专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]分离栅闪存的有源区制造方法-CN201110297802.X有效
  • 王友臻;周儒领 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2011-09-27 - 2013-04-03 - H01L21/336
  • 本发明公开了一种分离栅闪存的有源区制造方法,在分离栅闪存的有源区制作浮栅过程中,对SL区域采用掩膜层进行遮挡,使得SL区域内中间部分的浮栅层不被刻蚀掉,这样,在后续SL区域采用刻蚀方式去除浮栅层上方的氧氮氧层及控制栅多晶硅层,以及去除浮栅层时,都是平面刻蚀,在不损伤SL区域的硅衬底情况下,将SL区域硅衬底上的浮栅层、氧氮氧层及控制栅多晶硅层都刻蚀完。因此,本发明提供的方法防止了分离栅闪存的有源区中的SL区域硅衬底损伤,降低了有源区的存储单元的Rs电阻率,最终提高所制作的分离栅闪存器件性能。
  • 分离闪存有源制造方法
  • [发明专利]内饰部件-CN201210328236.9有效
  • S·施米茨 - DR.ING.H.C.F.保时捷股份公司
  • 2012-09-06 - 2013-03-27 - B60R13/02
  • 本发明涉及一种用于车身部件(18)的内饰部件,该内饰部件具有一个角形区域,该角形区域的分叉臂(4,5)围成一个角度(α),一个缺口(20)被设置在该角形区域中,该缺口(20)能够通过一个封闭部件被至少部分地封闭,该封闭部件的分叉臂(6,7)围成一个角度(β),该角形区域的至少一个臂(4)与该角形的封闭部件的一个臂(6)重合定位,由此产生了一个平齐的可视面,其特征在于,该角形区域的角度(α)大于该封闭部件的角度(β),该角形区域的第二臂(5)不与该封闭部件的第二臂(7)重合定位,由此产生了一个具有差角(φ)的露空(15)。
  • 部件
  • [发明专利]半导体装置的制造方法-CN201110091688.5有效
  • 渡边祐司;福井正纪;宫腰宜树 - 新电元工业株式会社
  • 2011-04-13 - 2011-10-19 - H01L21/336
  • 本发明的目的在于,提供一种可以在不减少保护环数量及不降低保护环深度的情况下缩小保护环区域的幅度,且在形成保护环时无需复杂且耗时的工序的半导体装置的制造方法。在半导体基体110的保护环区域GR上,采用第2掩膜M1从n型杂质扩散区域120的上方选择性地导入大量p型杂质后,使p型杂质在半导体基体110内热扩散,形成保护环124。该保护环124具有从平面上看在n型杂质扩散区域120内并且从断面上看在比n型杂质扩散区域120的下表面更深的位置形成有p型杂质扩散区域122这样一个结构。
  • 半导体装置制造方法
  • [发明专利]基板清洗处理装置-CN201010522628.X有效
  • 川上拓人 - 大日本网屏制造株式会社
  • 2010-10-26 - 2011-09-21 - H01L21/00
  • 对药液处理后的基板进行水洗处理的水洗处理室在基板搬运方向上依次划分为置换水洗区域、水洗区域和直接水洗区域,在置换水区域内分别配设有入口喷嘴、高压喷嘴、强制排出喷嘴和空气喷嘴。并且进行控制使得在基板搬入置换水洗区域内之前,开始从入口喷嘴、高压喷嘴和强制排出喷嘴喷出清洗水,在从置换水洗区域内搬出基板之后,停止从入口喷嘴、高压喷嘴和强制排出喷嘴喷出清洗水。
  • 清洗处理装置

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