稳定性及工艺结果。
- 工艺方法
- [发明专利]旋挖钻孔机干取土成孔法施工工艺-CN200510054623.8无效
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张启君
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徐州工程机械科技股份有限公司徐工研究院
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2005-03-07
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2006-09-13
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E02D5/34
- 一种旋挖钻孔机干取土成孔法施工工艺,该旋挖钻孔机干取土成孔法施工工艺由场地布置工艺、桩位放样工艺、旋挖钻孔机就位工艺、埋设钢护筒工艺、钻孔施工工艺、地质情况记录工艺、成孔检查工艺、清渣工艺等工艺组成,施工时首先进行场地布置工艺,场地布置工艺完毕后进行桩位放样工艺,桩位放样工艺后进行旋挖钻孔机就位工艺,旋挖钻孔机就位工艺后进行埋设钢护筒工艺,埋设钢护筒工艺后进行钻孔施工工艺,钻孔施工工艺后进行地质情况记录工艺,地质情况记录工艺后进行成孔检查工艺,成孔检查工艺后进行清渣工艺,该工艺具有代替传统的人工经验施工法,在成孔过程中不需泥浆护壁,在旋挖钻进过程中,钻头往返于孔底与地表之间,施工工艺的工艺合理,操作方便,简化了旋挖钻孔机的传统的施工工艺,工程运行成本大为降低等特点
- 钻孔机干取土成孔法施工工艺
- [发明专利]旋挖钻孔机静态泥浆护壁钻进成孔法施工工艺-CN200510065435.5无效
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张启君
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张启君
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2005-04-08
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2006-10-11
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E02D5/38
- 一种旋挖钻孔机静态泥浆护壁钻进成孔法施工工艺,该旋挖钻孔机静态泥浆护壁钻进成孔法施工工艺主要由场地布置工艺、桩位放样工艺、路面及障碍物凿除工艺、挖护筒工艺、探管工艺、钻孔就位工艺、埋设护筒工艺、复验桩位工艺、泥浆搅拌参数测定工艺、钻渣清运工艺、钻机钻孔深工艺、孔深孔径验收工艺、交付工艺组成,该施工工艺施工时首先进行场地布置工艺,完毕后进行桩位放样工艺,进行路面及障碍物凿除工艺,完毕后进行挖护筒工艺,完毕后进行探管工艺,完毕后进行钻孔就位工艺,完毕后进行埋设护筒工艺,完毕后进行复验桩位工艺,完毕后进行泥浆搅拌参数测定工艺,完毕后进行钻渣清运工艺,完毕后进行钻机钻孔深工艺,完毕后进行孔深孔径验收工艺,完毕后进行交付工艺该工艺具有代替传统的人工经验施工法,在成孔过程中需泥浆护壁,在旋挖钻进过程中,钻头往返于孔底与地表之间,施工工艺的工艺合理,操作方便,简化了旋挖钻孔机的传统的施工工艺,工程运行成本大为降低等特点。
- 钻孔机静态泥浆护壁钻进成孔法施工工艺
- [发明专利]薄膜剥离工艺的配置方法及装置-CN201811643616.5在审
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谢凯;王敬苗
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深圳市永盛隆科技有限公司
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2018-12-29
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2020-07-07
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H01L31/18
- 本发明提供了一种薄膜剥离工艺的配置方法及装置。薄膜剥离工艺包括多个工艺步骤,多个工艺步骤包括预加热工艺步骤和刻蚀工艺步骤,上述配置方法包括:配置与预加热工艺步骤相对应的第一工艺信息,第一工艺信息包括预加热工艺步骤的工艺流程;配置与刻蚀工艺步骤相对应的第二工艺信息,第二工艺信息包括刻蚀工艺步骤的工艺流程。上述方法通过配置预加热工艺步骤的第一工艺信息以及刻蚀工艺步骤的第二工艺信息,将两个工艺步骤进行统一控制,从而将不同工艺槽工位的控制信息相互关系统一,将物料在工艺流程中经历的工位与控制信息关联到一起,实现了物料根据生产实际情况自动选择路径执行工艺的功能
- 薄膜剥离工艺配置方法装置
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